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公開番号2025038356
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023144910
出願日2023-09-07
発明の名称保持部材および保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】板状部材の表面の均熱性が向上する保持部材、および、この保持部材を有する保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、セラミックス部材10において、3本のヒータライン42は、ヒータ電極41の最も外周側に形成される第1のヒータライン42-1と、第1のヒータライン42-1よりも1本内側にて、第1のヒータライン42-1に沿って形成される第2のヒータライン42-2と、第2のヒータライン42-2よりも1本内側にて、第2のヒータライン42-2に沿って形成される第3のヒータライン42-3と、により形成され、第1のヒータライン42-1と第2のヒータライン42-2との間の距離である最外周ピッチP1を、第2のヒータライン42-2と第3のヒータライン42-3との間の距離である内側ピッチP0よりも、大きくする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
板状部材と、
前記板状部材に埋設され、少なくとも３本の線状の発熱ラインが間隔を空けて並んで形成される発熱体と、を有する保持部材において、
前記３本の前記発熱ラインは、
前記発熱体の最も外周側に形成される第１の発熱ラインと、
前記第１の発熱ラインよりも１本内側にて、前記第１の発熱ラインに沿って形成される第２の発熱ラインと、
前記第２の発熱ラインよりも１本内側にて、前記第２の発熱ラインに沿って形成される第３の発熱ラインと、
により形成され、
前記第１の発熱ラインと前記第２の発熱ラインとの間の距離である最外周ピッチを、前記第２の発熱ラインと前記第３の発熱ラインとの間の距離である内側ピッチよりも、大きくすること、
を特徴とする保持部材。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
請求項１の保持部材において、
前記最外周ピッチは、前記内側ピッチの１４０％未満の大きさであること、
を特徴とする保持部材。
【請求項３】
請求項１または２の保持部材において、
前記第１の発熱ラインの線幅は、前記第２の発熱ラインの線幅よりも小さいこと、
を特徴とする保持部材。
【請求項４】
請求項１または２の保持部材を有することを特徴とする、対象物を保持する保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持部材、および、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、円盤状のセラミックスプレート（板状部材）に埋設され同心円状に形成されたヒータ電極（発熱体）を有するセラミックスヒータ（保持部材）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１２６７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されるセラミックスヒータにおいて、セラミックスプレートの外周部（ヒータ電極よりも径方向の外側の部分）では、ヒータ電極が存在しないため、セラミックスプレートの表面（ウエハ載置面）の温度が低下し易い。そのため、セラミックスプレートの表面の均熱性が低下するおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、板状部材の表面の均熱性が向上する保持部材、および、この保持部材を有する保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、板状部材と、前記板状部材に埋設され、少なくとも３本の線状の発熱ラインが間隔を空けて並んで形成される発熱体と、を有する保持部材において、前記３本の前記発熱ラインは、前記発熱体の最も外周側に形成される第１の発熱ラインと、前記第１の発熱ラインよりも１本内側にて、前記第１の発熱ラインに沿って形成される第２の発熱ラインと、前記第２の発熱ラインよりも１本内側にて、前記第２の発熱ラインに沿って形成される第３の発熱ラインとにより形成され、前記第１の発熱ラインと前記第２の発熱ラインとの間の距離である最外周ピッチを、前記第２の発熱ラインと前記第３の発熱ラインとの間の距離である内側ピッチよりも、大きくすること、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、最外周ピッチを内側ピッチよりも大きくすることにより、発熱体の最も外周側に形成される第１の発熱ラインを、板状部材のさらに外周側に形成できる。そのため、板状部材の外周部にて、第１の発熱ラインによる発熱により、温度上昇させることができる。したがって、板状部材の外周部における表面の温度低下を抑制できる。ゆえに、板状部材の表面の均熱性が向上する。
【０００８】
上記の態様においては、前記最外周ピッチは、前記内側ピッチの１４０％未満の大きさであること、が好ましい。
【０００９】
この態様によれば、最外周ピッチが過大にならないので、第１の発熱ラインと第２の発熱ラインとの間にて、その距離が過大にならず、発熱量を十分に得ることができる。そのため、第１の発熱ラインと第２の発熱ラインとの間において、温度低下を抑制できる。したがって、より確実に、板状部材の表面の均熱性が向上する。
【００１０】
上記の態様においては、前記第１の発熱ラインの線幅は、前記第２の発熱ラインの線幅よりも小さいこと、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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