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公開番号
2024119108
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-09-03
出願番号
2023025753
出願日
2023-02-22
発明の名称
センサモジュール
出願人
TDK株式会社
代理人
個人
,
個人
主分類
G01N
27/12 20060101AFI20240827BHJP(測定;試験)
要約
【課題】測定雰囲気中に含まれる所定の物理量を検出するセンサモジュールにおいて、センサ素子の環境温度に対する追従性を高める。
【解決手段】センサモジュール1は、基板10と、基板10に搭載されたセンサ素子を含むセンサチップ20と、基板10に固定され、センサチップ20を覆うケース40と、ケース40の表面に設けられ、ケース40を構成する材料よりも熱放射率の高い熱放射層50とを備える。これによれば、センサ素子の環境温度に対する追従性が高められる。
【選択図】図4
特許請求の範囲
【請求項1】
基板と、
前記基板に搭載されたセンサ素子と、
前記基板に固定され、前記センサ素子を覆うケースと、
前記ケースの表面に設けられ、前記ケースを構成する材料よりも熱放射率の高い熱放射層と、
を備えるセンサモジュール。
続きを表示(約 630 文字)
【請求項2】
前記ケースは、前記センサ素子側に位置する内表面と、前記内表面の反対側に位置する外表面を有し、
前記熱放射層は、前記ケースの前記内表面、前記外表面又はその両方に設けられている、
請求項1に記載のセンサモジュール。
【請求項3】
前記基板は、前記センサ素子及び前記ケースが搭載された上面と、前記上面の反対側に位置する下面を有し、
前記熱放射層は、前記基板の前記上面、前記下面又はその両方に設けられており、且つ、前記基板を構成する材料よりも熱放射率が高い、
請求項1に記載のセンサモジュール。
【請求項4】
前記ケースは、内側ケースと、前記内側ケースを覆う外側ケースとを含み、
前記熱放射層は、前記内側ケース、前記外側ケース又はその両方に設けられている、
請求項1に記載のセンサモジュール。
【請求項5】
前記センサ素子は、測定雰囲気中に含まれる所定のガス成分の濃度、又は、測定雰囲気中における空気の振動、圧力、温度若しくは湿度を検出するものであり、
前記ケースには貫通孔が設けられている、
請求項1に記載のセンサモジュール。
【請求項6】
前記熱放射層は、前記ケースの表面に塗布された熱放射率が95%以上の炭素系塗料又は金属酸化物からなる、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本開示はセンサモジュールに関し、特に、測定雰囲気中における所定の物理量を検出するセンサモジュールに関する。
続きを表示(約 1,600 文字)
【背景技術】
【0002】
特許文献1には、配線基板に搭載されたガス検出素子を保護キャップで覆った構造を有するガスセンサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特許第4280705号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1に開示されたガスセンサにおいては、保護キャップがステンレス鋼板などの金属材料によって構成されている。金属材料は熱伝導率が高いものの、熱放射率が低いことから、ガス検出素子の温度が環境温度から乖離しやすく、これが測定誤差の原因となることがあった。
【0005】
本開示においては、測定雰囲気中に含まれる所定の物理量を検出するセンサモジュールにおいて、センサ素子の環境温度に対する追従性を高める技術が説明される。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一側面によるセンサモジュールは、基板と、基板に搭載されたセンサ素子と、基板に固定され、センサ素子を覆うケースと、ケースの表面に設けられ、ケースを構成する材料よりも熱放射率の高い熱放射層とを備える。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、ケースの表面が熱放射層で覆われていることから、センサ素子の環境温度に対する追従性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
図1は、本開示の第1の実施形態によるセンサモジュール1の外観を示す略斜視図である。
図2は、センサモジュール1の略分解斜視図である。
図3は、センサモジュール1を裏面側から見た略平面図である。
図4は、センサモジュール1の略断面図である。
図5は、センサモジュール1の第1の変形例による略断面図である。
図6は、センサモジュール1の第2の変形例による略断面図である。
図7は、センサモジュール1の第3の変形例による略断面図である。
図8は、センサモジュール1の第4の変形例による略断面図である。
図9は、センサモジュール1の第5の変形例による略断面図である。
図10は、センサモジュール1の第6の変形例による略断面図である。
図11は、センサモジュール1の第7の変形例による略断面図である。
図12は、センサモジュール1の第8の変形例による略断面図である。
図13は、センサモジュール1の第9の変形例による略断面図である。
図14は、本開示の第2の実施形態によるセンサモジュール2の外観を示す略斜視図である。
図15は、センサモジュール2の略分解斜視図である。
図16は、センサモジュール2の略断面図である。
図17は、本開示の第3の実施形態によるセンサモジュール3の略断面図である。
図18は、センサモジュール3の第1の変形例による略断面図である。
図19は、センサモジュール3の第2の変形例による略断面図である。
図20は、センサモジュール3の第3の変形例による略断面図である。
図21は、センサモジュール3の第4の変形例による略断面図である。
図22は、センサモジュール3の第5の変形例による略断面図である。
図23は、センサモジュール3の第6の変形例による略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る技術の実施形態について詳細に説明する。
【0010】
図1は、本開示の第1の実施形態によるセンサモジュール1の外観を示す略斜視図である。また、図2は、センサモジュール1の略分解斜視図である。
(【0011】以降は省略されています)
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