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公開番号2025063751
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-16
出願番号2023173197
出願日2023-10-04
発明の名称ポリエチレン樹脂からなる高純度薬品用容器
出願人東ソー株式会社
代理人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250409BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ポリエチレン樹脂製の高純度薬品容器において、その内容物にポリエチレン樹脂に由来する溶出物や劣化物等の汚染物質の溶出を極力抑えた高純度薬品容器を提供する。
【解決手段】ポリエチレン樹脂からなり、容器内面の展開面積比が1.10以下である高純度薬品容器。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ポリエチレン樹脂からなり、容器内面の展開面積比が１．１０以下である高純度薬品容器。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
容器内表面の最大粗さＲｚが１０．０μｍ以下である、請求項１に記載の高純度薬品容器。
【請求項３】
容器内面のグロスが４０％以上である、請求項１に記載の高純度薬品用容器。
【請求項４】
未洗浄容器に超純水を充填し、４０℃×３５日間静置保管後の容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下である、請求項１に記載の高純度薬品用容器。
【請求項５】
前記ポリエチレン樹脂が、温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇにおけるメルトフローレート（以下、ＨＬＭＦＲ）が２１～８０ｇ／１０分、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９である、請求項１に記載の高純度薬品用容器。
【請求項６】
前記ポリエチレン樹脂が、以下の（１）～（５）の性状を有する、請求項５に記載の高純度薬品用容器。
（１）密度（ＪＩＳＫ６９２２－１）が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ
３
（２）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のメルトフローレート（以下、ＭＦＲ）が０．５～１．５ｇ／１０分
（３）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（４）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（５）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
【請求項７】
前記ポリエチレン樹脂が、ＭＦＲが２０～４０ｇ／１０分、密度が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ
３
であるエチレン系重合体と、ＨＬＭＦＲが０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ
３
であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０である、請求項５に記載の高純度薬品容器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリエチレン樹脂からなる高純度薬品用容器に関するものである。
続きを表示（約 2,900 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、電子工業分野の著しい発達に伴って、高純度薬品の需要が高まっている。高純度薬品は、例えば、大規模化、集積化されたＬＳＩ等の電子回路の製造に不可欠の薬品として使用されている。具体的には、ウエハー洗浄・エッチング用、配線・絶縁膜エッチング用、治具洗浄用、現像液、レジスト希釈液、レジスト剥離液、乾燥用等の用途として、硫酸、塩酸、硝酸、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、過酸化水素水、イソプロピルアルコール、キシレン、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、メタノール、酢酸、リン酸、アンモニア水、ＰＧＭＥＡ（酢酸プロピレングリコールメチルエーテル）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）等が用いられている。これらの高純度薬品の１８Ｌ容器、４Ｌ容器、１Ｌ容器などの２０Ｌ以下の容器材料としては、主にフッ素系樹脂やポリエチレン樹脂が用いられている。半導体回路の集積度の向上とともに、これらの薬品中の不純物や微粒子に対する低減化の要求が一層厳しくなっており、この厳しい要求を満足させるために、これらの薬品を充填する容器に対するクリーン性の要求も年々高まっている。
【０００３】
この問題を解決するための方法として、特定のテトラフルオロエチレン系共重合体を用いる方法がある。ただしテトラフルオロエチレン系共重合体は高価という課題がある。（特許文献１参照）
また、ポリエチレン樹脂の炭化水素系溶媒抽出量や低分子成分の含有量を抑え、酸化防止剤、中和剤並びに耐光剤の添加量を極力制限した容器の提案があるが、ポリエチレン樹脂に残存する触媒成分による灰分の影響に対する改良が不十分であり、薬品に溶出する金属不純物濃度に対する対策が未完成である。また、微粒子のレベルが０．２μｍ以上と十分でない（特許文献２、３参照）。
【０００４】
また、密度が０．９４０～０．９７０ｇ／ｃｍ
３
、温度１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレートが２～５０ｇ／１０分、ゲルパーミッーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）より求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が８～１５、ポリエチレン樹脂に含有されている灰分量が５０ＰＰＭ以下であることを特徴とする高純度薬品容器用ポリエチレン及び高純度薬品容器が提案されているが、ポリエチレン樹脂に残存する触媒成分による灰分の影響に対する改良が不十分であり、薬品に溶出する金属不純物濃度に対する対策が未完成である（特許文献４参照）。
【０００５】
さらには、密度が０．９４０～０．９７０ｇ／ｃｍ
３
、温度１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレートが２～８．５ｇ／１０分、ゲルパーミッーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）より求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が８～１５、ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下、ＥＳＣＲが１３０時間以上である性状を有する超高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂及び高純度薬品容器が提案されているが、小型容器とした場合に表面平滑性が不十分であった（特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０００／１７０５７号
特開平７－６２１６１号公報
特開平７－２５７５４０号公報
特開平１１－８０２５７号公報
特許第６７０５１５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、ポリエチレン樹脂の溶出物や劣化物等の汚染物質の溶出を極力抑えた高純度薬品容器の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、容器内面が特定の展開面積比を有するポリエチレン樹脂からなる容器が、ポリエチレン由来の微粒子や重合触媒成分由来の金属不純物が少ない高純度薬品容器となることを見出し、本発明を開発するに至った。
【０００９】
即ち、本発明の各態様は以下に示す［１］～［７］である。
［１］ポリエチレン樹脂からなり、容器内面の展開面積比が１．１０以下である高純度薬品容器。
［２］容器内表面の最大粗さＲｚが１０．０μｍ以下である、上記［１］に記載の高純度薬品容器。
［３］容器内面のグロスが４０％以上である、上記［１］～［２］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
［４］未洗浄容器に超純水を充填し、４０℃×３５日間静置保管後の容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下である、上記［１］～［３］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
［５］前記ポリエチレン樹脂が、温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇにおけるメルトフローレート（以下、ＨＬＭＦＲ）が２１～８０ｇ／１０分、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９のポリエチレン樹脂からなる、上記［１］～［４］に記載の高純度薬品用容器。
［６］前記ポリエチレン樹脂が、以下の（１）～（５）の性状を有するポリエチレン樹脂からなる、上記［５］に記載の高純度薬品用容器。
（１）密度（ＪＩＳＫ６９２２―１）が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ
３
（２）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のメルトフローレート（以下、ＭＦＲ）が０．５～１．５ｇ／１０分
（３）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（４）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（５）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
［７］前記ポリエチレン樹脂が、ＭＦＲが２０～４０ｇ／１０分、密度が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ
３
であるエチレン系重合体と、１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ
３
であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０である、上記［５］または［６］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ポリエチレン樹脂由来の微粒子や重合触媒成分由来の金属不純物が少ない高純度薬品容器を提供できる。また、特に２０Ｌ以下の小型容器に適し、充填された薬品に対して微粒子成分の溶出量が少なく、長期保管後も微粒子の溶出量が少ない高純度薬品容器を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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