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公開番号2025088664
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2023203489
出願日2023-11-30
発明の名称ハンド、搬送装置、及び被搬送物の搬送方法
出願人平田機工株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250604BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】反りが生じた被搬送物であっても吸着保持することができるパッドを用いたハンド、そのハンドを装着する搬送装置、及び搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法を提供する。
【解決手段】本発明のハンドは、ハンド本体と、第1通気路と、第2通気路と、第1通気路と連通し、被搬送物を吸着する第1パッドと、第2通気路と連通し、被搬送物を吸引する第2パッドと、を備え、第1パッド及び第2パッドは、ハンド本体に複数設けられ、且つ第1パッドは、第2パッドよりも吸引量が小さい。搬送装置は、上記のハンドと、搬送ロボットと、第1通気路及び第2通気路のそれぞれの連通状態を切り換える切換部と、制御部と、を備える。また、被搬送物の搬送方法は、上記の搬送装置によって実行され、被搬送物を吸引する吸引工程と、被搬送物を吸着保持した後、第2通気路を遮断状態へ移行させる遮断工程と、被搬送物を搬送する搬送工程と、を含む。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
搬送装置に装着され、被搬送物を保持するハンドであって、
ハンド本体と、
真空源に接続される第１通気路と、
前記真空源に接続される第２通気路と、
前記第１通気路と連通し、前記被搬送物を吸着する第１パッドと、
前記第２通気路と連通し、前記被搬送物を吸引する第２パッドと、を備え、
前記第１パッド及び前記第２パッドは、前記ハンド本体に複数設けられ、
前記第１パッドは、前記第２パッドよりも吸引量が小さい
ことを特徴とするハンド。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記ハンド本体は、前記第１パッドが設置される複数の第１設置部と、前記第２パッドが設置される複数の第２設置部と、を更に備え、
前記第１パッドは、中空形状であり、前記第１設置部と係合する第１係合部と、前記第１係合部から延在する第１延在部と、前記第１通気路と連通する第１貫通孔を有し、
前記第２パッドは、中空形状であり、前記第２設置部と係合する第２係合部と、前記第２係合部から延在する第２延在部と、前記第２通気路と連通する第２貫通孔を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のハンド。
【請求項３】
前記第２延在部は、前記第２延在部の端部が、前記第１延在部の端部よりも前記ハンド本体の上面から離間する第１位置と、前記第１延在部の端部よりも前記ハンド本体の上面へ接近する第２位置とで変位可能に構成される
ことを特徴とする請求項２に記載のハンド。
【請求項４】
前記第１貫通孔の面積は、前記第２貫通孔の面積よりも小さい
ことを特徴とする請求項２に記載のハンド。
【請求項５】
前記ハンド本体は、
前記第１通気路と前記真空源とを接続する第１接続孔と、前記第２通気路と前記真空源とを接続する第２接続孔と、が設けられる基部と、
前記基部から二股に分かれて延在する第１フィンガ部と第２フィンガ部とを含むハンド部とを有し、
前記第１パッドと前記第２パッドは、前記第１フィンガ部と前記第２フィンガ部とのそれぞれに設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のハンド。
【請求項６】
前記第２パッドは、前記ハンド本体において、同一円周上に３つ配置される
ことを特徴とする請求項１記載のハンド。
【請求項７】
前記第２パッドは、前記ハンド本体の延伸方向に沿って延伸する中心線に位置する基準点を中心とした同一円周上に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載のハンド。
【請求項８】
前記ハンド本体は、前記ハンド本体の延伸方向に沿って延伸する中心線に位置する基準点に近い内側と、前記基準点から離れる外側を有し、
前記第２パッドは、前記ハンド本体において、前記第１パッドよりも前記内側に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のハンド。
【請求項９】
前記第１通気路と前記第２通気路は、互いに連通しないように前記ハンド本体の異なる位置に形成され、且つ
前記第１通気路は、前記第２通気路よりも前記外側に形成される
ことを特徴とする請求項８に記載のハンド。
【請求項１０】
前記第１通気路と前記第２通気路は、互いに連通しないように前記ハンド本体の異なる位置に形成される
ことを特徴とする請求項１に記載のハンド。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンド、搬送装置、及び被搬送物の搬送方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体等の製造分野において、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と呼ばれる収容容器に収容されている被搬送物（例えば、ウエハ、ガラス基板等）を、搬送装置によりＦＯＵＰから種々の処理装置に搬送し、搬送された被搬送物に対して処理を行う技術が存在している。そのうち、搬送装置は、搬送機構として、昇降且つ水平自在に移動可能なロボットアームと、ロボットアームに装着され被搬送物を吸着保持するパッド等の吸着部材を有するハンドと、からなる搬送ロボットを備える。例えば、搬送ロボットによる被搬送物の搬送方法としては、ハンドによって被搬送物を吸着保持した状態でロボットアームを移動させることで、収容容器から被搬送物を取り出す方法が知られている。
【０００３】
被搬送物に反りやひずみが生じていると、吸着保持した状態で搬送する際、一部のパッドと被搬送物とが非接触になる可能性がある。この場合、パッドと被搬送物との隙間から空気が流入し吸気圧力が低下するため、パッドの被搬送物を吸着保持する力（以下、保持力）が低下する恐れがある。そこで、特許文献１では、パッドのエア流路を微細径に設定し、パッドが単位時間あたりに吸引する空気の量（吸引量）を意図的に抑制することで、パッドと被搬送物との隙間から単位時間あたりに流入する空気の量を抑制し、吸気圧力の低下を抑制するハンドが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－５１５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のハンドは、パッドの空気の吸引量が小さくなるため、被搬送物をパッドに引き付ける力（以下、吸引力）が減少する。この場合、パッドは、被搬送物をパッドの吸着面まで引き寄せることができず、被搬送物を吸着保持するパッドの総数が少なくなり、十分な保持力を得られない恐れがある。
【０００６】
以上より、被搬送物とパッドの隙間から空気の流入を抑制しつつ、パッドの吸引力を確保して被搬送物を吸着保持することができるハンド、そのハンドを装着する搬送装置、及び搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法が求められる。
【０００７】
そこで本発明は、反りが生じた被搬送物であっても吸着保持することができるパッドを用いたハンド、そのハンドを装着する搬送装置、及び搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明によれば、搬送装置に装着され、被搬送物を保持するハンドであって、ハンド本体と、真空源に接続される第１通気路と、前記真空源に接続される第２通気路と、前記第１通気路と連通し、前記被搬送物を吸着する第１パッドと、前記第２通気路と連通し、前記被搬送物を吸引する第２パッドと、を備え、前記第１パッド及び前記第２パッドは、前記ハンド本体に複数設けられ、前記第１パッドは、前記第２パッドよりも吸引量が小さいことを特徴とするハンドが提供される。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、前記ハンドと、前記ハンドを自在に移動させる搬送ロボットと、前記第１通気路及び前記第２通気路のそれぞれの連通状態を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部と、を備え、前記切換部は、前記真空源による空気の吸引力が及ぼされている吸引状態と前記真空源による空気の吸引力が及ぼされていない遮断状態とで連通状態を切り換えることを特徴とする搬送装置が提供される。
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明によれば、被搬送物を保持するハンドを備える搬送装置による被搬送物の搬送方法であって、前記ハンドは、ハンド本体と、真空源に接続される第１通気路と、前記真空源に接続される第２通気路と、前記第１通気路と連通し、前記被搬送物を吸着する第１パッドと、前記第２通気路と連通し、前記被搬送物を吸引する第２パッドと、を備え、前記第１パッド及び前記第２パッドは、前記ハンド本体に複数設けられ、前記第１パッドが、前記第２パッドよりも吸引量が小さく、前記被搬送物の搬送方法は、前記第１通気路と連通する前記第１パッド及び前記第２通気路と連通する前記第２パッドによって前記被搬送物を吸引する吸引工程と、前記被搬送物を吸着保持した後、前記第２通気路を遮断状態へ移行させる遮断工程と、前記被搬送物を所定位置まで搬送する搬送工程と、を含むことを特徴とする被搬送物の搬送方法が提供される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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