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公開番号2024036483
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-15
出願番号2024014917,2023165914
出願日2024-02-02,2022-02-25
発明の名称窒化珪素基板
出願人株式会社プロテリアル
代理人
主分類C04B 35/587 20060101AFI20240308BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】窒化珪素基板の外観検査の異物あるいは汚れの検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】第1面と、前記第1面とは反対側の第2面とを有し、平面形状は、それぞれの辺が100mm以上の矩形形状であり、熱伝導率は、110W/(m・K)以上であり、前記第1面と前記第2面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に15mm内側の位置である縁部のすべてで、明度が70以上である、窒化珪素基板。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、
平面形状は、それぞれの辺が１００ｍｍ以上の矩形形状であり、
熱伝導率は、１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、
前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上である、
窒化珪素基板。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
珪素が含まれるシート状の成形体を窒化してなる、窒化ケイ素基板であって、
第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、
平面形状は、それぞれの辺が１００ｍｍ以上の矩形形状であり、
前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上である、
窒化珪素基板。
【請求項３】
請求項１または２に記載の窒化珪素基板において、
厚さが０．１５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下である、窒化珪素基板。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化珪素基板およびその製造技術に関し、例えば、熱伝導率が１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の窒化珪素基板およびその製造技術に適用して有効な技術に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２００３－２６７７８６号公報（特許文献１）には、焼結体の色を従来材に比べて黒色化し、かつ、色むらを少なくするとともに、充分な強度を有する窒化珪素系セラミックス焼結体を提供するための技術が記載されている。
【０００３】
特開２００５－２１４６５９号公報（特許文献２）には、配線基板の色に対してコントラストが小さい色の異物も判別できる異物検査装置に関する技術が記載されている。
【０００４】
特開２０１６－２０４２０６号公報（特許文献３）、特開２０１６－２０４２０７号公報（特許文献４）、特開２０１６－２０４２０９号公報（特許文献５）および特開２０１６－２０４２１０号公報（特許文献６）には、軽量、かつ、高硬度であり、研磨などの加工に対する耐性に優れ、さらには、外観品質に優れた窒化珪素系セラミック部材を提供するための技術が記載されている。
【０００５】
特開平９－２２７２４０号公報（特許文献７）には、窒化珪素セラミックス焼結体における表面色調層部の厚さを薄くして、さらに、表面層および内部層の破壊強度特性を均一にすることができる技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００３－２６７７８６号公報
特開２００５－２１４６５９号公報
特開２０１６－２０４２０６号公報
特開２０１６－２０４２０７号公報
特開２０１６－２０４２０９号公報
特開２０１６－２０４２１０号公報
特開平９－２２７２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば、窒化珪素基板の表面に異物や汚れが付着すると、「ろう材」との接触不良や窒化珪素基板自体の絶縁不良を引き起こす要因となることから、異物や汚れを除去する必要がある。したがって、異物や汚れの窒化珪素基板への付着を検出するために、外観検査が行われている。外観検査手法としては、例えば、窒化珪素基板の表面をＣＣＤカメラに代表される撮像装置で撮像した後、撮像された画像のデータと予め登録された基準データとを比較することにより、異物や汚れを検出する手法がある。
【０００８】
本発明の目的は、窒化珪素基板の外観検査の異物あるいは汚れの検出精度を向上できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一実施の形態における窒化珪素基板は、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、平面形状は、それぞれの辺が１００ｍｍ以上の矩形形状であり、熱伝導率は、１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上である。
【００１０】
一実施の形態における窒化珪素基板は、珪素が含まれるシート状の成形体を窒化してなる、窒化ケイ素基板であって、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、平面形状は、それぞれの辺が１００ｍｍ以上の矩形形状であり、前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上である。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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