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公開番号2025032540
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-12
出願番号2023137857
出願日2023-08-28
発明の名称物理量センサー
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01P 15/08 20060101AFI20250305BHJP(測定;試験)
要約【課題】小型化が可能な物理量センサーを提供する。
【解決手段】物理量センサー1は、基板10と、基板10に相対的に固定される固定電極24と、基板10に相対的に変位する可動電極25と、基板10に相対的に固定される一端31及び可動電極25に相対的に連結される他端32を有するばね30と、を備え、ばね30は、基板10の主面11の垂直方向に沿って折り返すミアンダ構造を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板に相対的に固定される固定電極と、
前記基板に相対的に変位する可動電極と、
前記基板に相対的に固定される一端及び前記可動電極に相対的に連結される他端を有するばねと、
を備え、
前記ばねは、前記基板の主面に沿って延伸し、前記主面に垂直な平面に沿って折り返すミアンダ構造を有する、
物理量センサー。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記ばねは、湾曲する屈曲部を有する、
請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記ばねは、延伸方向において互いに隣り合う前記屈曲部の間隔として、複数の長さを有する、
請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記ばねは、前記基板の前記主面に対する垂直方向において互いに隣り合う前記屈曲部の長さとして、複数の長さを有する、
請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記ばねは、前記基板の前記主面に沿って折り返すミアンダ構造を更に有する、
請求項１に記載の物理量センサー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサーに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、加速度等の物理量を可動部の容量変化として検出する物理量センサーが開発されている。このような物理量センサーとして、例えば特許文献１には、可動部に基板に沿って折り返すばねを有する物理量センサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－０７１０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された物理量センサーは、可動部が変位し易くなるようにばね定数を小さくするために、ばねの長さを長くしたり折り返す回数を増やしたりする必要がある。そのため、可動部の平面におけるばねの占有面積が増大し、物理量センサーが大型化するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
物理量センサーは、基板と、前記基板に相対的に固定される固定電極と、前記基板に相対的に変位する可動電極と、前記基板に相対的に固定される一端及び前記可動電極に相対的に連結される他端を有するばねと、を備え、前記ばねは、前記基板の主面に沿って延伸し、前記主面に垂直な平面に沿って折り返すミアンダ構造を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。
図１中のＡ１－Ａ１線における断面図。
図２中のＢ１部の拡大図。
第２実施形態に係る物理量センサーが備えるばねの構造を示す断面図。
第３実施形態に係る物理量センサーが備えるばねの構造を示す断面図。
第４実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。
図６中のＡ２－Ａ２線における断面図。
図７中のＢ２部の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る物理量センサー１について、基板１０の主面１１に沿った方向の加速度を検出する加速度センサーを一例として挙げ、図１、図２、及び図３を参照して説明する。
【０００８】
尚、以降の平面図、断面図には、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を図示している。また、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ方向」と言う。また、各軸方向の矢印先端側を「プラス側」、基端側を「マイナス側」、Ｚ方向プラス側を「上」、Ｚ方向マイナス側を「下」とも言う。また、Ｚ方向は、ＸＹ平面の主面１１に対して垂直方向である。
【０００９】
本実施形態に係る物理量センサー１は、図１、図２、及び図３に示すように、基板１０の主面１１に沿ったＹ方向の加速度を検出することができる。このような物理量センサー１は、基板１０と、基板１０に固定され、可動電極２５を有する可動部２０と、基板１０に固定された固定電極２４と、を備える。
【００１０】
基板１０は、図１に示すように、Ｘ方向及びＹ方向に広がりを有する矩形で、Ｚ方向を厚さとする。また、基板１０は、図２に示すように、基板１０の主面１１から上方に突出する２つの第１固定部１２と、基板１０の主面１１から上方に突出する複数の第２固定部１３と、が形成されている。第１固定部１２には、可動部２０の支持部２２が固定され、第２固定部１３には、固定電極２４が固定される。
（【００１１】以降は省略されています）

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