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公開番号2025129139
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-04
出願番号2025026355
出願日2025-02-21
発明の名称試料チップ
出願人エフイーアイカンパニ,FEI COMPANY
代理人弁理士法人ITOH
主分類H01J 37/20 20060101AFI20250828BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】エネルギー分散型X線分光(EDS)によって分析される試料のための改善されたホルダを提供する。
【解決手段】本発明は、試料を解放可能に保持するための試料ホルダチップ(以下、試料チップと称される)に関し、試料チップは、ベリリウムを含み、試料を解放可能に受容するための凹部を伴う、クレードルと、アルミニウムを含むバンパと、を備える。具体的には、本発明は、荷電粒子顕微鏡で使用され得る試料チップに関する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
試料を解放可能に保持するための試料チップであって、前記試料チップが、
ベリリウムを含み、試料を解放可能に受容するための凹部を伴う、クレードルと、
アルミニウムを含むバンパと、を備える、試料チップ。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記クレードルが、第１の表面及び第２の表面を備え、前記第１の表面及び前記第２の表面が、互いに実質的に平行である、請求項２に記載の試料チップ。
【請求項３】
前記バンパが、前記クレードルと同じ平面内に延在する、請求項１又は２に記載の試料チップ。
【請求項４】
前記チップが、前記試料を解放可能に保持するための少なくとも１つの固定要素を備える、請求項１～３のいずれか一項に記載のチップ。
【請求項５】
前記凹部が、試料グリッドを受容するように解放可能に構成されている、請求項１～４のいずれか一項に記載のチップ。
【請求項６】
前記試料グリッドが、荷電粒子顕微鏡用である、請求項５に記載のチップ。
【請求項７】
前記チップが、試料ホルダに解放可能に接続されるか、又は試料ステージに解放可能に接続される、請求項１～６のいずれか一項に記載のチップ。
【請求項８】
前記クレードル凹部が、実質的に円形である、請求項１～７のいずれか一項に記載のチップ。
【請求項９】
前記クレードル凹部が、実質的に中央の空隙を含む、請求項１～８のいずれか一項に記載のチップ。
【請求項１０】
前記空隙が、実質的に円形である、請求項９に記載のチップ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料を解放可能に保持するための試料ホルダチップ（以下、試料チップと称される）に関し、試料チップは、ベリリウムを含み、試料を解放可能に受容するための凹部を伴う、クレードルと、アルミニウムを含むバンパと、を備える。具体的には、本発明は、荷電粒子顕微鏡で使用され得る試料チップに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡の分野では、概して、小さすぎて肉眼で見ることができない物体、特徴又は構成要素の拡大画像を作成するための様々なタイプの光学デバイスが周知である。そのようなデバイスは、透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope、ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、ＳＥＭ）、及び走査型透過電子顕微鏡（Scanning Transmission Electron Microscope、ＳＴＥＭ）を含み得る。試料の撮像は、典型的には、撮像ビームによる試料の照射によって引き起こされる試料からの発散又は出力放射を検出することによって達成される。そのような放射は、二次電子と、後方散乱電子と、Ｘ線と、光（可視光、並びに近ＩＲ及び近ＵＶ等の近可視光）と、これらの任意の組み合わせと、を含み得る。これらの撮像デバイスは、ミリング若しくはアブレーションなどによって材料を除去することによって、又は堆積などによって材料を追加することによって試料を修正するための機械加工機能を有する追加のツールを伴う「デュアルビーム」システムの一部であり得る。例えば、そのようなデュアルビームシステムは、機械加工のための集束イオンビーム（Focused Ion Beam、ＦＩＢ）と、撮像のための電子顕微鏡と、を含み得る。
【０００３】
「エネルギー分散型Ｘ線分光」又は「ＥＤＳ」と呼ばれるプロセスでは、試料からの応答電子ビームのＸ線のエネルギーが測定され、ヒストグラムにプロットされて、材料固有のスペクトルを形成する。測定されたスペクトルは、どの元素及び鉱物が試料中に存在するかを判定するために、様々な元素の既知のスペクトルと比較され得る。
【０００４】
しかしながら、ＥＤＳは、試料ホルダなどの機器内に存在する材料からスプリアスピークの導入など、ある種の不利店に悩まされる可能性がある。
【発明の概要】
【０００５】
したがって、本発明の目的は、ＥＤＳによって分析される試料のための改善されたホルダを提供することであり、これは、ＥＤＸ検出器に向かって高い立体角を可能にし、ＥＤＸ検出器の追加のコリメーションを提供し、高いＰ／Ｂ、ホルダ／検出器周囲環境から生成されるスプリアスピークの抑制を可能にし、並びに堅牢及び使用可能な設計を提供することを目的とする。
【０００６】
本発明は、試料を解放可能に保持するための試料チップの提供によってこれに対処し、試料チップは、
ベリリウムを含み、試料を解放可能に受容するための開口部又は空隙を含む凹部を伴う、クレードルと、
アルミニウムを含むバンパと、を備える。
【０００７】
試料チップは、好ましくは、荷電粒子顕微鏡、具体的には、ＥＤＸ検出器を備える荷電粒子顕微鏡において使用され得る。
【０００８】
試料チップ内のクレードルは、典型的には、互いに実質的に平行である第１の表面及び第２の表面を備える。
【０００９】
本明細書で使用される場合「実質的に」という用語は、言及される特徴が、説明される正確な特徴ではなく、説明される特徴をほぼ有することを意味することが意図される。例えば、実質的に平行は、表面が同じ方向にあるが、正確に同じ距離だけ離れていることから逸脱し得ることを意味することが意図され、実質的に円形は、特徴が完全な円形ではなくほぼ円形を有し得ることを意味することが意図される。言及される特徴は、「正確な」特徴から約１．０％～約０．００１％、例えば、約０．５％～約０．１％逸脱し得る。
【００１０】
クレードルは、ベリリウムを含む。本発明の好ましい態様では、クレードルは、本質的にベリリウムからなり得るか、又はベリリウムからなり得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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