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公開番号2025009314
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023112231
出願日2023-07-07
発明の名称発光素子
出願人日亜化学工業株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類H10H 20/831 20250101AFI20250110BHJP()
要約【課題】電流密度分布のむらを低減できる発光素子を提供すること。
【解決手段】発光素子は、半導体構造体と、第2半導体層上に配置された透光性導電膜と、透光性導電膜上に配置され、複数の第1開口を有する透光性絶縁膜と、透光性絶縁膜上に配置され、且つ第1開口において透光性導電膜に接する光反射性導電膜とを備える。平面視において、第1半導体層の複数の延出部のそれぞれは、最も第2外周部側に位置する端部を有する。平面視において、透光性導電膜は、複数の延出部の端部のそれぞれに第2方向において対向する複数の外縁を有する。平面視において、複数の第1開口は、透光性導電膜の複数の外縁のうち第2外周部に最も近い外縁を通り、且つ第1方向に延びる第1直線と第1外周部との間に位置せず、第1直線と第2外周部との間に位置する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
平面視において、第１領域と、前記第１領域の内側に位置する第２領域とを有する第１半導体層と、前記第２領域上に配置された活性層と、前記活性層上に配置された第２半導体層と、を有する半導体構造体であって、前記第１領域は、第１方向に延びる第１外周部及び第２外周部と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる第３外周部及び第４外周部と、前記第１外周部から前記第２方向に延出し、且つ前記第１方向において互いに離れて位置する複数の延出部とを有し、前記第１外周部及び前記第２外周部の前記第１方向の長さは、前記第３外周部及び前記第４外周部の前記第２方向の長さよりも長い、半導体構造体と、
前記第２半導体層上に配置された透光性導電膜と、
前記透光性導電膜上に配置され、前記透光性導電膜の上方に位置する複数の第１開口を有する透光性絶縁膜と、
前記透光性絶縁膜上に配置され、且つ前記第１開口において前記透光性導電膜に接する光反射性導電膜と、
前記延出部に接する第１電極層と、
前記光反射性導電膜に接する第２電極層と、
を備え、
平面視において、複数の前記延出部のそれぞれは、最も前記第２外周部側に位置する端部を有し、
平面視において、前記透光性導電膜は、複数の前記延出部の前記端部のそれぞれに前記第２方向において対向し、且つ前記第１方向において互いに離れて位置する複数の外縁を有し、
平面視において、複数の前記第１開口は、前記透光性導電膜の複数の前記外縁のうち前記第２外周部に最も近い外縁を通り、且つ前記第１方向に延びる第１直線と前記第１外周部との間に位置せず、前記第１直線と前記第２外周部との間に位置する、発光素子。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
複数の前記第１開口のうち、平面視において前記延出部に最も近い第１開口は、前記第２外周部に最も近い前記透光性導電膜の外縁を通り、且つ前記第２方向に延びる第２直線上に位置する、請求項１に記載の発光素子。
【請求項３】
前記透光性絶縁膜は、前記第１半導体層の前記第１領域上にも配置され、前記延出部の上方に位置する第２開口を有し、
前記第１電極層は、前記第２開口において前記延出部に接し、
前記第２開口の前記第１方向の幅は、前記第２開口の前記第２方向の幅よりも大きい、請求項２に記載の発光素子。
【請求項４】
前記第１電極層は、前記延出部に接する第１内部電極層と、前記第１内部電極層上に配置され、前記第１内部電極層に接する第１外部電極層と、を含み、
前記第２電極層は、前記光反射性導電膜に接する第２内部電極層と、前記第２内部電極層上に配置され、前記第２内部電極層に接する第２外部電極層と、を含み、
複数の前記第１開口のうち、平面視において、前記第１外部電極層及び前記第２外部電極層に重なる前記第１開口の数は、前記第１外部電極層及び前記第２外部電極層に重ならない前記第１開口の数よりも多い、請求項１～３のいずれか１つに記載の発光素子。
【請求項５】
平面視において、複数の前記第１開口は、前記第１方向に延びる第３直線上に位置する複数の前記第１開口と、前記第１方向に延びる第４直線上に位置する複数の前記第１開口とを有し、前記第３直線は、前記第４直線よりも、前記第２方向において前記第１外周部の近くに位置し、
前記第３直線上に位置する複数の前記第１開口の全ては、平面視において、前記第１外部電極層又は前記第２外部電極層に重なる、請求項４に記載の発光素子。
【請求項６】
前記第１電極層は、前記延出部に接する第１内部電極層と、前記第１内部電極層上に配置され、前記第１内部電極層に接する第１外部電極層と、を含み、
前記第２電極層は、前記光反射性導電膜に接する第２内部電極層と、前記第２内部電極層上に配置され、前記第２内部電極層に接する第２外部電極層と、を含み、
平面視において、複数の前記第１開口は、前記第１内部電極層と前記第２内部電極層との間に位置しない、請求項１～３のいずれか１つに記載の発光素子。
【請求項７】
平面視において、複数の前記第１開口は、前記第１方向に延びる第３直線上に位置する複数の前記第１開口と、前記第１方向に延びる第４直線上に位置する複数の前記第１開口と、前記第１方向に延びる第５直線上に位置する複数の前記第１開口とを有し、
前記第２方向において、前記第３直線は、前記第４直線及び前記第５直線よりも前記第１外周部の近くに位置し、前記第４直線は、前記第３直線及び前記第５直線よりも前記第２外周部の近くに位置し、前記第５直線は、前記第３直線と前記第４直線との間に位置し、
平面視において、前記第３直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第３外周部側の端に位置する第１開口、及び前記第４直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第３外周部側の端に位置する第１開口は、前記第５直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第３外周部側の端に位置する第１開口よりも前記第３外周部から前記第１方向に離れて位置し、
平面視において、前記第３直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第４外周部側の端に位置する第１開口、及び前記第４直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第４外周部側の端に位置する第１開口は、前記第５直線上に位置する複数の前記第１開口のうち前記第４外周部側の端に位置する第１開口よりも前記第４外周部から前記第１方向に離れて位置する、請求項１～３のいずれか１つに記載の発光素子。
【請求項８】
前記第１電極層は、前記延出部に接する第１内部電極層を含み、
前記第２電極層は、前記光反射性導電膜に接する第２内部電極層を含み、
前記発光素子は、前記第１内部電極層上及び前記第２内部電極層上に配置され、第３開口及び第４開口を有する絶縁膜をさらに備え、
前記第１電極層は、前記絶縁膜上に配置され、且つ前記第３開口において前記第１内部電極層に接する第１外部電極層をさらに含み、
前記第２電極層は、前記絶縁膜上に配置され、且つ前記第４開口において前記第２内部電極層に接する第２外部電極層をさらに含み、
平面視において、複数の前記第１開口は、前記第３開口の外縁及び前記第４開口の外縁に重ならない、請求項１～３のいずれか１つに記載の発光素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、平面視において長方形状を有する発光素子の長辺に沿って複数のｎドット電極が配置された構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１４３６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、電流密度分布のむらを低減できる発光素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、発光素子は、平面視において、第１領域と、前記第１領域の内側に位置する第２領域とを有する第１半導体層と、前記第２領域上に配置された活性層と、前記活性層上に配置された第２半導体層と、を有する半導体構造体であって、前記第１領域は、第１方向に延びる第１外周部及び第２外周部と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる第３外周部及び第４外周部と、前記第１外周部から前記第２方向に延出し、且つ前記第１方向において互いに離れて位置する複数の延出部とを有し、前記第１外周部及び前記第２外周部の前記第１方向の長さは、前記第３外周部及び前記第４外周部の前記第２方向の長さよりも長い、半導体構造体と、前記第２半導体層上に配置された透光性導電膜と、前記透光性導電膜上に配置され、前記透光性導電膜の上方に位置する複数の第１開口を有する透光性絶縁膜と、前記透光性絶縁膜上に配置され、且つ前記第１開口において前記透光性導電膜に接する光反射性導電膜と、前記延出部に接する第１電極層と、前記光反射性導電膜に接する第２電極層と、を備える。平面視において、複数の前記延出部のそれぞれは、最も前記第２外周部側に位置する端部を有する。平面視において、前記透光性導電膜は、複数の前記延出部の前記端部のそれぞれに前記第２方向において対向し、且つ前記第１方向において互いに離れて位置する複数の外縁を有する。平面視において、複数の前記第１開口は、前記透光性導電膜の複数の前記外縁のうち前記第２外周部に最も近い外縁を通り、且つ前記第１方向に延びる第１直線と前記第１外周部との間に位置せず、前記第１直線と前記第２外周部との間に位置する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、電流密度分布のむらを低減できる発光素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態の発光素子の模式平面図である。
図１における第２外部電極層が配置された領域の拡大平面図である。
図１における第１外部電極層が配置された領域の拡大平面図である。
図１のIII-III線における模式断面図である。
図３の一部分の拡大断面図である。
第１比較例の発光素子の発光強度分布の測定画像である。
第２比較例の発光素子の発光強度分布の測定画像である。
第１実施例の発光素子の発光強度分布の測定画像である。
第２実施例の発光素子の発光強度分布の測定画像である。
比較例１の発光素子の模式平面図である。
比較例２の発光素子の模式平面図である。
実施例１の発光素子の模式平面図である。
実施形態の変形例による発光素子の模式平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。各図面中、同じ構成には同じ符号を付している。なお、各図面は、実施形態を模式的に示したものであるため、各部材のスケール、間隔若しくは位置関係などが誇張、又は部材の一部の図示を省略する場合がある。また、断面図として、切断面のみを示す端面図を示す場合がある。また、断面図において、半導体構造体の各層の境界を見やすくするために、半導体構造体の断面にはハッチングを付していない。
【０００９】
以下の説明において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、説明を省略することがある。また、特定の方向又は位置を示す用語（例えば、「上」、「下」及びそれらの用語を含む別の用語）を用いる場合がある。しかしながら、それらの用語は、参照した図面における相対的な方向又は位置を分かり易さのために用いているに過ぎない。参照した図面における「上」、「下」等の用語による相対的な方向又は位置の関係が同一であれば、本開示以外の図面、実際の製品等において、参照した図面と同一の配置でなくてもよい。本明細書において「上」と表現する位置関係は、接している場合と、接していないが上方に位置している場合も含む。また、本明細書において、特定的な記載がない限り、部材が被覆対象を覆うとは、部材が被覆対象に接して被覆対象を直接覆う場合と、部材が被覆対象に非接触で被覆対象を間接的に覆う場合を含む。
【００１０】
以下に示す図において、互いに直交する第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び第３方向Ｚを示す。本明細書の説明においては、第３方向Ｚの矢印方向を上方とし、第３方向Ｚの矢印方向と反対側の方向を下方とする。また、「第１方向Ｘに延びる直線」とは、平面視において、第１方向Ｘに実質的に平行な直線であり、第１方向Ｘから３°以内の範囲でずれている直線も「第１方向Ｘに延びる直線」に含む。同様に、「第２方向Ｙに延びる直線」とは、平面視において、第２方向Ｙに実質的に平行な直線であり、第２方向Ｙから３°以内の範囲でずれている直線も「第２方向Ｙに延びる直線」に含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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