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公開番号2025094423
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-25
出願番号2023209945
出願日2023-12-13
発明の名称電気光学装置および電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G09F 9/30 20060101AFI20250618BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】狭画素ピッチ化で対応可能な容量素子を有する電気光学装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】電気光学装置は、画素電極が設けられる開口領域と、前記画素電極に電気的に接続され、第1方向に延在する半導体層と有するトランジスターが設けられる遮光領域と、を備える電気光学装置であって、前記開口領域および前記遮光領域に設けられた絶縁性を有する第1絶縁層と、前記遮光領域に設けられ、前記画素電極が設けられる層に向かって前記第1絶縁層から突出する絶縁性の突出部と、前記遮光領域に設けられる容量素子と、を備え、前記容量素子は、前記突出部を覆い、配線として機能する第1容量電極と、前記第1容量電極と離間する第2容量電極と、前記第1容量電極と前記第2容量電極との間に設けられる誘電体膜と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
画素電極が設けられる開口領域と、前記画素電極に電気的に接続され、第１方向に延在する半導体層と有するトランジスターが設けられる遮光領域と、を備える電気光学装置であって、
前記開口領域および前記遮光領域に設けられた絶縁性を有する第１絶縁層と、
前記遮光領域に設けられ、前記画素電極が設けられる層に向かって前記第１絶縁層から突出する絶縁性の突出部と、
前記遮光領域に設けられる容量素子と、を備え、
前記容量素子は、前記突出部を覆い、配線として機能する第１容量電極と、前記第１容量電極と離間する第２容量電極と、前記第１容量電極と前記第２容量電極との間に設けられる誘電体膜と、を備える、
ことを特徴とする電気光学装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記半導体層は、チャネル領域を有し、
前記遮光領域は、前記第１方向に沿って延在する延在部と、前記延在部よりも幅広な幅広部と、を有し、
前記チャネル領域および前記突出部のそれぞれは、前記幅広部に設けられ、
前記チャネル領域および前記突出部は、平面視で重なる、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記第１容量電極は、平面視で前記突出部に重なる第１部分と、平面視で前記突出部とは異なる位置に設けられ、前記第１方向に延在する第２部分と、を有し、
前記第２部分のうち前記第１絶縁層とは反対の面には、前記第２部分の一部を保護する絶縁性の保護膜が設けられる、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記保護膜は、平面視で、前記誘電体膜および前記第２容量電極と重ならない部分を有する、
請求項３に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記第１絶縁層と前記突出部とは、同一材料である、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記第１容量電極、前記誘電体膜、および前記第２容量電極は、平面視で互いに重なる端面を有する、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記第２容量電極と前記画素電極との間に設けられる第２絶縁層をさらに備え、
前記第２容量電極は、平面視で前記突出部と異なる位置で、前記第２絶縁層を貫通するコンタクトプラグを介して前記画素電極に電気的に接続される、
請求項１の記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記第２容量電極と前記画素電極との間に設けられる第２絶縁層をさらに備え、
前記第２容量電極は、平面視で前記突出部と重なる位置で、前記第２絶縁層に設けられた孔の内壁面に沿うトレンチ電極を介して前記画素電極に電気的に接続される、
請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の電気光学装置と、
前記電気光学装置の動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする電子機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置および電子機器に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
プロジェクター等の電子機器には、例えば、画素ごとに光学的特性を変更可能な液晶表示装置等の電気光学装置が用いられる。当該電気光学装置の例として、特許文献１に記載の液晶装置が知られている。
【０００３】
特許文献１に記載の液晶装置は、基板上に設けられた画素電極と、基板と画素電極との間に設けられた第１絶縁膜および第２絶縁膜と、第１絶縁膜および第２絶縁膜を貫通する溝内に設けられた溝内部分を有する蓄積容量とを備える。当該文献に記載の液晶装置では、限られた基板上の領域内で蓄積容量の容量値を向上させるよう、前述の溝内部分を有する蓄積容量が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１５５１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、高解像度化による狭画素ピッチ化に伴い、蓄積容量が設けられる領域は縮小傾向にある。蓄積容量を構成する領域が縮小すると、前述の第１絶縁膜および第２絶縁膜に設けられた溝の平面積が縮小してしまう。この結果、溝内部分を有する蓄積容量を設けることが困難になってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電気光学装置の一態様は、画素電極が設けられる開口領域と、前記画素電極に電気的に接続され、第１方向に延在する半導体層と有するトランジスターが設けられる遮光領域と、を備える電気光学装置であって、前記開口領域および前記遮光領域に設けられた絶縁性を有する第１絶縁層と、前記遮光領域に設けられ、前記画素電極が設けられる層に向かって前記第１絶縁層から突出する絶縁性の突出部と、前記遮光領域に設けられる容量素子と、を備え、前記容量素子は、前記突出部を覆い、配線として機能する第１容量電極と、前記第１容量電極と離間する第２容量電極と、前記第１容量電極と前記第２容量電極との間に設けられる誘電体膜と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態に係る電気光学装置の平面図である。
図１に示す電気光学装置のＡ－Ａ線の断面図である。
図１の素子基板の電気的な構成を示す回路図である。
図２の表示領域における開口領域および遮光領域を示す平面図である。
図４のＡ１―Ａ１線の断面図である。
図４のＡ２―Ａ２線の断面図である。
図５中のトランジスターと突出部との配置関係を示す平面図である。
図５中の第１容量電極の一部を示す平面図である。
図５中の第２容量電極および保護膜を示す平面図である。
図５に示す素子基板の一部の製造方法を示すフロー図である。
図１０の突出部形成工程を説明するための図である。
図１０の突出部形成工程を説明するための図である。
図１０の第１電極層形成工程を説明するための図である。
図１０の第１電極層形成工程を説明するための図である。
図１０の第１電極層形成工程を説明するための図である。
図１０の保護膜形成工程を説明するための図である。
図１０の保護膜形成工程を説明するための図である。
図１０の保護膜形成工程を説明するための図である。
図１０の誘電体層形成工程を説明するための図である。
図１０の誘電体層形成工程を説明するための図である。
図１０の第２電極層形成工程を説明するための図である。
図１０の第２電極層形成工程を説明するための図である。
図１０の一括除去工程を説明するための図である。
図１０の一括除去工程を説明するための図である。
図１０のコンタクト形成工程を説明するための図である。
図１０のコンタクト形成工程を説明するための図である。
図１０の画素電極形成工程を説明するための図である。
第２実施形態における第２容量電極と画素電極とを電気的に接続するコンタクを説明するための図である。
図２８のコンタクトの平面的な配置を示す図である。
変形例のコンタクトの配置を示す図である。
電子機器の一例であるパーソナルコンピューターを示す斜視図である。
電子機器の一例であるスマートフォンを示す平面図である。
電子機器の一例であるプロジェクターを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法または縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示す部分もある。また、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。
【０００９】
１．電気光学装置
１Ａ．基本構成
図１は、実施形態に係る電気光学装置１００の平面図である。図２は、図１に示す電気光学装置１００のＡ－Ａ線の断面図である。なお、図１では、対向基板３の図示を省略する。また、以下では、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜用いて説明する。また、Ｘ軸に沿う一方向をＸ１方向と表記し、Ｘ１方向とは反対の方向をＸ２方向と表記する。同様に、Ｙ軸に沿う一方向をＹ１方向と表記し、Ｙ１方向とは反対の方向をＹ２方向と表記する。Ｚ軸に沿う一方向をＺ１方向と表記し、Ｚ１方向とは反対の方向をＺ２方向と表記する。
【００１０】
また、本明細書において、「要素α上の要素β」とは、要素βが要素αの上方に位置することを意味する。したがって、「要素α上の要素β」とは、要素βが要素αに直接的に接触している場合のみならず、要素αと要素βとが離間している場合も含む。また、要素αと要素βとの「電気的な接続」は、要素αと要素βとが直接的に接合されることで導通する構成のほか、要素αと要素βとが他の導電体を介して間接的に導通する構成も含まれる。
（【００１１】以降は省略されています）

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