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公開番号2024167614
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-04
出願番号2023083812
出願日2023-05-22
発明の名称光検出装置および光検出装置の製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01J 1/04 20060101AFI20241127BHJP(測定;試験)
要約【課題】光検出装置において、検出構造体と封止部材とが界面剥離することを抑制することである。
【解決手段】光検出装置50は、基板2上に設けられた第1光学センサ3、第2光学センサ4と、第1光学センサ3、第2光学センサ4上に設けられた第1光学フィルタ5、第2光学フィルタ6と、基板2、第1光学センサ3、第2光学センサ4、および、第1光学フィルタ5、第2光学フィルタ6の上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体7と、基板2、第1光学センサ3、第2光学センサ4、第1光学フィルタ5、第2光学フィルタ6、および、膜体7を封止する透光性の封止部材8とを備える。膜体7は、封止部材8よりも吸湿性が低い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられた光学センサと、
前記光学センサ上に設けられた光学フィルタと、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記膜体は、上面が平坦化された形状である、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項３】
前記膜体は、上面が研磨されることにより上面が平坦化された形状である、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項４】
前記膜体は、酸化膜よりなる、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項５】
前記膜体は、膜厚が前記光学フィルタの厚みよりも厚い、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項６】
前記光学センサは、第１光学センサと第２光学センサとを含み、
前記光学フィルタは、前記第１光学センサ上に設けられた第１光学フィルタと、前記第２光学センサ上に設けられた第２光学フィルタとを含み、
前記膜体は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、および、前記第２光学フィルタの上方の全体を覆うように形成され、
前記封止部材は、前記基板、前記第１光学センサ、前記第２光学センサ、前記第１光学フィルタ、前記第２光学フィルタ、および、前記膜体を封止する、請求項１または請求項２に記載の光検出装置。
【請求項７】
前記第１光学センサは、前記基板の表面に設けられ、前記フロントウインドウで反射した赤外光を受光し、受光した光に応じて雨を検出するレインセンサであり、
前記第２光学センサは、前記基板の表面に設けられ、前記フロントウインドウの外部から内部に入射した光を受光し、受光した光に応じて照度を検出する照度センサである、請求項６に記載の光検出装置。
【請求項８】
前記第１光学フィルタは、前記第１光学センサへの可視光の入射を抑制し、
前記第２光学フィルタは、前記第２光学センサへの赤外光の入射を抑制する、請求項６に記載の光検出装置。
【請求項９】
基板上に光学センサを設ける工程と、
前記光学センサ上に光学フィルタを設ける工程と、
前記基板、前記光学センサ、および、前記光学フィルタの上方の全体を覆うように透光性の膜体を設ける工程と、
前記膜体の上面を平坦化する工程と、
前記基板、前記光学センサ、前記光学フィルタ、および、前記膜体を封止する透光性の封止部材を設ける工程とを備え、
前記膜体は、前記封止部材よりも吸湿性が低い、光検出装置の製造方法。
【請求項１０】
前記膜体の上面を平坦化する工程においては、前記膜体の上面を研磨する、請求項９に記載の光検出装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光検出装置および光検出装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、車両において、受光素子を有する光センサが半導体基板上に設けられた光センサ装置が開示されている。特許文献１の光センサ装置では、半導体基板上において、例えばレインセンサ、日射センサ、および、照度センサのような光センサが形成され、半導体基板および光センサを含む検出構造体が、樹脂によって覆われることにより封止された構成例が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４９７３６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１のように、半導体基板に設けられた光センサを含む検出構造体が、樹脂で覆われることにより封止される構成の従来の光センサ装置においては、次のような問題が生じる場合がある。
【０００５】
光センサ装置は、光センサが受光する光の経路の透光性を担保する必要があるので、例えば透光性の樹脂製の封止部材によって検出構造体を封止する場合には、封止部材の強度を高めたり、封止部材の吸湿性を抑制したりするためのフィラーが封止部材に添加されていないのが一般的である。これにより、従来の光検出装置では、封止部材の内部に水分が溜まったり、封止部材が変形したりすることにより、検出構造体と封止部材とが界面剥離しやすいという問題があった。
【０００６】
そして、光検出装置では、光センサの受光面側に光学フィルタを設ける場合があり、その場合には、光センサの受光面側に段差が生じやすい。このような段差が生じると、その段差部分に樹脂を封止する際に気泡が生じたり、製造時に生じたフォトレジストなどの残渣等の異物が溜まったり、封止部材が吸湿したことに応じて生じる水分が溜まったりする。これにより、光学フィルタを設けた光検出装置では、光センサの受光面側の段差部分における気泡、異物、または水分の存在によって、検出構造体と、封止部材とがより一層界面剥離しやすくなるおそれがあった。
【０００７】
本開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであって、その目的は、光検出装置において、検出構造体と封止部材とが界面剥離することを抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示のある局面に従う光検出装置は、基板と、基板上に設けられた光学センサと、光学センサ上に設けられた光学フィルタと、基板、光学センサ、および、光学フィルタの上方の全体を覆うように形成された透光性の膜体と、基板、光学センサ、光学フィルタ、および、膜体を封止する透光性の封止部材とを備え、膜体は、封止部材よりも吸湿性が低い。
【０００９】
本開示の他の局面に従う光検出装置の製造方法は、基板上に光学センサを設ける工程と、光学センサ上に光学フィルタを設ける工程と、基板、光学センサ、および、光学フィルタの上方の全体を覆うように透光性の膜体を設ける工程と、膜体の上面を平坦化する工程と、基板、光学センサ、光学フィルタ、および、膜体を封止する透光性の封止部材を設ける工程とを備え、膜体は、封止部材よりも吸湿性が低い。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、光検出装置において、検出構造体と、封止部材とが界面剥離することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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