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公開番号2025107781
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-22
出願番号2024001214
出願日2024-01-09
発明の名称高濃度イオンガン
出願人ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社
代理人弁理士法人山崎国際特許事務所,個人,個人,個人,個人
主分類H05F 3/06 20060101AFI20250714BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】大量のイオンを吹き付けることが可能な高濃度イオン空気を放出するイオンガンを提供すること。
【解決手段】加圧空気Aを搬送する加圧空気路10と、加圧空気路10から空気Aが流入し、イオン化された空気Bが流出するチャンバ20と、チャンバ20内の空気Aをイオン化するための軟X線Xを発生する軟X線発生装置60と、チャンバ20から流出するイオン化されたイオン化空気Bの出口30に備えられるバルブ40を備える、イオンガン1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
加圧空気を搬送する加圧空気路と；
前記加圧空気路から空気が流入し、イオン化された空気が流出するチャンバと；
前記チャンバ内の空気をイオン化するための軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線発生装置と；
前記チャンバから流出するイオン化されたイオン化空気の出口に備えられるバルブを備える；
イオンガン。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記チャンバから流出するイオン化空気の流路に軟Ｘ線遮断シートがと備えられる；
請求項１に記載のイオンガン。
【請求項３】
前記加圧空気路から前記チャンバへの加圧空気の流路に軟Ｘ線遮断シートが備えられる；
請求項２に記載のイオンガン。
【請求項４】
前記出口から排出される前記イオン化空気の拡散を防止して対象物に前記イオン化空気を吹き付けるノズルを備える；
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のイオンガン。
【請求項５】
前記バルブは、外筒と内筒の二重筒構造を有し、前記外筒は外空気孔が形成された１端面を有し、前記内筒は内空気孔が形成された１端面を有し、前記外筒と前記内筒とが非接触で相対的に移動することにより、前記外空気孔と前記内空気孔を通してイオン化空気が流出する開状態と、流出が阻害される閉状態との切り替えが行われる、二重筒バルブである；
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のイオンガン。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオンガンに関する。特に軟Ｘ線により空気をイオン化して放出するイオンガンに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体、液晶、有機ＥＬの製造工程においては、半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気が帯電し、該静電気で半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の回路が破壊するトラブルを生ずることが知られている。また、各基板の帯電は表面への塵あるいは水分の付着というトラブルも引き起こしている。
【０００３】
このようなトラブル対策として、イオンガンを用いて基板表面上にイオンを吹き付け、帯電防止・静電気を除去する方法が知られている。イオンガンとしては、高電圧で空気をイオン化するコロナ放電式と、軟Ｘ線を空気に照射して空気をイオン化する軟Ｘ線式とが知られている。
【０００４】
コロナ放電式では、放電時に電極からのパーティクル（微粉）が発生するので、上記の工程での使用には適さない。そこで、一般的に軟Ｘ線式が用いられてきているが、軟Ｘ線が漏洩すると人体に影響を及ぼすため、軟Ｘ線が排出口に至る間に通路に衝突する回数を少なくとも３回以上として軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させる軟Ｘ線遮断シートを用いることにより、軟Ｘ線の漏洩を防止することが行われている（特許文献－１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第ＷＯ２００８／０２３７２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体等が益々繊細になるにつれ、微細な構造でも除電するために、イオンの放出量を増大したいという要求が生じてきている。特にウエハを積層する際に、ウエハが帯電していると、静電気による吸引・反発により積層しにくくなる。このような場合には、小さな対象ウエハを短時間で除電することを要求されることもあり、大量のイオンを吹き付けることが望まれてきている。そこで本発明は、高濃度イオン空気を放出するイオンガンを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係るイオンガン１は、例えば図１に示すように、加圧空気Ａを搬送する加圧空気路１０と、加圧空気路１０から空気Ａが流入し、イオン化された空気Ｂが流出するチャンバ２０と、チャンバ２０内の空気Ａをイオン化するための軟Ｘ線Ｘを発生する軟Ｘ線発生装置６０と、チャンバ２０から流出するイオン化されたイオン化空気Ｂの出口３０に備えられるバルブ４０を備える。
【０００８】
このように構成すると、加圧空気路からチャンバに搬送された加圧空気は、軟Ｘ線発生装置で発生した軟Ｘ線によりイオン化されイオン化空気となる。イオン化空気は加圧空気路からの加圧空気に押され、出口から排出されるが、出口に備えられたバルブにより流出が制御される。すなわち、バルブが閉状態のときは排出されず、チャンバ内の圧が高まる。そしてバルブが開状態になると、圧が高まったイオン化空気は出口から流出する。その際にチャンバ内の圧が高まっているので、イオン化空気の流出速度は速くなる。イオン化空気が高速で流出することにより、対象物までの到達時間が短くなり、イオンの減衰が抑制され、イオン濃度の高いイオン化空気で対象物を高速で除電することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様に係るイオンガン１では、例えば図１に示すように、チャンバ２０から流出するイオン化空気Ｂの流路に軟Ｘ線遮断シート２４が備えられる。このように構成すると、チャンバ内の軟Ｘ線がイオン化空気と共に外部に漏洩することを防止でき、安全性が高まる。
【００１０】
本発明の第３の態様に係るイオンガン１では、例えば図１に示すように、加圧空気路１０からチャンバ２０への加圧空気Ａの流路に軟Ｘ線遮断シート２２が備えられる。このように構成すると、チャンバ内の軟Ｘ線が加圧空気の入口からも外部に漏洩することを防止でき、安全性が高まる。
（【００１１】以降は省略されています）

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