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公開番号2024067243
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177160
出願日2022-11-04
発明の名称研削装置及び研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20240510BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ホイール基台の内側への研削屑の堆積を防いで被加工物に割れや傷などのダメージを与えることがない研削装置及び研削方法を提供すること。
【解決手段】被加工物を研削する研削装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に取り付けられた研削砥石と、を有する研削ホイールが装着されるスピンドルを備え、該保持テーブルの保持面と直交する回転軸で回転する研削ユニットと、該被加工物と該研削砥石とが接触する位置において該研削砥石の内周に向かって研削水を供給する研削水供給ユニットと、該ホイール基台に環状に形成された複数の貫通孔を経て該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給する洗浄水供給ユニットと、を備え、該洗浄水供給ユニットは、研削中に該ホイール基台の内部に滞留する研削水に含まれて該ホイール基台の内側に付着する研削屑を洗浄することを特徴とする研削装置。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削する研削装置であって、
被加工物を保持する保持テーブルと、
円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に取り付けられた研削砥石と、を有する研削ホイールが装着されるスピンドルを備え、該保持テーブルの保持面と直交する回転軸で回転する研削ユニットと、
該被加工物と該研削砥石とが接触する位置において該研削砥石の内周に向かって研削水を供給する研削水供給ユニットと、
該ホイール基台に環状に形成された複数の貫通孔を経て該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給する洗浄水供給ユニットと、
を備え、
該洗浄水供給ユニットは、研削中に該ホイール基台の内部に滞留する研削水に含まれて該ホイール基台の内側に付着する研削屑を洗浄することを特徴とする研削装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
該研削水供給ユニットと該洗浄水供給ユニットを共通の水供給ユニットとして構成し、
該水供給ユニットから該研削砥石の内周への研削水供給経路と該ホイール基台の内周部全域への洗浄水供給経路に開閉弁をそれぞれ設けるとともに、該開閉弁の開閉を制御する制御部を設けたことを特徴とする請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の研削装置を使用して被加工物を研削する研削方法であって、
該被加工物を該保持テーブルで保持する保持ステップと、
該スピンドルの先端に装着された該研削ホイールで該被加工物を研削する研削ステップと、
を備え、
該研削ステップは、
該研削ホイールと該被加工物とが接触する位置に該研削ホイールを接近させる接近ステップと、
該研削ホイールで該被加工物を所定の仕上げ厚さに研削する仕上げ厚研削ステップと、
該被加工物が所定の厚みに研削された後に該研削ホイールと該被加工物とが離れる位置に該研削ホイールを移動させる離間ステップと、
を含み、
該研削ホイールと該被加工物とが接触する状態の該仕上げ厚研削ステップでは、該研削砥石の内周に向かって研削水を供給し、
該保持ステップと、該接近ステップと、該離間ステップと、の全部もしくは何れかでは、該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給することを特徴とする研削方法。
【請求項４】
該研削ステップの後に、該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給しながら該被加工物を該保持テーブルから取り外す取り外しステップをさらに備え、
各ステップを繰り返し実施して複数の被加工物を連続的に研削することを特徴とする請求項３記載の研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハなどの被加工物を研削する研削装置と該研削装置を使用する研削方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
各種電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの小型化と軽量化のために、ウェーハの裏面を研削して該ウェーハを所定の厚さまで薄化し、この薄化されたウェーハを切削装置によって切削することによって個々の半導体デバイスを製造している。そして、近年、ウェーハに対する薄化の要求が増し、薄化されたウェーハの研削中における該ウェーハの外周部のバタつきを抑えるため、研削砥石の内側に配置された内部ノズルから研削水を研削砥石の内周に向かって供給しながら研削を行う研削装置が例えば特許文献１において提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－２００５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１において提案された研削装置においては、内部ノズルから研削水を加工点のみに供給しながらの研削になるため、研削水に含まれる研削屑がホイール基台の内部に滞留する。このため、ホイール基台の内側に堆積した研削屑が研削加工中や研削ホイールの交換作業中などにウェーハ上やチャックテーブル上に落下する。
【０００５】
ウェーハ上に研削屑が落下した場合には、落下した研削屑が研削ホイールに巻き込まれてウェーハの表面にスクラッチなどの傷が発生する。また、チャックテーブル上に研削屑が落下した場合には、落下した研削屑を挟んだ状態でチャックテーブルがウェーハを保持することになり、ウェーハに割れやディンプルが発生するという問題が発生する。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、ホイール基台の内側への研削屑の堆積を防いで被加工物に割れや傷などのダメージを与えることがない研削装置及び研削方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明は、被加工物を研削する研削装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に取り付けられた研削砥石と、を有する研削ホイールが装着されるスピンドルを備え、該保持テーブルの保持面と直交する回転軸で回転する研削ユニットと、該被加工物と該研削砥石とが接触する位置において該研削砥石の内周に向かって研削水を供給する研削水供給ユニットと、該ホイール基台に環状に形成された複数の貫通孔を経て該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給する洗浄水供給ユニットと、を備え、該洗浄水供給ユニットは、研削中に該ホイール基台の内部に滞留する研削水に含まれて該ホイール基台の内側に付着する研削屑を洗浄することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、上記研削装置を使用して被加工物を研削する研削方法であって、該被加工物を該保持テーブルで保持する保持ステップと、該スピンドルの先端に装着された該研削ホイールで該被加工物を研削する研削ステップと、を備え、該研削ステップは、該研削ホイールと該被加工物とが接触する位置に該研削ホイールを接近させる接近ステップと、該研削ホイールで該被加工物を所定の仕上げ厚さに研削する仕上げ厚研削ステップと、該被加工物が所定の厚みに研削された後に該研削ホイールと該被加工物とが離れる位置に該研削ホイールを移動させる離間ステップと、を含み、該研削ホイールと該被加工物とが接触する状態の該仕上げ厚研削ステップでは、該研削砥石の内周に向かって研削水を供給し、該保持ステップと、該接近ステップと、該離間ステップと、の全部もしくは何れかでは、該ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、仕上げ厚研削ステップにおいては、研削砥石の内周に向かって研削水が供給されるが、それ以外のステップの少なくとも何れかにおいては、ホイール基台の内周部全域に洗浄水を供給するようにしたため、研削加工中に供給される研削水に含まれる研削屑が洗浄水によって洗浄されて除去され、ホイール基台の内側への研削屑の堆積が防がれる。この結果、堆積した研削屑の落下によって被加工物に割れや傷などのダメージを与えるという不具合の発生が防がれる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る研削装置の側断面図である。
本発明方法の各ステップを示すフローチャートである。
本発明方法における保持ステップを示す研削装置要部の破断側面図である。
本発明方法における接近ステップを示す研削装置要部の破断側面図である。
本発明方法における仕上げ厚研削ステップを示す研削装置要部の破断側面図である。
本発明方法における離間ステップを示す研削装置要部の破断側面図である。
本発明方法における取り外しステップを示す研削装置要部の破断側面図である。
本発明方法における各ステップでの研削水と洗浄水の供給状態を示す図である。
本発明の別実施形態に係る研削装置の側断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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