特許ウォッチ

公開番号2025126869
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-29
出願番号2024040860
出願日2024-03-15
発明の名称スクリーンメッシュ、スクリーンマスク、導電パターンの製造方法、および導電性基材の製造方法
出願人株式会社サトー
代理人個人
主分類B41N 1/24 20060101AFI20250822BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】厚さムラが小さい印刷を可能とするスクリーンメッシュを提供する。
【解決手段】スクリーンメッシュ10は、導電性インクを印刷するためのスクリーンメッシュである。スクリーンメッシュ10は、平面視で、単位形状100が複数組み合わされた構造を有する部分を含む。単位形状100は、少なくとも一部が曲線から成る、閉じた形状である。複数の単位形状100のそれぞれは、一以上の糸状体で構成されている。平面視で、少なくとも一方向において、複数の単位形状100のうち隣り合う単位形状100同士は互いに接しているか、重なっている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
導電性インクを印刷するためのスクリーンメッシュであって、
平面視で、少なくとも一部が曲線から成る閉じた単位形状が複数組み合わされた構造を有する部分を含み、
前記複数の単位形状のそれぞれは、一以上の糸状体で構成されており、
平面視で、少なくとも一方向において、前記複数の単位形状のうち隣り合う単位形状同士は互いに接しているか、重なっている、
スクリーンメッシュ。
続きを表示（約 2,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に円または楕円である
スクリーンメッシュ。
【請求項３】
請求項２に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に円である
スクリーンメッシュ。
【請求項４】
請求項２に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に楕円である
スクリーンメッシュ。
【請求項５】
請求項１または２に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状は、前記複数の単位形状のうち二つ以上の単位形状からなる第１群と、前記複数の単位形状のうち他の二つ以上の単位形状からなる第２群とを含み、
平面視で、前記第１群および前記第２群のそれぞれにおいて、少なくとも一方向で、隣り合う単位形状同士は互いに接しており、
前記第１群と前記第２群とは、平面視で重なっている
スクリーンメッシュ。
【請求項６】
請求項５に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記第１群に属する単位形状同士の少なくとも一つの接点と、前記第２群に属する単位形状同士の少なくとも一つの接点とが、平面視で重なっている
スクリーンメッシュ。
【請求項７】
請求項５に記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、前記第１群を構成する前記二つ以上の単位形状の外接円の直径の平均は、前記第２群を構成する前記二つ以上の単位形状の外接円の直径の平均の０．９５倍以上１．０５倍以下であり、
平面視で、前記第１群を構成する前記二つ以上の単位形状の円形度の平均は、前記第２群を構成する前記二つ以上の単位形状の円形度の平均の０．９５倍以上１．０５倍以下である
スクリーンメッシュ。
【請求項８】
請求項１または２に記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、当該スクリーンメッシュは、周期単位が二次元に配列された周期構造を有し、
前記周期単位は正方形であり、
当該スクリーンメッシュ上で、長方形のスリットを、前記スリットの短辺の長さ分ずつその短辺方向に移動させ、各スリット位置における前記スリットを通した開口面積を特定し、特定した複数の前記開口面積のうちの最大値をＳ
ｍａｘ
、最小値をＳ
ｍｉｎ
としたとき、変動度Ｍ＝（Ｓ
ｍａｘ
－Ｓ
ｍｉｎ
）／（Ｓ
ｍａｘ
＋Ｓ
ｍｉｎ
）で算出される変動度Ｍが、前記スリットの向きが第１の状態である場合と、第２の状態である場合のいずれでも、０．８以下であり、
前記スリットの長辺の長さは前記周期単位である正方形の一辺の長さであり、前記スリットの短辺の長さは前記糸状体の平面視における線幅の２分の１倍であり、
前記第１の状態は、前記スリットの長辺が、前記周期単位である正方形のいずれかの辺に平行である状態であり、
前記第２の状態は、前記スリットの向きが、前記第１の状態から時計回りに４５°回転した状態である
スクリーンメッシュ。
【請求項９】
請求項１または２に記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、当該スクリーンメッシュは、周期単位が二次元に配列された周期構造を有し、
前記周期単位は長方形であり、
当該スクリーンメッシュ上で、長方形のスリットを、前記スリットの短辺の長さ分ずつその短辺方向に移動させ、各スリット位置における前記スリットを通した開口面積を特定し、特定した複数の前記開口面積のうちの最大値をＳ
ｍａｘ
、最小値をＳ
ｍｉｎ
としたとき、変動度Ｍ＝（Ｓ
ｍａｘ
－Ｓ
ｍｉｎ
）／（Ｓ
ｍａｘ
＋Ｓ
ｍｉｎ
）で算出される変動度Ｍが、前記スリットの向きが第１の状態である場合と、第２の状態である場合のいずれでも、０．８以下であり、
前記スリットの長辺の長さは前記周期単位である長方形の長辺の長さであり、前記スリットの短辺の長さは前記糸状体の平面視における線幅の２分の１倍であり、
前記第１の状態は、前記スリットの長辺が、前記周期単位である長方形の長辺に平行である状態であり、
前記第２の状態は、前記スリットの向きが、前記第１の状態から時計回りに４５°回転した状態である
スクリーンメッシュ。
【請求項１０】
請求項１または２に記載のスクリーンメッシュと、
当該スクリーンメッシュに付されたマスク層とを備える
スクリーンマスク。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーンメッシュ、スクリーンマスク、導電パターンの製造方法、および導電性基材の製造方法に関する。
続きを表示（約 3,600 文字）【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷の用途は様々であり、たとえば回路形成にも利用されている。
【０００３】
特許文献１には、液体セラミックを印刷するためのマスクが開示されている。特許文献１に記載のマスクでは、開口面積を液体セラミックの印刷中に生じる固形粒子の直径より大きい１ｍｍ
２
以上としている。また、開口部を構成する直線または曲線の接線がスキージの移動方向と直交する方向に対して傾斜した角度を有するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－０１４３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示されたマスクは、導電パターンを得るための導電性インクの印刷には適していなかった。導電性インクを印刷して導電パターンを得ようとする場合には、厚さムラが小さいことが特に重要である。
【０００６】
本発明は、厚さムラが小さい印刷を可能とするスクリーンメッシュを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態によれば、以下のスクリーンメッシュ、スクリーンマスク、導電パターン、および導電性基材の製造方法が提供される。
【０００８】
１．導電性インクを印刷するためのスクリーンメッシュであって、
平面視で、少なくとも一部が曲線から成る閉じた単位形状が複数組み合わされた構造を有する部分を含み、
前記複数の単位形状のそれぞれは、一以上の糸状体で構成されており、
平面視で、少なくとも一方向において、前記複数の単位形状のうち隣り合う単位形状同士は互いに接しているか、重なっている、
スクリーンメッシュ。
２．１．に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に円または楕円である
スクリーンメッシュ。
３．２．に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に円である
スクリーンメッシュ。
４．２．に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状はそれぞれ、実質的に楕円である
スクリーンメッシュ。
５．１．から４．のいずれか一つに記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記複数の単位形状は、前記複数の単位形状のうち二つ以上の単位形状からなる第１群と、前記複数の単位形状のうち他の二つ以上の単位形状からなる第２群とを含み、
平面視で、前記第１群および前記第２群のそれぞれにおいて、少なくとも一方向で、隣り合う単位形状同士は互いに接しており、
前記第１群と前記第２群とは、平面視で重なっている
スクリーンメッシュ。
６．５．に記載のスクリーンメッシュにおいて、
前記第１群に属する単位形状同士の少なくとも一つの接点と、前記第２群に属する単位形状同士の少なくとも一つの接点とが、平面視で重なっている
スクリーンメッシュ。
７．５．または６．に記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、前記第１群を構成する前記二つ以上の単位形状の外接円の直径の平均は、前記第２群を構成する前記二つ以上の単位形状の外接円の直径の平均の０．９５倍以上１．０５倍以下であり、
平面視で、前記第１群を構成する前記二つ以上の単位形状の円形度の平均は、前記第２群を構成する前記二つ以上の単位形状の円形度の平均の０．９５倍以上１．０５倍以下である
スクリーンメッシュ。
８．１．から７．のいずれか一つに記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、当該スクリーンメッシュは、周期単位が二次元に配列された周期構造を有し、
前記周期単位は正方形であり、
当該スクリーンメッシュ上で、長方形のスリットを、前記スリットの短辺の長さ分ずつその短辺方向に移動させ、各スリット位置における前記スリットを通した開口面積を特定し、特定した複数の前記開口面積のうちの最大値をＳ
ｍａｘ
、最小値をＳ
ｍｉｎ
としたとき、変動度Ｍ＝（Ｓ
ｍａｘ
－Ｓ
ｍｉｎ
）／（Ｓ
ｍａｘ
＋Ｓ
ｍｉｎ
）で算出される変動度Ｍが、前記スリットの向きが第１の状態である場合と、第２の状態である場合のいずれでも、０．８以下であり、
前記スリットの長辺の長さは前記周期単位である正方形の一辺の長さであり、前記スリットの短辺の長さは前記糸状体の平面視における線幅の２分の１倍であり、
前記第１の状態は、前記スリットの長辺が、前記周期単位である正方形のいずれかの辺に平行である状態であり、
前記第２の状態は、前記スリットの向きが、前記第１の状態から時計回りに４５°回転した状態である
スクリーンメッシュ。
９．１．から７．のいずれか一つに記載のスクリーンメッシュにおいて、
平面視で、当該スクリーンメッシュは、周期単位が二次元に配列された周期構造を有し、
前記周期単位は長方形であり、
当該スクリーンメッシュ上で、長方形のスリットを、前記スリットの短辺の長さ分ずつその短辺方向に移動させ、各スリット位置における前記スリットを通した開口面積を特定し、特定した複数の前記開口面積のうちの最大値をＳ
ｍａｘ
、最小値をＳ
ｍｉｎ
としたとき、変動度Ｍ＝（Ｓ
ｍａｘ
－Ｓ
ｍｉｎ
）／（Ｓ
ｍａｘ
＋Ｓ
ｍｉｎ
）で算出される変動度Ｍが、前記スリットの向きが第１の状態である場合と、第２の状態である場合のいずれでも、０．８以下であり、
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、厚さムラが小さい印刷を可能とするスクリーンメッシュを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１の実施形態に係るスクリーンメッシュを例示する図である。
平面視におけるスクリーンマスクの参考例である。
スクリーンメッシュの変動度Ｍについて説明するための図である。
スクリーンメッシュの変動度Ｍについて説明するための図である。
第１の実施形態に係るスクリーンメッシュの構造の第１例を示す図である。
第１の実施形態に係るスクリーンメッシュの構造の第２例を示す図である。
第１群と第２群とを識別して示す図である。
第２例に係るスクリーンメッシュの製造方法の例について説明するための図である。
第２例に係るスクリーンメッシュの製造方法の例について説明するための図である。
第２例に係るスクリーンメッシュの製造方法の例について説明するための図である。
第２例に係るスクリーンメッシュの製造方法の例について説明するための図である。
第１の実施形態に係るスクリーンメッシュの構造の第３例を示す図である。
第１の実施形態に係るスクリーンメッシュの構造の第４例を示す図である。
第１の実施形態に係るスクリーンマスクの構造を例示する図である。
第１の実施形態に係るスクリーンマスクの構造を例示する図である。
マスク層が有する開口を例示する図である。
導電パターンを含む構造体の構成を例示する断面図である。
比較例に係るスクリーンメッシュと、第１状態での複数のスリット位置との関係を示す図である。
比較例において、スリットが第１状態である場合の、スリット位置と、開口面積との関係を示すグラフである。
比較例に係るスクリーンメッシュと、第２状態での複数のスリット位置との関係を示す図である。
比較例において、スリットが第２状態である場合の、スリット位置と、開口面積との関係を示すグラフである。
実施例１において、スリットが第１状態である場合の、スリット位置と、開口面積との関係を示すグラフである。
実施例１において、スリットが第２状態である場合の、スリット位置と、開口面積との関係を示すグラフである。
第２の実施形態に係る導電性基材の製造方法の流れを例示する図である。
参考例に係る導電性基材の製造方法を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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