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公開番号2024057644
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164418
出願日2022-10-13
発明の名称放電ランプ点灯装置、およびそれを備える露光装置
出願人フェニックス電機株式会社
代理人個人
主分類H05B 41/288 20060101AFI20240418BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】イグナイターを電源の近傍に配置して放電ランプからの紫外線によるイグナイターへの悪影響をなくすること、すなわち放電ランプの近傍に配置する必要がない放電ランプ点灯装置を提供する。
【解決手段】直流点灯型の放電ランプLを点灯させる放電ランプ点灯装置Aに設けられており、延長ケーブルCを介して放電ランプLを始動・点灯する放電ランプ点灯回路10を、放電ランプ点灯用のバラスト12と、点灯始動用のイグナイター14とで構成する。イグナイター14を、入力側がバラスト12の出力側に接続されており、出力側が放電ランプLに接続されている逆流防止ダイオード20と、逆流防止ダイオード20の出力側に接続され、点灯始動時に放電ランプLに印加される直流の高電圧を出力する高圧回路22とで構成する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
直流点灯型の放電ランプを点灯させる放電ランプ点灯装置であって、
延長ケーブルを介して、前記放電ランプを始動・点灯する放電ランプ点灯回路を備えており、
前記放電ランプ点灯回路は、放電ランプ点灯用のバラストと、前記バラストに接続された点灯始動用のイグナイターとで構成されており、
前記イグナイターは、
入力側が前記バラストの出力側に接続されており、出力側が前記放電ランプに接続されている逆流防止ダイオードと、
前記逆流防止ダイオードの前記出力側に接続された、点灯始動時に前記放電ランプに印加される直流の高電圧を出力する高圧回路とで構成されている
放電ランプ点灯装置。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記放電ランプは複数であり、
前記放電ランプ点灯回路は、複数の前記放電ランプを個別に点灯あるいは遮断する機能を有しており、
複数の前記放電ランプを点灯させる際には、前記放電ランプを１台ずつ順次始動する
請求項１に記載の放電ランプ点灯装置。
【請求項３】
前記高圧回路は、
前記逆流防止ダイオードの前記出力側に接続された整流ダイオードと、
前記逆流防止ダイオードの前記入力側に接続されたトリガ回路と、
昇圧トランスとで構成されており、
前記昇圧トランスの一次側は前記トリガ回路に、前記昇圧トランスの二次側出力の一端は前記整流ダイオードに接続される
請求項１または２に記載の放電ランプ点灯装置。
【請求項４】
前記昇圧トランスの前記二次側出力のもう一方の一端は前記逆流防止ダイオードの前記入力側に接続されている
請求項３に記載の放電ランプ点灯装置。
【請求項５】
前記高圧回路は、
前記逆流防止ダイオードの前記出力側に接続された整流ダイオードと、
ＣＣＦＬインバータとで構成されており、
前記ＣＣＦＬインバータのトランスにおける二次側の第一の出力は、前記整流ダイオードに接続されており、
第二の出力は、前記逆流防止ダイオードの前記入力側に接続されている
請求項１または２に記載の放電ランプ点灯装置。
【請求項６】
前記延長ケーブルは、ＰＴＦＥ電線である
請求項１または２に記載の放電ランプ点灯装置。
【請求項７】
請求項１に記載の放電ランプ点灯装置を備える露光装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置における光源装置として使用される放電ランプを始動、点灯するための放電ランプ点灯装置、およびそれを備える露光装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従前より、露光装置には、露光用光を放射する光源装置として放電ランプが使用されている。この放電ランプを始動、点灯させる際には、放電ランプにおける電極間に高い電圧を印加させる必要があり、そのような高電圧を放電ランプに印加する放電ランプ点灯装置が光源装置に設けられている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、放電ランプ点灯回路が開示されており、当該回路における起動器１９は、パルス状の高電圧を発生するイグナイターと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平７－５７８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常この種のイグナイターの高電圧は半値幅が数１０ns～数１００nsと非常に小さいので、放電ランプ点灯装置と放電ランプとの間にあるケーブルの浮遊容量によって波高値が低下する。
【０００６】
このため、ステッパなどの露光装置においては、電源からランプ間のケーブルが長い場合、当該ケーブルにおける浮遊容量の影響を少なくするためにイグナイターを放電ランプに近接して配置する必要があった。あまり近接して配置すると、放電ランプからの紫外線や熱の影響を受けてイグナイターが劣化する問題がある。
【０００７】
したがい、この装置において、放電ランプ点灯装置と放電ランプとの間にあるケーブルによる高圧低下の問題と紫外線によるイグナイターの劣化の問題とを同時に解決することが望まれていた。
【０００８】
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、イグナイターを電源の近傍に配置して放電ランプからの紫外線によるイグナイターへの悪影響をなくすること、すなわち放電ランプの近傍に配置する必要がない放電ランプ点灯装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一局面によれば、
直流点灯型の放電ランプを点灯させる放電ランプ点灯装置であって、
延長ケーブルを介して、前記放電ランプを始動・点灯する放電ランプ点灯回路を備えており、
前記放電ランプ点灯回路は、放電ランプ点灯用のバラストと、前記バラストに接続された点灯始動用のイグナイターとで構成されており、
前記イグナイターは、
入力側が前記バラストの出力側に接続されており、出力側が前記放電ランプに接続されている逆流防止ダイオードと、
前記逆流防止ダイオードの前記出力側に接続された、点灯始動時に前記放電ランプに印加される直流の高電圧を出力する高圧回路とで構成されている
放電ランプ点灯装置が提供される。
【００１０】
好適には、
前記放電ランプは複数であり、
前記放電ランプ点灯回路は、複数の前記放電ランプを個別に点灯あるいは遮断する機能を有しており、
複数の前記放電ランプを点灯させる際には、前記放電ランプを１台ずつ順次始動する。
（【００１１】以降は省略されています）

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