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公開番号2024114191
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023019787
出願日2023-02-13
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人株式会社東芝,東芝インフラシステムズ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類G01N 29/32 20060101AFI20240816BHJP(測定;試験)
要約【課題】検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、第1、第2送信部、第1、第2受信部、搬送部、及び、制御部を含む。第1送信部は、第1方向に沿って並ぶ複数の第1送信素子を含む。第2送信部は、第1方向に沿って並ぶ複数の第2送信素子を含む。第1送信部から第2送信部への第2方向は、第1方向と交差する。制御部は、第1送信部から第1超音波を送信させ、第2送信部から第2超音波を送信させることが可能である。制御部は、複数の第1送信素子の1つに第1信号を供給し、複数の第1送信素子の別の1つに第1隣信号を供給する。第1隣信号は、第1信号の反転である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能な制御部であって、前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である、前記制御部と、
を備えた検査装置。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１信号及び前記第１隣信号を前記複数の第１送信素子に交互に供給可能である、請求項１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項５】
前記複数の第１送信素子の前記１つは、
前記第１超音波を発生させることが可能な第１送信トランスデューサ膜と、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１送信導波部と、
を含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
前記複数の第１受信素子の１つは、
前記第１超音波を導波させることが可能な第１受信導波部と、
前記第１超音波により変形可能な第１受信トランスデューサ膜と、
を含み、
前記第１送信導波部は、前記第１送信トランスデューサ膜と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にあり、
前記第１受信導波部は、前記第１送信導波部と、前記第１受信トランスデューサ膜と、の間にある、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部であって、前記複数の第１送信素子の１つは、第１圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の別の１つは、第１隣圧電層を含み、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣であり、前記第１隣圧電層の極性は、前記第１圧電層の極性に対して反転している、前記第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の前記１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の前記別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能な搬送部と、
を備えた検査装置。
【請求項８】
前記第２位置と前記第１位置との間の距離は、前記第２位置と前記第１隣位置との間の距離と実質的に同じである、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記複数の第１送信素子は、前記第１方向に沿って第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子は、前記第１方向に沿って前記第１ピッチで並び、
前記複数の第２送信素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１送信素子の前記第１方向における位置を基準にして前記第１ピッチの１／２でシフトしている、請求項７に記載の検査装置。
【請求項１０】
第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む第１送信部と、
前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む第２送信部であって、前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にあり、前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である、前記第２送信部と、
前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む第１受信部と、
前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む第２受信部と、
を含む素子部の前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させ、
前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、
前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給し、
前記第１隣信号は、前記第１信号の反転であり、
前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間を前記第２方向に沿って移動する検査対象を検査する、検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば超音波などを用いた検査装置がある。検出精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６６６８１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、検出精度を向上できる検査装置及び検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、検査装置は、第１送信部、第２送信部、第１受信部、第２受信部、搬送部、及び、制御部を含む。前記第１送信部は、第１方向に沿って並び第１超音波を送信可能な複数の第１送信素子を含む。前記第２送信部は、前記第１方向に沿って並び第２超音波を送信可能な複数の第２送信素子を含む。前記第１送信部から前記第２送信部への第２方向は、前記第１方向と交差する。前記複数の第２送信素子の１つの前記第１方向における第２位置は、前記複数の第１送信素子の１つの前記第１方向における第１位置と、前記複数の第１送信素子の別の１つの前記第１方向における第１隣位置と、の間にある。前記複数の第１送信素子の前記別の１つは、前記複数の第１送信素子の前記１つの隣である。前記第１受信部は、前記第１超音波を受信可能な複数の第１受信素子を含む。前記第２受信部は、前記第２超音波を受信可能な複数の第２受信素子を含む。前記搬送部は、前記第１送信部と前記第１受信部との間、及び、前記第２送信部と前記第２受信部との間の空間中を前記第２方向に沿って、検査対象を搬送可能である。前記制御部は、前記第１送信部から前記第１超音波を送信させ、前記第２送信部から前記第２超音波を送信させることが可能である。前記制御部は、前記複数の第１送信素子の前記１つに第１信号を供給し、前記複数の第１送信素子の前記別の１つに第１隣信号を供給する。前記第１隣信号は、前記第１信号の反転である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的斜視図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図４は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図５は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図６（ａ）～図６（ｄ）は、第２実施形態に係る検査装置を例示する模式的断面図である。
図７は、第３実施形態に係る検査方法を例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的斜視図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、第１送信部１１Ａ、第２送信部１２Ａ、第１受信部２１Ａ、第２受信部２２Ａ、搬送部６０及び制御部７０を含む。
【０００９】
第１送信部１１Ａは、複数の第１送信素子１１を含む。複数の第１送信素子１１は、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ。複数の第１送信素子１１は、第１超音波１１ｗを送信可能である。
【００１０】
第１方向Ｄ１をＹ軸方向とする。Ｙ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｙ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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