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公開番号2025093229
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208844
出願日2023-12-11
発明の名称ポリイミド前駆体、樹脂組成物、ポリイミド成形体、ポリイミド成形体の製造方法及び電子部品
出願人株式会社レゾナック
代理人個人,個人,個人
主分類C08G 73/10 20060101AFI20250616BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】高周波数において誘電特性に優れるポリイミド成形体を形成できる新規なポリイミド前駆体を提供すること。
【解決手段】インダン骨格を有するテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応物である、ポリイミド前駆体。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
インダン骨格を有するテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応物である、ポリイミド前駆体。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
重量平均分子量が、２０００以上１０００００以下である、請求項１に記載のポリイミド前駆体。
【請求項３】
請求項１に記載のポリイミド前駆体を含有する、樹脂組成物。
【請求項４】
有機溶媒を更に含有する、請求項３に記載の樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のポリイミド前駆体の硬化物である、ポリイミド成形体。
【請求項６】
請求項３又は４に記載の樹脂組成物の硬化物である、ポリイミド成形体。
【請求項７】
請求項３又は４に記載の樹脂組成物を基材上に塗布及び乾燥して樹脂膜を形成する工程と、
前記樹脂膜を加熱処理する工程と、を備える、ポリイミド成形体の製造方法。
【請求項８】
請求項６に記載のポリイミド成形体を含む絶縁膜を備える、電子部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ポリイミド前駆体、樹脂組成物、ポリイミド成形体、ポリイミド成形体の製造方法及び電子部品に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置の保護膜及び絶縁膜の材料として、ポリイミド樹脂が広く適用されている（例えば、特許文献１）。このようなポリイミド樹脂を用いた保護膜又は絶縁膜は、ポリイミド前駆体又はポリイミド前駆体を含有する樹脂組成物を基材上に塗布及び乾燥して形成した樹脂膜を、加熱して硬化することで得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１６３４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、高周波数において誘電特性に優れるポリイミド成形体を形成できる新規なポリイミド前駆体の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示は、以下の［１］～［８］を含む。
［１］インダン骨格を有するテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応物である、ポリイミド前駆体。
［２］重量平均分子量が、２０００以上１０００００以下である、上記［１］に記載のポリイミド前駆体。
［３］上記［１］又は［２］に記載のポリイミド前駆体を含有する、樹脂組成物。
［４］有機溶媒を更に含有する、上記［３］に記載の樹脂組成物。
［５］上記［１］又は［２］に記載のポリイミド前駆体の硬化物である、ポリイミド成形体。
［６］上記［３］又は［４］に記載の樹脂組成物の硬化物である、ポリイミド成形体。
［７］上記［３］又は［４］に記載の樹脂組成物を基材上に塗布及び乾燥して樹脂膜を形成する工程と、樹脂膜を加熱処理する工程と、を備える、ポリイミド成形体の製造方法。
［８］上記［６］に記載のポリイミド成形体を含む絶縁膜を備える、電子部品。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、高周波数（例えば１０ＧＨz以上）において誘電特性に優れるポリイミド成形体を形成できる新規なポリイミド前駆体を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本開示の実施形態について説明する。ただし、本開示は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【０００８】
本明細書中、「～」を用いて示された数値範囲は、「～」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。また、個別に記載した上限値及び下限値は任意に組み合わせ可能である。数値範囲「Ａ～Ｂ」という表記においては、両端の数値Ａ及びＢがそれぞれ下限値及び上限値として数値範囲に含まれる。本明細書において、例えば、「１０以上」という記載は、「１０」と「１０を超える数値」とを意味し、数値が異なる場合もこれに準ずる。また、例えば、「１０以下」という記載は、「１０」と「１０未満の数値」とを意味し、数値が異なる場合もこれに準ずる。
【０００９】
［ポリイミド前駆体］
本実施形態に係るポリイミド前駆体は、インダン骨格を有するテトラカルボン酸二無水物（以下、「（ａ１）成分」ともいう。）とジアミン（以下、「（ａ２）成分」ともいう。）との反応物である。
【００１０】
本実施形態に係るポリイミド前駆体は、剛直かつ嵩高いインダン骨格を有するテトラカルボン酸二無水物に由来する構造単位を備えることにより、自由体積が大きく、かつモル分極の高いイミド基の含有率が減少するポリイミド成形体を形成することができるので、誘電特性に優れるポリイミド成形体を与えることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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