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公開番号2024124288
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-12
出願番号2023090457
出願日2023-05-31
発明の名称切削設備及びその保持装置
出願人國立中央大學
代理人SK弁理士法人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20240905BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】切削設備に応用され、切削対象物を保持するために用いられる、保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置は、保持具と複数の減振粒子を含む。保持具は切削対象物を保持するために使用され、保持具には少なくとも1つの収容室が含まれ、各収容室は、保持具の外表面から内側に延伸して収容空間を形成する。複数の減振粒子は、少なくとも1つの収容室に配置される。そのうち、切削対象物は、被切削過程において、複数の減振粒子が互いにまたは各収容室のチャンバ壁と衝突および摩擦することによって、切削対象物が発生する振動を低減し、これにより、切削対象物が被切削後において形成する複数の小さい物件の表面のわずかな湾曲が減少する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
切削設備に応用され、切削対象物を保持するために用いられる、保持装置であって、前記保持装置は、保持具と、複数の減振粒子を含み、
前記保持具は、前記切削対象物を保持するために使用され、前記保持具は少なくとも１つの収容室を含み、各前記収容室は、前記保持具の外表面から内側に延伸して収容空間を形成することと、及び、
前記複数の減振粒子は、前記少なくとも１つの収容室内に配置されることと、
そのうち、前記切削対象物は、被切削過程において、前記複数の減振粒子が互いにまたは前記各収容室のチャンバ壁と衝突および摩擦することによって、前記切削対象物が発生する振動を低減し、これにより、前記切削対象物が被切削後において形成する複数の小さい物件の表面のわずかな湾曲が減少することと、を特徴とする保持装置。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
前記保持具は、相対する第一面および第二面を含み、各前記収容室は、前記第一面から、前記第一面に対して実質的に垂直な軸線方向に沿って前記第二面に向かって延伸すること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記軸線方向は、前記切削対象物の被切削方向に対して実質的に垂直であること、を特徴とする請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの収容室が単一個である場合、前記収容室は前記保持具の中心位置に設置されること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの収容室が複数個である場合、前記収容室は前記保持具の中心位置に基づいて対称構造を呈して配列されること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項６】
前記複数の減振粒子は、前記複数の収容室の少なくとも１つに充填されること、を特徴とする請求項５に記載の保持装置。
【請求項７】
各前記収容室は、円柱状の孔、矩形柱状の孔、または楕円柱状の孔であること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項８】
各前記収容室は、盲孔または貫通孔であること、を特徴とする請求項７に記載の保持装置。
【請求項９】
前記複数の減振粒子は、金属、合金、または塑性材料から製造されること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項１０】
前記複数の減振粒子は、空心または実心粒子構造であること、を特徴とする請求項１に記載の保持装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持装置に関し、特に、切削設備に応用され、且つ、振動を減少させる効果（減振効果）を有する保持装置（固定保持装置）を指す。本発明は、さらに、前記保持装置を応用する切削設備を含む。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
多くの部品は、製造過程で体積の大きい部品を複数の体積の小さい部品に切削する切削作業が必要であり、これにより、後続の加工を容易にする。切削作業が実行される過程で、一般的には切削機器（例えば、ナイフ、ノコギリなど）を大きい部品に対して往復または循環移動させ、大きい部品を切削する。しかし、切削機器が大きい部品に接触した後、切削機器の移動に伴って、大きい部品は振動を発生することがあり、その結果、切削後に形成される複数の小さい部品の切削表面が不均一になるなどの問題が生じることがある。特に、精密部品（例えば、ウェハー柱など）を切削する作業を行う場合、振動によって前述の問題が発生すると、切削後に形成される小さい部品（例えば、ウェハーや微結晶など）の平坦度に対する影響がより顕著であり、精密部品の製造コストや余分な損失が増える。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、切削設備に応用され、減振効果を持つ保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明の保持装置は、保持具（固定保持要素）および複数の減振粒子を含む。保持具は切削対象物を保持するために使用され、保持具には少なくとも１つの収容室が含まれ、各収容室は、保持具の外表面から内側に延伸して収容空間を形成する。複数の減振粒子は、少なくとも１つの収容室に配置される。そのうち、切削対象物は、被切削過程において、複数の減振粒子が互いにまたは各収容室のチャンバ壁と衝突および摩擦することによって、切削対象物が発生する振動を低減し、これにより、切削対象物が被切削後において形成する複数の小さい物件の表面のわずかな湾曲が減少する。
【０００５】
本発明の一実施例では、保持具は、相対する第一面および第二面を含み、各収容室は第一面から、第一面に対して実質的に垂直な軸線方向に沿って第二面に向かって延伸する。
【０００６】
本発明の一実施例では、軸線方向は、切削対象物の被切削方向に対して実質的に垂直である。
【０００７】
本発明の一実施例では、少なくとも１つの収容室が単一個である場合、収容室は保持具の中心位置に設置される。
【０００８】
本発明の一実施例では、少なくとも１つの収容室が複数の場合、これらの収容室は保持具の中心位置に基づいて対称構造を呈して配列される。
【０００９】
本発明の一実施例では、複数の減振粒子は、これらの収容室のうち少なくとも１つに充填される。
【００１０】
本発明の一実施例では、各収容室は、円柱状の孔、矩形柱状の孔、または楕円柱状の孔である。
（【００１１】以降は省略されています）

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