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公開番号2025064038
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173429
出願日2023-10-05
発明の名称圧電駆動装置
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H02N 2/12 20060101AFI20250410BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】不要振動を抑制し、効率的な駆動が可能な圧電駆動装置を提供する。
【解決手段】圧電駆動装置は、固定部と、前記固定部に対して振動する振動部と、前記振動部の先端部に配置されている凸部と、前記固定部に対して前記振動部を先端側に付勢する付勢部と、前記固定部と前記振動部との間に配置され、前記振動部の振動により弾性変形する制振材と、を有する。また、前記制振材は、合成樹脂で構成されている。また、前記制振材は、前記振動部を間に挟むようにして一対配置されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
固定部と、
前記固定部に対して振動する振動部と、
前記振動部の先端部に配置されている凸部と、
前記固定部に対して前記振動部を先端側に付勢する付勢部と、
前記固定部と前記振動部との間に配置され、前記振動部の振動により弾性変形する制振材と、を有することを特徴とする圧電駆動装置。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記制振材は、合成樹脂で構成されている請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項３】
前記制振材は、前記振動部の基端側に配置されている請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項４】
前記制振材は、平面視で、前記振動部と前記付勢の方向に直交する方向に並んで配置されている請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項５】
前記制振材は、平面視で、前記振動部と重なって配置されている請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項６】
前記制振材は、前記振動部を間に挟むようにして一対配置されている請求項５に記載の圧電駆動装置。
【請求項７】
前記制振材は、平面視で、前記振動部の振動の節となる部分と重なっている請求項５または６に記載の圧電駆動装置。
【請求項８】
前記凸部が配置されている前記振動部と、前記振動部を支持する支持部と、前記振動部と前記支持部とを接続する梁部と、を有する板状の振動ユニットと、
前記支持部に接続されている接続部と、前記接続部を支持する基部と、前記接続部と前記基部とを接続する前記付勢部としてのバネ部と、を有する板状をなし、前記振動ユニットの板厚方向に重なって配置されている付勢ユニットと、を有し、
前記固定部は、前記付勢ユニットの前記基部に固定され、
前記固定部と前記付勢ユニットとの間に前記制振材が配置されている請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項９】
平面視で、前記振動部、前記バネ部および前記固定部が重なっている請求項８に記載の圧電駆動装置。
【請求項１０】
前記バネ部は、前記付勢の方向に並んで配置されている複数の板バネを有する請求項８に記載の圧電駆動装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、圧電振動子と、圧電振動子を離隔して収容する箱形の支持部材と、支持部材の側部と圧電振動子との間に介在した板ばね構造体と、を有する構造が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－０４１７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構造では、圧電振動子の主振動以外の不要振動を抑制することが困難であり、エネルギーロスが大きくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の圧電駆動装置は、固定部と、
前記固定部に対して振動する振動部と、
前記振動部の先端部に配置されている凸部と、
前記固定部に対して前記振動部を先端側に付勢する付勢部と、
前記固定部と前記振動部との間に配置され、前記振動部の振動により弾性変形する制振材と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る圧電モーターを示す平面図である。
圧電駆動装置をＸ軸方向プラス側から見た図である。
圧電駆動装置の分解斜視図である。
振動ユニットを示す平面図である。
上側の外装部材の図示を省略し、制振材の配置を示す平面図である。
振動ユニットに印加する駆動電圧の一例を示す図である。
振動ユニットの駆動状態を示す平面図である。
第１不要振動を示す図である。
第２不要振動を示す図である。
第３不要振動を示す図である。
第２実施形態に係る圧電駆動装置から上側の外装部材の図示を省略し、制振材の配置を示す平面図である。
第３実施形態に係る圧電駆動装置を示す平面図である。
圧電駆動装置をＹ軸方向マイナス側から見た図である。
第４実施形態に係る圧電駆動装置を示す平面図である。
圧電駆動装置をＸ軸方向プラス側から見た図である。
第５実施形態に係る圧電振動装置をＸ軸方向プラス側から見た図である。
第６実施形態に係る圧電駆動装置をＺ軸方向プラス側から見た断面図である。
圧電駆動装置をＸ軸方向プラス側から見た断面図である。
圧電駆動装置をＹ軸方向マイナス側から見た断面図である。
第７実施形態に係る圧電駆動装置をＺ軸方向プラス側から見た断面図である。
第８実施形態に係る圧電駆動装置をＺ軸方向プラス側から見た断面図である。
第９実施形態に係るロボットシステムを示す全体図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の圧電駆動装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｘ軸に沿う方向をＸ軸方向、Ｙ軸に沿う方向をＹ軸方向、Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向とも言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」とも言い、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｚ軸方向プラス側を「上」、マイナス側を「下」とも言い、Ｘ軸方向プラス側を「先端」、マイナス側を「基端」とも言う。
【０００９】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る圧電モーターを示す平面図である。図２は、圧電駆動装置をＸ軸方向プラス側から見た図である。図３は、圧電駆動装置の分解斜視図である。図４は、振動ユニットを示す平面図である。図５は、上側の外装部材の図示を省略し、制振材の配置を示す平面図である。図６は、振動ユニットに印加する駆動電圧の一例を示す図である。図７は、振動ユニットの駆動状態を示す平面図である。図８は、第１不要振動を示す図である。図９は、第２不要振動を示す図である。図１０は、第３不要振動を示す図である。
【００１０】
図１に示すように、圧電モーター１は、Ｚ軸に沿う中心軸Ｏまわりに回転する被駆動体としてのローター２と、ローター２をＺ軸まわりに回転させる圧電駆動装置３と、を有する。また、図１ないし図３に示すように、圧電駆動装置３は、ローター２に当接した振動ユニット４と、振動ユニット４と電気的に接続された配線基板５と、振動ユニット４をローター２に押し当てる付勢部としての付勢ユニット６と、振動ユニット４の不要な振動を抑制する制振材７と、付勢ユニット６に固定された固定部としての外装部材８と、振動ユニット４の駆動を制御する制御装置９と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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