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公開番号2024160464
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-14
出願番号2023075481
出願日2023-05-01
発明の名称伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータ
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類H01P 3/08 20060101AFI20241107BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】特性の向上が可能な伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、伝送路は、第1、第2構造体及び第1中間導電層を含む。第1構造体は、第1導電層、第1対向導電層及び第1導電線を含む。第1導電線は、第1導電層と第1対向導電層との間に設けられる。第1導電線は、第1方向に沿う。第1方向は、第1導電層から第1対向導電層への第2方向と交差する。第2構造体は、第2導電層、第2対向導電層及び第2導電線を含む。第1対向導電層は、第1導電層と第2対向導電層との間にある。第2導電層は、第1対向導電層と第2対向導電層との間にある。第2導電線は、第2導電層と第2対向導電層との間に設けられる。第2導電線は、第1方向に沿う。第1中間導電層は、第1対向導電層と第2導電層との間に設けられる。第1中間導電層は、第1方向に沿う第1、第2線を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１導電層と、
第１対向導電層と、
前記第１導電層と前記第１対向導電層との間に設けられた第１導電線であって、前記第１導電線は、第１方向に沿って延び、前記第１方向は、前記第１導電層から前記第１対向導電層への第２方向と交差する、前記第１導電線と、
を含む第１構造体と、
第２構造体であって、前記第２構造体は、
第２導電層と、
第２対向導電層であって、前記第１対向導電層は、前記第１導電層と前記第２対向導電層との間にあり、前記第２導電層は、前記第１対向導電層と前記第２対向導電層との間にある、前記第２対向導電層と、
前記第２導電層と前記第２対向導電層との間に設けられた第２導電線であって、前記第２導電線は、前記第１方向に沿って延びる、前記第２導電線と、
を含む前記第２構造体と、
前記第１対向導電層と前記第２導電層との間に設けられた第１中間導電層であって、前記第１中間導電層は、前記第１方向に沿って延びる第１線と、前記第１方向に沿って延びる第２線と、を含み、前記第１線から前記第２線への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差した、前記第１中間導電層と、
を備えた伝送路。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記第１導電線の前記第３方向における位置は、前記第３方向において、前記第１線の前記第３方向における位置と、前記第２線の前記第３方向における位置と、の間にあり、
前記第２導電線の前記第３方向における位置は、前記第３方向において、前記第１線の前記第３方向における前記位置と、前記第２線の前記第３方向における前記位置と、の間にある、請求項１に記載の伝送路。
【請求項３】
前記第２方向に沿って延びる第１接続部材をさらに備え、
前記第１接続部材は、前記第１対向導電層及び前記第２導電層を互いに電気的に接続する、請求項２に記載の伝送路。
【請求項４】
前記第２方向に沿って延びる第２接続部材をさらに備え、
前記第２接続部材は、前記第１対向導電層及び前記第２導電層を互いに電気的に接続し、
前記第１中間導電層の少なくとも一部は、前記第１接続部材と前記第２接続部材との間にある、請求項３に記載の伝送路。
【請求項５】
前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記第１導電層及び前記第２対向導電層と電気的に接続された、請求項４に記載の伝送路。
【請求項６】
前記第１中間導電層は、前記第１線の一部と前記第２線の一部とを接続する接続導電層をさらに含む、請求項１～５のいずれか１つに記載の伝送路。
【請求項７】
前記第１中間導電層は、複数の接続導電層を含み、
前記複数の接続導電層は、前記第１線の一部と前記第２線の一部とを接続し、
前記複数の接続導電層の１つ、及び、前記複数の接続導電層の別の１つは、前記第１接続部材と電気的に接続され、
前記複数の接続導電層の前記１つの前記第１方向における中心の位置と、前記複数の接続導電層の前記別の１つの前記第１方向における中心の位置と、の間の前記第１方向における距離は、前記第１導電線を通る信号の波長の１／２の０．８倍以上１．２倍以下である、請求項３に記載の伝送路。
【請求項８】
前記第１導電層は、複数の第１部分領域と、複数の第１他部分領域と、を含み、
前記複数の第１部分領域の１つは、前記第１方向において、前記複数の第１他部分領域の１つと、前記複数の第１他部分領域の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第１他部分領域の前記１つは、前記第１方向において、前記複数の第１部分領域の前記１つと、前記複数の第１部分領域の別の１つと、の間にあり、
前記複数の第１部分領域の前記１つの前記第３方向における第１部分領域長さは、前記複数の第１他部分領域の前記１つの前記第３方向における第１他部分領域長さよりも長い、請求項２に記載の伝送路。
【請求項９】
前記第１導電層は、第１部分と、第１対向部分と、をさらに含み、
前記第１部分から前記第１対向部分への方向は、前記第１方向に沿い、
前記複数の第１部分領域及び前記複数の第１他部分領域は、前記第１部分と前記第１対向部分との間にあり、
前記第１部分の前記第３方向に沿う長さは、前記第１他部分領域長さよりも長い、請求項８に記載の伝送路。
【請求項１０】
前記第１他部分領域長さは、前記第１導電線の前記第３方向に沿う長さの１倍以上３倍以下である、請求項８に記載の伝送路。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、量子コンピュータなどの処理装置において、複数の回路が伝送路により結合される。例えば、複数の配線間のアイソレーション特性が悪いと、性能が悪化する。伝送路において特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１４４２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能な伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、伝送路は、第１構造体、第２構造体及び第１中間導電層を含む。前記第１構造体は、第１導電層、第１対向導電層及び第１導電線を含む。前記第１導電線は、前記第１導電層と前記第１対向導電層との間に設けられる。前記第１導電線は、第１方向に沿って延びる。前記第１方向は、前記第１導電層から前記第１対向導電層への第２方向と交差する。前記第２構造体は、第２導電層、第２対向導電層及び第２導電線を含む。前記第１対向導電層は、前記第１導電層と前記第２対向導電層との間にある。前記第２導電層は、前記第１対向導電層と前記第２対向導電層との間にある。前記第２導電線は、前記第２導電層と前記第２対向導電層との間に設けられる。前記第２導電線は、前記第１方向に沿って延びる。前記第１中間導電層は、前記第１対向導電層と前記第２導電層との間に設けられる。前記第１中間導電層は、前記第１方向に沿って延びる第１線と、前記第１方向に沿って延びる第２線と、を含む。前記第１線から前記第２線への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１（ａ）～図１（ｇ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図３（ａ）～図３（ｇ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図５（ａ）～図５（ｇ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図６（ａ）～図６（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図７は、伝送路の特性を例示するグラフである。
図８は、第１実施形態に係る伝送路の一部を例示する模式的平面図である。
図９は、第１実施形態に係る伝送路の一部を例示する模式的平面図である。
図１０は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１１は、第２実施形態に係る処理装置を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１（ａ）～図１（ｇ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図２（ａ）は、図１（ａ）～図１（ｇ）のＹ１－Ｙ２線断面図である。図２（ｂ）は、図１（ａ）～図１（ｇ）のＹ３－Ｙ４線断面図である。図２（ｃ）は、図１（ａ）～図１（ｇ）のＹ５－Ｙ６線断面図である。
【０００９】
図２（ａ）～図２（ｂ）に示すように、実施形態に係る伝送路１１０は、第１構造体１１Ｓ、第２構造体１２Ｓ及び第１中間導電層３１を含む。第１構造体１１Ｓは、第１導電層１１、第１対向導電層１１Ａ、及び、第１導電線２１を含む。第２構造体１２Ｓは、第２導電層１２、第２対向導電層１２Ａ、及び、第２導電線２２を含む。
【００１０】
図１（ａ）は、第２対向導電層１２Ａを例示している。図１（ｂ）は、第２導電線２２を例示している。図１（ｃ）は、第２導電層１２を例示している。図１（ｄ）は、第１中間導電層３１を例示している。図１（ｅ）は、第１対向導電層１１Ａを例示している。図１（ｆ）は、第１導電線２１を例示している。図１（ｇ）は、第１導電層１１を例示している。
（【００１１】以降は省略されています）

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