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公開番号2025048584
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023157475
出願日2023-09-22
発明の名称基板処理装置及び基板処理装置の使用方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理液に含まれる気泡に起因する不具合の発生を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置1は、メイン配管20と、流量センサ35と、流量調整装置30と、気泡センサ40と、第1供給配管21と、第2供給配管22と、開閉装置50,51と、制御装置70と、を備え、制御装置は、気泡センサの検出に基づいて処理液に気泡が含まれていると判定した場合に、開閉装置を制御して第1供給配管を閉にすることで処理液の基板への供給を停止させる、基板処理停止制御を実行し、次いで、予め設定された所定時間の間、開閉装置を制御して第2供給配管を開にし、且つ、流量センサ35の検出に基づいて流量調整装置を制御してメイン配管を通過する処理液の流量を増大させる、流量増大制御を実行する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板を処理するための処理液が通過するメイン配管と、
前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を検出する流量センサと、
前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を調整する流量調整装置と、
前記メイン配管における前記流量センサ及び前記流量調整装置よりも上流側の前記処理液に気泡が含まれていることを検出する気泡センサと、
前記メイン配管を通過した前記処理液を前記基板に供給する第１供給配管と、
前記メイン配管を通過した前記処理液を前記基板以外の所定箇所に供給する第２供給配管と、
前記第１供給配管及び前記第２供給配管を選択的に開閉する開閉装置と、
制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合に、前記開閉装置を制御して前記第１供給配管を閉にすることで前記処理液の前記基板への供給を停止させる、基板処理停止制御を実行し、
次いで、予め設定された所定時間の間、前記開閉装置を制御して前記第２供給配管を開にし、且つ、前記流量センサの検出に基づいて前記流量調整装置を制御して前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を増大させる、流量増大制御を実行する、基板処理装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記制御装置は、前記流量増大制御を、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定されるまで、繰り返し実行し、
前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定した場合に、前記開閉装置を制御して前記第２供給配管を閉にし前記第１供給配管を開にすることで前記処理液の前記基板への供給を再開させる、基板処理再開制御を実行する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記気泡センサを通過した前記処理液を、前記流量センサ及び前記流量調整装置に流入させずに前記基板処理装置の外部に排出させる、又は、前記メイン配管における前記気泡センサよりも上流側に循環させる、排出・循環配管をさらに備え、
前記開閉装置は、前記排出・循環配管をさらに選択的に開閉し、
前記制御装置は、前記気泡センサの検出に基づいて、前記流量増大制御を実行したにもかかわらず前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合は、予め設定された所定時間の間、前記開閉装置を制御して前記排出・循環配管を開にする排出・循環制御を実行する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記排出・循環制御を実行した後に、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定した場合に、前記流量増大制御をさらに実行する、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記メイン配管における前記流量センサ及び前記流量調整装置よりも上流側の前記処理液に含まれる前記気泡のサイズを検出する気泡サイズ検出装置と、
前記気泡センサを通過した前記処理液を、前記流量センサ及び前記流量調整装置に流入させずに前記基板処理装置の外部に排出させる、又は、前記メイン配管における前記気泡センサよりも上流側に循環させる、排出・循環配管と、をさらに備え、
前記開閉装置は、前記排出・循環配管をさらに選択的に開閉し、
前記制御装置は、
前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合に、前記気泡サイズ検出装置の検出に基づいて、前記処理液に含まれる前記気泡のサイズが基準値以下であるか否かを判定し、
前記気泡のサイズが前記基準値以下の場合は、前記基板処理停止制御及び前記流量増大制御を実行し、
前記気泡のサイズが前記基準値より大きい場合は、
前記基板処理停止制御を実行し、次いで、予め設定された所定時間の間、前記開閉装置を制御して前記排出・循環配管を開にする排出・循環制御を実行する、又は、
前記基板処理停止制御を実行し、次いで、前記流量増大制御を実行し、次いで、前記気泡センサの検出に基づいて、前記流量増大制御を実行したにもかかわらず前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合は、前記排出・循環制御を実行する、又は、
前記基板処理停止制御を実行し、次いで、前記流量増大制御を実行し、次いで、前記気泡センサの検出に基づいて、前記流量増大制御を実行したにもかかわらず前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合は、前記排出・循環制御を実行し、次いで、前記排出・循環制御を実行した後に、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定した場合に、前記流量増大制御をさらに実行する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項６】
基板を処理するための処理液が通過するメイン配管と、前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を検出する流量センサと、前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を調整する流量調整装置と、前記メイン配管における前記流量センサ及び前記流量調整装置よりも上流側の前記処理液に気泡が含まれていることを検出する気泡センサと、を有する基板処理装置の使用方法であって、
前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に気泡が含まれていることを判定した場合に、前記処理液の前記基板への供給を停止させることと、
次いで、予め設定された所定時間の間、前記メイン配管を通過した前記処理液を前記基板以外の所定箇所に供給させつつ、前記流量センサの検出に基づいて前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を増大させることと、を含む、基板処理装置の使用方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置及び基板処理装置の使用方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板を処理するための基板処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この特許文献１には、例えば洗浄液等の処理液を基板に供給することで基板を洗浄処理する基板処理装置が例示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１０６４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来の基板処理装置において、基板に供給される処理液に気泡が含まれることがある。この場合、この気泡に起因して、例えば、基板に供給される処理液の流量を検出する流量センサ等の機器に誤作動が生じたり、基板の処理に悪影響が及んだりする、といった不具合が発生するおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記のことを鑑みてなされたものであり、処理液に含まれる気泡に起因する不具合の発生を抑制することができる技術を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（態様１）
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る基板処理装置は、基板を処理するための処理液が通過するメイン配管と、前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を検出する流量センサと、前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を調整する流量調整装置と、前記メイン配管における前記流量センサ及び前記流量調整装置よりも上流側の前記処理液に気泡が含まれていることを検出する気泡センサと、前記メイン配管を通過した前記処理液を前記基板に供給する第１供給配管と、前記メイン配管を通過した前記処理液を前記基板以外の所定箇所に供給する第２供給配管と、前記第１供給配管及び前記第２供給配管を選択的に開閉する開閉装置と、制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合に、前記開閉装置を制御して前記第１供給配管を閉にすることで前記処理液の前記基板への供給を停止させる、基板処理停止制御を実行し、次いで、予め設定された所定時間の間、前記開閉装置を制御して前記第２供給配管を開にし、且つ、前記流量センサの検出に基づいて前記流量調整装置を制御して前記メイン配管を通過する前記処理液の流量を増大させる、流量増大制御を実行する。
【０００７】
この構成によれば、メイン配管における流量センサ及び流量調整装置よりも上流側の処理液に気泡が含まれている場合に、基板処理停止制御及び流量増大制御が実行されるので、処理液に含まれる気泡に起因して、流量センサ等の機器に誤作動が生じたり、基板の処理に悪影響が及んだりするといった不具合が発生することを抑制することができる。
【０００８】
（態様２）
上記の態様１において、前記制御装置は、前記流量増大制御を、前記気泡センサの検出に基づいて前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定されるまで、繰り返し実行し、
前記処理液に前記気泡が含まれていないと判定した場合に、前記開閉装置を制御して前記第２供給配管を閉にし前記第１供給配管を開にすることで前記処理液の前記基板への供給を再開させる、基板処理再開制御を実行してもよい。
【０００９】
（態様３）
上記の態様１は、前記気泡センサを通過した前記処理液を、前記流量センサ及び前記流量調整装置に流入させずに前記基板処理装置の外部に排出させる、又は、前記メイン配管における前記気泡センサよりも上流側に循環させる、排出・循環配管をさらに備え、前記開閉装置は、前記排出・循環配管をさらに選択的に開閉し、前記制御装置は、前記気泡センサの検出に基づいて、前記流量増大制御を実行したにもかかわらず前記処理液に前記気泡が含まれていると判定した場合は、予め設定された所定時間の間、前記開閉装置を制御して前記排出・循環配管を開にする排出・循環制御を実行してもよい。
【００１０】
この構成によれば、流量増大制御を実行したにもかかわらず処理液に気泡が含まれている場合に、排出・循環制御が実行されるので、処理液に含まれる気泡に起因する不具合の発生を抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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