特許ウォッチ

公開番号2025122829
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-22
出願番号2024018511
出願日2024-02-09
発明の名称基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250815BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板Wを保持する基板保持ハンド10と、基板保持ハンド10に配置され、基板載置部110に載置された状態の基板Wを模した検出治具200を検出する検出部40と、基板保持ハンド10の傾きを調整するチルト機構30と、検出部40による検出治具200の検出結果に基づいて、チルト機構30を動作させることにより、検出治具200と基板保持ハンド10との相対的な傾きを調整する制御部50と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するハンドと、
前記ハンドに配置され、基板載置部に載置された状態の前記基板を模した傾き検出治具を検出する検出部と、
前記ハンドの傾きを直接または間接的に調整する傾き調整機構と、
前記検出部による前記傾き検出治具の検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記ハンドを前記基板載置部に進入させて基板授受位置の近傍に配置した状態で、前記検出部により前記基板載置部に載置された状態の前記傾き検出治具を検出させる、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記制御部は、上下方向周りの回転位置が調整されて前記基板載置部に載置された状態の前記傾き検出治具を前記検出部により検出させる、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記制御部は、前記検出部による前記傾き検出治具の検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより、前記ハンドの前後方向周りのロール方向および前記ハンドの左右方向周りのピッチ方向の少なくとも一方における、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記傾き検出治具は、前記基板を模した傾き検出治具本体と、前記傾き検出治具本体に配置され、前記ハンドの前記ロール方向の傾きを調整するためのロール傾き被検出部を含み、
前記制御部は、前記検出部による前記ロール傾き被検出部の検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより、前記ロール方向における、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記ロール傾き被検出部は、板状であり、上下方向に所定の厚みを有し、
前記制御部は、前記傾き調整機構により前記ロール方向における前記ハンドの傾きを変えながら、前記検出部による前記ロール傾き被検出部の検出を繰り返すことにより、前記検出部による前記ロール傾き被検出部の検出結果に基づいて取得される前記ロール傾き被検出部の厚みが前記所定の厚みになるように、前記ロール方向における、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項５に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記傾き検出治具は、前記基板を模した傾き検出治具本体と、前記傾き検出治具本体に配置され、前記ハンドの前記ピッチ方向の傾きを調整するためのピッチ傾き被検出部を含み、
前記制御部は、前記検出部による前記ピッチ傾き被検出部の検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより、前記ピッチ方向における、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記ピッチ傾き被検出部は、板状であり、前記前後方向に延びており、
前記制御部は、前記傾き調整機構により前記ピッチ方向における前記ハンドの傾きを変えながら、前記前後方向に互いに離間した前記ピッチ傾き被検出部の少なくとも２箇所において、前記検出部による前記ピッチ傾き被検出部の検出を繰り返すことにより、前記検出部による前記ピッチ傾き被検出部の検出結果に基づいて取得される前記少なくとも２箇所の高さが同じ高さになるように、前記ピッチ方向における、前記傾き検出治具と前記ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項７に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記検出部は、前記基板を検出する検出部を兼ねる、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記検出部は、検出光を照射することによって、前記傾き検出治具を検出する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが知られている。たとえば、特許文献１には、基板を搬送するためのロボットが記載されている。このロボットは、基板を保持して搬送するロボットハンドと、ロボットハンドの姿勢を調整するチルト機構と、基板保管部に保管された基板の姿勢を取得するために基板を検出するマッピングセンサとを備えている。このロボットは、マッピングセンサによる基板の検出結果に基づいて基板の姿勢を取得し、取得した基板の姿勢に平行になるように、チルト機構によりロボットハンドの姿勢を調整する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－４３５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたロボットでは、姿勢の検出のために基板を用いるため、検出可能な部分が制限される。この場合、基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することが困難な場合がある。このため、基板とハンドとしてのロボットハンドとの相対的な傾きを精度よく調整可能にすることが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、基板を保持するハンドと、ハンドに配置され、基板載置部に載置された状態の基板を模した傾き検出治具を検出する検出部と、ハンドの傾きを直接または間接的に調整する傾き調整機構と、検出部による傾き検出治具の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える。
【０００７】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、検出部による傾き検出治具の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを調整する制御部を備える。これにより、傾きの検出のために傾き検出治具を用いるため、傾きの検出のために基板を用いる場合と異なり、基板の形状によって検出可能な部分が制限されない。その結果、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを精度よく検出することができるので、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することができる。これにより、基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することができる。
【０００８】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、基板を保持するハンドを備える基板搬送ロボットの制御方法であって、基板載置部に載置された状態の基板を模した傾き検出治具を検出することと、傾き検出治具の検出結果に基づいて、ハンドの傾きを直接または間接的に調整する傾き調整機構を動作させることにより、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを調整することと、を備える。
【０００９】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、上記のように、傾き検出治具の検出結果に基づいて、ハンドの傾きを直接または間接的に調整する傾き調整機構を動作させることにより、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを調整することを備える。これにより、傾きの検出のために傾き検出治具を用いるため、傾きの検出のために基板を用いる場合と異なり、基板の形状によって検出可能な部分が制限されない。その結果、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを精度よく検出することができるので、傾き検出治具とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することができる。これにより、基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することが可能な基板搬送ロボットの制御方法を提供できる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、基板とハンドとの相対的な傾きを精度よく調整することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許