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公開番号2024058894
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-30
出願番号2022166296
出願日2022-10-17
発明の名称照準器及びプラズマ照射ユニット
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人グランダム特許事務所
主分類H05H 1/26 20060101AFI20240422BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】プラズマの照射位置を把握し易い照準器及びプラズマ照射ユニットを提供する。
【解決手段】照準器30は、流動するガスを放出口22Bを介して放出するガス誘導路22と、互いに離間する一対の電極23A,23Bを有してガス誘導路22内でプラズマ放電を発生させる放電部23と、を備えるプラズマ照射器具20に配される。照準器30は、指向性を有する光を照射する光源31,32を備える。プラズマ照射ユニット10は、照準器30と、プラズマ照射器具20と、を具備する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
流動するガスを放出口を介して放出するガス誘導路と、互いに離間する一対の電極を有して前記ガス誘導路内でプラズマ放電を発生させる放電部と、を備えるプラズマ照射器具に配される照準器であって、
指向性を有する光を照射する光源を備える、
照準器。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記プラズマ照射器具によるプラズマが照射される被照射体に向けて前記光源からの光を照射可能な配置で前記プラズマ照射器具に配される、
請求項１に記載の照準器。
【請求項３】
前記光源からの所定範囲内において、前記光源から照射される光が前記プラズマ照射器具から照射されるプラズマに近づくように配される、
請求項２に記載の照準器。
【請求項４】
前記光源から照射される光と、前記プラズマ照射器具から照射されるプラズマとが交わるように配される、
請求項３に記載の照準器。
【請求項５】
２つの前記光源を備え、
２つの前記光源からそれぞれ照射される光は、それぞれの前記光源からの所定範囲内において、互いに近づく、
請求項１又は請求項２に記載の照準器。
【請求項６】
３つの前記光源を備え、
３つの前記光源からそれぞれ照射される光は、それぞれの前記光源からの所定範囲内において、他の２つの前記光源に対して近づく、
請求項１又は請求項２に記載の照準器。
【請求項７】
前記光源から照射される光は、その中心軸に直交する平面に投影したとき、前記中心軸周りの少なくとも一部を連続的に囲む形状、又は前記中心軸周りの複数の位置に存在する形状である、
請求項１又は請求項２に記載の照準器。
【請求項８】
前記プラズマ照射器具に対して着脱可能である、
請求項１又は請求項２に記載の照準器。
【請求項９】
請求項１又は請求項２に記載の照準器と、前記プラズマ照射器具と、を具備するプラズマ照射ユニット。
【請求項１０】
前記プラズマ照射器具は、把持可能な把持部を備え、
前記照準器は、前記放出口と前記把持部との間に配される、
請求項９に記載のプラズマ照射ユニット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、照準器及びプラズマ照射ユニットに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されるプラズマ照射装置は、手で把持する形態のプラズマヘッドと、プラズマヘッド内に収容されるプラズマ生成用の電極（中心電極及び接地電極）と、を備えている。このプラズマ照射装置は、供給されるプラズマ発生用のＲＦ電源を用いて、低温プラズマを発生させ、プラズマヘッドの先端から噴射する構成である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０１４-５１９８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されるようなプラズマ照射装置では、発生させたプラズマの照射位置を、精度良くコントロールする必要がある。そこで、プラズマの照射位置を把握し易い構成が求められている。
【０００５】
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、プラズマの照射位置を把握し易い照準器及びプラズマ照射ユニットを提供することを一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下で示す〔１〕から〔１１〕の特徴は、矛盾しない態様でどのように組み合わせてもよい。
【０００７】
〔１〕本開示の照準器は、
流動するガスを放出口を介して放出するガス誘導路と、互いに離間する一対の電極を有して前記ガス誘導路内でプラズマ放電を発生させる放電部と、を備えるプラズマ照射器具に配される照準器であって、
指向性を有する光を照射する光源を備える。
【０００８】
このような構成によって、照準器から照射する指向性を有する光を基準とすることで、プラズマの照射位置を把握し易くなる。そのため、照準器からの光を基準としてプラズマ照射器具を操作することで、プラズマの照射位置をコントロールし易くなる。
【０００９】
〔２〕前記プラズマ照射器具によるプラズマが照射される被照射体に向けて前記光源からの光を照射可能な配置で前記プラズマ照射器具に配されることが好ましい。
【００１０】
このような構成によって、光源からの光と照射されるプラズマとの位置が近くなるため、光源からの光を基準としてプラズマの照射位置をより一層把握し易くなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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