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公開番号2024040253
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-25
出願番号2024015613,2019224077
出願日2024-02-05,2019-12-11
発明の名称電波吸収体用インピーダンス整合膜、電波吸収体用インピーダンス整合膜付フィルム、電波吸収体、及び電波吸収体用積層体
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人青藍国際特許事務所
主分類H05K 9/00 20060101AFI20240315BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】高温雰囲気に長期間曝されたときにインピーダンス整合の観点から所望の特性を保つのに有利な電波吸収体用インピーダンス整合膜を提供する。
【解決手段】インピーダンス整合膜10は、アモルファス構造を有する酸化インジウムと酸化スズとの混合物を主成分として含む。インピーダンス整合用インピーダンス整合膜10は、5cm²/(V・s)以上のHall移動度を有する。インピーダンス整合膜10
は、16nm以上かつ100nm未満の厚みを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
アモルファス構造を有する酸化インジウムと酸化スズとの混合物を主成分として含み、
５ｃｍ
2
／（Ｖ・ｓ）以上のＨａｌｌ移動度を有し、
１６ｎｍ以上かつ１００ｎｍ未満の厚みを有する、
電波吸収体用インピーダンス整合膜。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
０．５×１０
-3
～５．０×１０
-3
Ω・ｃｍの比抵抗を有する、請求項１に記載のインピーダンス整合膜。
【請求項３】
２００～８００Ω／□のシート抵抗を有する、請求項１又は２に記載のインピーダンス整合膜。
【請求項４】
前記酸化スズの含有量は２０質量％以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載のインピーダンス整合膜。
【請求項５】
前記酸化スズの含有量は４０質量％を超える、請求項４に記載のインピーダンス整合膜。
【請求項６】
インジウム原子、スズ原子、及び酸素原子とは異なる原子を少なくとも有する添加物をさらに含む、請求項１～５のいずれか１項に記載のインピーダンス整合膜。
【請求項７】
基材と、
請求項１～６のいずれか１項に記載のインピーダンス整合膜と、を備えた、
電波吸収体用インピーダンス整合膜付フィルム。
【請求項８】
請求項１～６のいずれか１項に記載のインピーダンス整合膜と、
電波を反射する導電体と、
前記インピーダンス整合膜の厚み方向において前記インピーダンス整合膜と前記導電体との間に配置されている誘電体層と、を備えた、
電波吸収体。
【請求項９】
前記導電体は、酸化インジウムスズを含む、請求項８に記載の電波吸収体。
【請求項１０】
前記導電体は、アルミニウム、銅、鉄、アルミニウム合金、銅合金、及び鉄合金からなる群より選ばれる少なくとも１つを含む、請求項８に記載の電波吸収体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電波吸収体用インピーダンス整合膜、電波吸収体用インピーダンス整合膜付フィルム、電波吸収体、及び電波吸収体用積層体に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の酸化インジウム及び酸化スズを含む物質を用いてインピーダンス整合を図る技術が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１によれば、従来のλ／４型電波吸収体は、抵抗皮膜であるＩＴＯ、誘電体、及び導電層を積層させた構造であると説明されている。λ／４型電波吸収体において、抵抗皮膜であるＩＴＯによりインピーダンス整合が図られる。一方、特許文献１によれば、ＩＴＯのアモルファス膜は、大気中での耐久性が低いと指摘されている。そこで、特許文献１では、優れた耐久性を発揮するλ／４型電波吸収体の製造のために、モリブデンを５重量％以上含有する合金からなるλ／４型電波吸収体用抵抗皮膜が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－５６５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１には、ＩＴＯのアモルファス膜を抵抗皮膜に用いてλ／４型電波吸収体の耐久性を高めることができることは記載も示唆もされていない。加えて、特許文献１において、高温環境（例えば、１２５℃の環境）に長期間曝されたときの抵抗皮膜の耐久性は評価されていない。
【０００６】
このような事情を踏まえて、本発明は、アモルファス構造を有する酸化インジウムと酸化スズとの混合物を主成分として含み、高温雰囲気に長期間曝されたときにインピーダンス整合の観点から所望の特性を保つのに有利な電波吸収体用インピーダンス整合膜を提供する。加えて、本発明は、このようなインピーダンス整合膜を備えた、電波吸収体及び電波吸収体用積層体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
アモルファス構造を有する酸化インジウムと酸化スズとの混合物を主成分として含み、
５ｃｍ
2
／（Ｖ・ｓ）以上のＨａｌｌ移動度を有し、
１６ｎｍ以上かつ１００ｎｍ未満の厚みを有する、
電波吸収体用インピーダンス整合膜を提供する。
【０００８】
また、本発明は、
基材と、
上記のインピーダンス整合膜と、を備えた、
電波吸収体用インピーダンス整合膜付フィルムを提供する。
【０００９】
また、本発明は、
上記のインピーダンス整合膜と、
電波を反射する導電体と、
前記インピーダンス整合膜の厚み方向において前記インピーダンス整合膜と前記導電体との間に配置されている誘電体層と、を備えた、
電波吸収体を提供する。
【００１０】
また、本発明は、
上記のインピーダンス整合膜と、
前記インピーダンス整合膜の厚み方向において前記インピーダンス整合膜に接触して配置されている、誘電体層と、を備えた、
電波吸収体用積層体を提供する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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