特許ウォッチ

公開番号2024140054
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023051041
出願日2023-03-28
発明の名称濃度計測装置
出願人アズビル株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 21/27 20060101AFI20241003BHJP(測定;試験)
要約【課題】光源の交換作業における利便性の向上を図ること。
【解決手段】濃度計測装置10は、変換部100と、検出部200と、投光部110と、光源特性取得部121と、データ補正部122とを備える。変換部100は、計測対象の濃度を演算する。検出部200は、計測対象に投光された光を伝達する投光器210と、変換部100に測定対象を透過した光を伝達する受光器220とを備える。投光部110は、変換部100に搭載され、変換部100と検出部200とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部100にモジュールとして搭載されることで交換可能とする。光源特性取得部121は、投光部110の稼働時特性を取得する。データ補正部122は、光源特性取得部121によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
計測対象の濃度を演算する変換部と、
前記計測対象に投光された光を伝達する投光器と、前記変換部に前記計測対象を透過した光を伝達する受光器とを備える検出部と、
前記変換部に搭載され、前記変換部と前記検出部とを繋ぐ伝送路を介して前記計測対象に投光し、前記変換部にモジュールとして搭載されることで交換可能とする投光部と、
前記投光部の稼働時特性を取得する光源特性取得部と、
前記光源特性取得部によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算するデータ補正部と、
を備えることを特徴とする濃度計測装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記光源特性取得部は、前記投光部の稼働時特性として、前記投光部の順電圧値、順電流値、および、前記投光部の周囲温度のうち、いずれか一つまたは複数を取得する
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。
【請求項３】
前記投光部の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部をさらに備え、
前記データ補正部は、前記光源特性取得部によって取得された特性と、前記固有特性記憶部に記憶された特性とに基づき、計測データを補正演算する
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。
【請求項４】
前記投光部を空冷する空冷部をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。
【請求項５】
前記投光部は、投光部の固有の特性を予め記憶する固有特性記憶部をさらに備え、
前記変換部は、前記投光部が交換された場合に、前記投光部に備えられた固有特性記憶部に記憶された情報を、前記変換部に備えられた固有特性記憶部に格納する
ことを特徴とする請求項３に記載の濃度計測装置。
【請求項６】
前記投光部は、前記計測対象に応じて交換可能であるモジュールとして、前記変換部に搭載される
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計測装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、濃度計測装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体のエッチング液や洗浄液といった水溶液に対して光を照射し、発光強度と水溶液を介して受光した光の強度とから水溶液の濃度を測定する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１２４３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来技術では、光源の交換作業における利便性の向上を図るうえでさらなる改善の余地があった。例えば、従来のハロゲンランプを光源として使用した濃度計は、寿命が短いため、短期間で交換作業を行わなければならないという課題があった。他方で、長寿命のＬＥＤ（Light Emitting Diode）を使用した濃度計が提案されているが、検出部にＬＥＤが搭載されているため、光源交換時に調整作業が必要になるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の濃度計測装置は、計測対象の濃度を演算する変換部と、計測対象に投光された光を伝達する投光器と、変換部に計測対象を透過した光を伝達する受光器とを備える検出部と、変換部に搭載され、変換部と前記検出部とを繋ぐ伝送路を介して計測対象に投光し、変換部にモジュールとして搭載されることで交換可能とする投光部と、投光部の稼働時特性を取得する光源特性取得部と、光源特性取得部によって取得された特性に基づき、計測データを補正演算するデータ補正部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、光源の交換作業における利便性の向上を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態に係る濃度計測装置の概要を示す図である。
図２は、実施形態に係る濃度計測装置の構成例を示す図である。
図３は、実施形態に係る投光部の具体例を示す図である。
図４は、実施形態に係る濃度計測装置処理の具体例を示す図である。
図５は、実施形態に係る濃度計測装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本願に係る濃度計測装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本願に係る濃度計測装置が限定されるものではない。
【０００９】
〔１．はじめに〕
図１は、本実施形態に係る濃度計測装置の概要を示す図である。図１の例では、本実施形態に係る濃度計測装置が備える機能の概要を示している。例えば、濃度計測装置１０は、変換部１００と検出部２００とから構成され、投光部１１０から投光された光を、配管２０を流れる計測対象の薬液に通過させ、通過した光を分光・受光し、解析することにより、薬液の濃度を演算する。そして、濃度計測装置１０は、演算した濃度を外部の端末装置３０に出力する。
【００１０】
また、変換部１００は、計測対象の薬液へ光を投光する処理や投光する光の制御を行う処理、透過した光を分析することにより計測対象の薬液の濃度を演算する処理を行う構成部分であり、ＭＰＵ（Micro Processor Unit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の情報処理装置により構成される。そして、検出部２００は、投光部１１０から投光された光を、配管２０を流れる薬液に伝える投光器２１０と、薬液を透過した光を分光部１４０に伝える受光器２２０とを有し、投光器２１０及び受光器２２０は、例えば、レンズにより構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許