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公開番号2025154342
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057276
出願日2024-03-29
発明の名称窒化セラミックス基板の製造方法
出願人株式会社プロテリアル
代理人弁理士法人平田国際特許事務所
主分類C04B 35/591 20060101AFI20251002BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】表面の色むらの発生を従来の方法よりも効果的に抑えることのできる窒化セラミックス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シート状の成形体を前駆体として窒化セラミックス基板を製造する窒化セラミックス基板の製造方法であって、複数の前記成形体の積層体2が収容された加熱用収容具10が複数段に積み重ねられた組立体1を組み立てる組立工程と、前記組立工程の後、窒素雰囲気での加熱処理により、前記成形体を窒化させる窒化工程と、を含み、加熱用収容具10は、積層体2を載せる板材101を含み、組立体1は、少なくとも一部において、熱伝導材11を介して加熱用収容具10が複数段に積み重ねられ、熱伝導材11は、板材101よりも熱伝導率が高い、窒化セラミックス基板の製造方法を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
シート状の成形体を前駆体として窒化セラミックス基板を製造する窒化セラミックス基板の製造方法であって、
複数の前記成形体の積層体が収容された加熱用収容具が複数段に積み重ねられた組立体を組み立てる組立工程と、
前記組立工程の後、窒素雰囲気での加熱処理により、前記成形体を窒化させる窒化工程と、
を含み、
前記加熱用収容具は、前記積層体を載せる板材を含み、
前記組立体は、少なくとも一部において、熱伝導材を介して前記加熱用収容具が複数段に積み重ねられ、
前記熱伝導材は、前記板材よりも熱伝導率が高い、
窒化セラミックス基板の製造方法。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
前記熱伝導材は、カーボンを含む、
請求項１に記載の窒化セラミックス基板の製造方法。
【請求項３】
前記熱伝導材は、窒化珪素からなる、
請求項１に記載の窒化セラミックス基板の製造方法。
【請求項４】
前記熱伝導材は、熱伝導率が５Ｗ／ｍ・Ｋ
以上である、
請求項１に記載の窒化セラミックス基板の製造方法。
【請求項５】
前記熱伝導材は、耐熱温度が１４００℃以上である、
請求項１に記載の窒化セラミックス基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化セラミックス基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、積層された複数のシート状の成形体を窒化して窒化珪素基板を得る窒化珪素基板の製造方法であって、窒化珪素基板の表面に生じる色むらを低減する方法が知られている（特許文献１を参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の方法によれば、窒化処理の加熱条件を制御することにより、窒化珪素基板の表面に生じる色むらを低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－１２３９４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の方法によれば、窒化珪素基板の生産性を向上させるために、シート状の成形体の積層数を増加させたり、窒化処理の際に昇温速度を上げたりすると、窒化珪素基板の表面の色むらの発生を抑えられなくなる。そのため、より効果的に表面の色むらの発生を抑えることのできる方法が望まれている。
【０００６】
本発明の目的は、表面の色むらの発生を従来の方法よりも効果的に抑えることのできる窒化セラミックス基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決することを目的として、シート状の成形体を前駆体として窒化セラミックス基板を製造する窒化セラミックス基板の製造方法であって、複数の前記成形体の積層体が収容された加熱用収容具が複数段に積み重ねられた組立体を組み立てる組立工程と、前記組立工程の後、窒素雰囲気での加熱処理により、前記成形体を窒化させる窒化工程と、を含み、前記加熱用収容具は、前記積層体を載せる板材を含み、前記組立体は、少なくとも一部において、熱伝導材を介して前記加熱用収容具が複数段に積み重ねられ、前記熱伝導材は、前記板材よりも熱伝導率が高い、窒化セラミックス基板の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、表面の色むらの発生を従来の方法よりも効果的に抑えることのできる窒化セラミックス基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本発明の実施の形態に係る窒化セラミックス基板の製造方法に用いられる組立体の垂直断面図である。
図２は、それぞれ１つの加熱用収容具と熱伝導材を含む、組立体の一部の分解斜視図である。
図３（ａ）は、熱伝導材を組立体に含む本発明の実施の形態に係る窒化セラミックス基板の製造方法を用いて製造された、表面の色むらが抑えられた窒化工程後の成形体の外観写真である。図３（ｂ）は、熱伝導材を組立体に含まない従来の製造方法を用いて製造された、表面の色むらが生じた窒化工程後の成形体の外観写真である。
図４は、熱伝導材の使用による窒化基板の変色抑制効果の評価結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態に係る窒化セラミックス基板の製造方法は、シート状の成形体を前駆体として窒化セラミックス基板を製造する方法であって、複数のシート状の成形体の積層体２が収容された加熱用収容具１０が複数段に積み重ねられた組立体１を組み立てる組立工程と、組立工程の後、窒素雰囲気での加熱処理により、上記の成形体を窒化させる窒化工程とを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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