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公開番号2025080030
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192989
出願日2023-11-13
発明の名称磁気センサ装置
出願人TDK株式会社
代理人インフォート弁理士法人,弁理士法人イトーシン国際特許事務所
主分類G01R 33/09 20060101AFI20250516BHJP(測定;試験)
要約【課題】磁界発生器によって磁気センサに対して均一な磁界を印加できるようにした磁気センサ装置を実現する。
【解決手段】磁界発生器3は、磁気センサ2に印加される磁界を発生するように構成されている。磁界発生器3の導体層30は、第1端30aと、第2端30bと、複数の主配線31と、第1の副配線32と、第2の副配線33とを含んでいる。第1の副配線32は、第1端30aから複数の第1の連結部を経由して複数の主配線31の各々に至る複数の第1の経路を含んでいる。第2の副配線33は、第2端30bから複数の第2の連結部を経由して複数の主配線31の各々に至る複数の第2の経路を含んでいる。任意の2つの第1の経路の各々が経由する複数の第1の連結部の数は同じである。任意の2つの第2の経路の各々が経由する複数の第2の連結部の数は同じである。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
磁気センサと、
前記磁気センサに印加される磁界を発生するように構成された磁界発生器とを備えた磁気センサ装置であって、
前記磁界発生器は、導電材料よりなる導体層を含み、
前記導体層は、
第１端と、
第２端と、
前記磁界を発生するための複数の主配線であって、前記第１端と前記第２端との間に設けられ且つ互いに分離された複数の主配線と、
前記第１端と前記複数の主配線とを電気的に接続する第１の副配線と、
前記第２端と前記複数の主配線とを電気的に接続する第２の副配線とを含み、
前記第１の副配線は、前記第１端から前記複数の主配線の各々に至る複数の第１の経路を含み、
前記第２の副配線は、前記第２端から前記複数の主配線の各々に至る複数の第２の経路を含み、
前記複数の第１の経路の各々は、それぞれ前記第１の副配線が分岐する複数の第１の連結部を経由し、
前記複数の第２の経路の各々は、それぞれ前記第２の副配線が分岐する複数の第２の連結部を経由し、
前記複数の第１の経路のうちの任意の２つの第１の経路の各々が経由する前記複数の第１の連結部の数は同じであり、
前記複数の第２の経路のうちの任意の２つの第２の経路の各々が経由する前記複数の第２の連結部の数は同じであることを特徴とする磁気センサ装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記複数の第１の経路の各々が経由する前記複数の第１の連結部の数はいずれも同じであり、
前記複数の第２の経路の各々が経由する前記複数の第２の連結部の数はいずれも同じであることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項３】
前記第１の副配線と前記第２の副配線の各々は、それぞれ分岐しない複数の配線部分が電気的に接続されることによって構成され、
前記複数の第１の連結部と前記複数の第２の連結部の各々は、前記複数の配線部分のうちの３つの配線部分が電気的に接続された特定の連結部を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項４】
前記複数の第１の連結部と前記複数の第２の連結部は、いずれも、前記特定の連結部であることを特徴とする請求項３記載の磁気センサ装置。
【請求項５】
前記複数の主配線の数はｎであり、前記複数の第１の連結部の数と前記複数の第２の連結部の数の合計は２（ｎ－１）であることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項６】
更に、前記磁気センサを含む第１の電子部品と、
前記磁界発生器を含む第２の電子部品とを備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項７】
更に、前記磁気センサと前記磁界発生器とを含む電子部品を備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項８】
前記磁気センサと前記磁界発生器は、第１の方向に積層され、
前記磁気センサは、複数の磁気検出素子を含み、
前記複数の磁気検出素子は、前記第１の方向から見たときに、前記第１の方向に直交する第２の方向において、前記第１の副配線と前記第２の副配線との間に配置されていることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項９】
前記複数の主配線の各々は、一方向に長い形状を有すると共に、前記第１端に最も近い一端と、前記第２端に最も近い他端とを有し、
前記複数の主配線のそれぞれの前記一端と前記他端の電位差は、同じであることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項１０】
前記導体層は、前記第１端から、前記第１の副配線、前記複数の主配線および前記第２の副配線を経由して、前記第２端に至る複数の経路であって、それぞれ同じ長さを有する複数の経路を含むことを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁界発生器を備えた磁気センサ装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の用途で、磁気センサが利用されている。磁気センサとしては、スピンバルブ型の磁気抵抗効果素子を用いたものが知られている。スピンバルブ型の磁気抵抗効果素子は、方向が固定された磁化を有する磁化固定層と、印加磁界の方向に応じて方向が変化可能な磁化を有する自由層と、磁化固定層と自由層の間に配置されたギャップ層とを有している。
【０００３】
スピンバルブ型の磁気抵抗効果素子では、自由層の磁化の方向が磁化固定層の磁化の方向に対してなす角度に応じて抵抗値が変化し、この角度が０°のときに抵抗値は最小値となり、角度が１８０°のときに抵抗値は最大値となる。磁気センサの検出精度を向上させるためには、磁気センサの使用前に、自由層の磁化の方向を揃えることが好ましい。
【０００４】
特許文献１には、電流検出装置と磁場検出装置が開示されている。電流検出装置と磁場検出装置の各々は、磁気抵抗効果素子とコイルとを備えている。これらの装置では、コイルに対して電流を供給することにより、コイルの周囲に磁場が生成される。生成された磁場は、磁気抵抗効果素子の磁化自由層の磁化の方向を所定の方向に向かせるために用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－９２５２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
磁気センサは、複数の磁気抵抗効果素子を用いて構成されている。コイル等の磁界発生器を用いて複数の磁気抵抗効果素子に磁界を印加する場合、複数の磁気抵抗効果素子の各々には、均一な磁界が印加されることが好ましい。そのためには、磁界発生器を構成する導体における電流密度が均一であることが好ましい。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気センサと磁界発生器とを備えた磁気センサ装置であって、磁界発生器によって磁気センサに対して均一な磁界を印加することができる磁気センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の磁気センサ装置は、磁気センサと、磁気センサに印加される磁界を発生するように構成された磁界発生器とを備えている。本発明の磁界発生器は、磁気センサに印加される検査用の磁界を発生するように構成されている。磁界発生器は、導電材料よりなる導体層を含んでいる。導体層は、第１端と、第２端と、磁界を発生するための複数の主配線であって、第１端と第２端との間に設けられ且つ互いに分離された複数の主配線と、第１端と複数の主配線とを電気的に接続する第１の副配線と、第２端と複数の主配線とを電気的に接続する第２の副配線とを含んでいる。
【０００９】
第１の副配線は、第１端から複数の主配線の各々に至る複数の第１の経路を含んでいる。第２の副配線は、第２端から複数の主配線の各々に至る複数の第２の経路を含んでいる。複数の第１の経路の各々は、それぞれ第１の副配線が分岐する複数の第１の連結部を経由する。複数の第２の経路の各々は、それぞれ第２の副配線が分岐する複数の第２の連結部を経由する。複数の第１の経路のうちの任意の２つの第１の経路の各々が経由する複数の第１の連結部の数は同じである。複数の第２の経路のうちの任意の２つの第２の経路の各々が経由する複数の第２の連結部の数は同じである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の磁気センサ装置および磁界発生器では、複数の第１の経路のうちの任意の２つの第１の経路の各々が経由する複数の第１の連結部の数は同じであり、複数の第２の経路のうちの任意の２つの第２の経路の各々が経由する複数の第２の連結部の数は同じである。これにより、本発明によれば、磁界発生器によって磁気センサに対して均一な磁界を印加することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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