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公開番号2025041257
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-26
出願番号2023148445
出願日2023-09-13
発明の名称膜付き基材及びその製造方法
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類C03C 17/245 20060101AFI20250318BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】透過ムラを低減し、輝度やコントラストを均質化させた膜付き基材及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、主材と前記主材上に配置される膜とを備えた膜付き基材であって、主材がガラスであり、前記主材は相互に対向する第1の面及び第2の面を有し、前記主材の前記第1の面に前記膜が位置しており、前記膜は不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる可視光吸収層を含み、X線光電子分光法により前記可視光吸収層の膜厚方向の不純物濃度分布を測定した際に、不純物濃度が極大となるピークが2つ以上確認される、膜付き基材に関する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
主材と前記主材上に配置される膜とを備えた膜付き基材であって、
前記主材がガラスであり、前記主材は相互に対向する第１の面及び第２の面を有し、前記主材の前記第１の面に前記膜が位置しており、
前記膜は不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる可視光吸収層を含み、
Ｘ線光電子分光法により前記可視光吸収層の膜厚方向の不純物濃度分布を測定した際に、不純物濃度が極大となるピークが２つ以上確認される、膜付き基材。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記可視光吸収層はアンチモンドープ酸化スズ膜である、請求項１に記載の膜付き基材。
【請求項３】
前記膜付き基材のＡ光源透過率が３０％未満である、請求項１又は２に記載の膜付き基材。
【請求項４】
主材上に膜を成膜することを含む膜付き基材の製造方法であって、
前記主材がガラスであり、前記膜の成膜において、可視光吸収層を前記ガラスの製造ライン上で熱ＣＶＤ法により成膜することを含み、
２つ以上のコーターを使用して前記可視光吸収層を成膜する、
膜付き基材の製造方法。
【請求項５】
前記可視光吸収層は不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる、請求項４に記載の膜付き基材の製造方法。
【請求項６】
得られる膜付き基材のＡ光源透過率が３０％未満である、請求項４又は５に記載の膜付き基材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜付き基材及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
薄膜付きガラス基材や薄膜付きフィルム等の膜付き基材は、主材となるガラスやフィルムに機能性膜を積層することにより各種要求特性を満たす素材として種々の分野に汎用されている。
【０００３】
例えば、車両や建築物に使用される窓ガラス等において、近年の省エネルギー意識の高まりから、断熱性や遮熱性が付与された低放射ガラス（Ｌｏｗ－Ｅガラス）が用いられている。低放射ガラスは、ガラス基板上に金属酸化物等からなる機能層を１層あるいは複数層積層することにより構成され、機能層として、例えば、熱線反射層、熱線吸収層、可視光反射層、可視光吸収層、光学調整層等を備えている。
【０００４】
車両や建築物の用途では、プライバシー保護のために膜付き基材が濃色である、すなわち可視光透過率が比較的低いことが求められる場合があり、このような場合には機能層として可視光吸収層を設けることが好適である。また、遮熱性と可視光吸収性をともに備える層として可視光吸収層を設けることもできる。
【０００５】
上記機能層を成膜する方法の一つとして、ＣＶＤ（化学気相成膜）法が知られている。例えば、特許文献１、２には、オンラインＣＶＤ法により徐冷炉内でガラスリボン上に積層膜を形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０１３／００８８９４号
国際公開第２０１４／１１２４８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、機能層として可視光吸収層を含む膜付き基材をＣＶＤ法により製膜した場合、得られる膜付き基材を光に透かして透過光を見た際に縞状の透過率のムラ（以下、透過ムラともいう。）が生じてしまう場合があった。
【０００８】
そこで、本発明は、透過ムラを低減し、輝度やコントラストを均質化させた膜付き基材及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、鋭意検討の結果、ＣＶＤ法による可視光吸収層の成膜の際に２つ以上のコーターを使用することで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。また、かかる方法で不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる可視光吸収層を成膜した膜付き基材において、Ｘ線光電子分光法により可視光吸収層の膜厚方向の不純物濃度分布を測定すると、不純物濃度が極大となるピークが２つ以上確認されることがわかった。
【００１０】
すなわち、本発明は、以下の（１）～（６）に関する。
（１）主材と前記主材上に配置される膜とを備えた膜付き基材であって、前記主材がガラスであり、前記主材は相互に対向する第１の面及び第２の面を有し、前記主材の前記第１の面に前記膜が位置しており、前記膜は不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる可視光吸収層を含み、Ｘ線光電子分光法により前記可視光吸収層の膜厚方向の不純物濃度分布を測定した際に、不純物濃度が極大となるピークが２つ以上確認される、膜付き基材。
（２）前記可視光吸収層はアンチモンドープ酸化スズ膜である、前記（１）に記載の膜付き基材。
（３）前記膜付き基材のＡ光源透過率が３０％未満である、前記（１）又は（２）に記載の膜付き基材。
（４）主材上に膜を成膜することを含む膜付き基材の製造方法であって、前記主材がガラスであり、前記膜の成膜において、可視光吸収層を前記ガラスの製造ライン上で熱ＣＶＤ法により成膜することを含み、２つ以上のコーターを使用して前記可視光吸収層を成膜する、膜付き基材の製造方法。
（５）前記可視光吸収層は不純物元素をドープしたドープ型金属酸化物からなる、前記（４）に記載の膜付き基材の製造方法。
（６）得られる膜付き基材のＡ光源透過率が３０％未満である、前記（４）又は（５）に記載の膜付き基材の製造方法。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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