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公開番号2024029651
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-06
出願番号2022132022
出願日2022-08-22
発明の名称導電粒子の分散方法及び静電吸着装置
出願人株式会社レゾナック,国立大学法人山形大学
代理人個人,個人,個人
主分類B01J 19/08 20060101AFI20240228BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】基材上に導電粒子を離間させて二次元的に配置することができ、しかも導電粒子の分散配置の効率を高めることができる導電粒子の分散方法を提供すること。
【解決手段】導電粒子の分散方法は、静電気拡散性又は導電性を有する配置部2を有する第一の電極4と、配置部2と対向し、絶縁性を有する吸着部5を有する第二の電極6との間に電界を形成することにより、配置部2に配置された導電粒子Pを吸着部5に静電吸着させる工程、を備え、配置部2が吸着部5側に開口する凹部30を有し、凹部30は、吸着部5側に向かって開口幅が増大するようにテーパがつけられている内壁面S₁を有し、導電粒子Pの平均粒子径が8μm以上である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
静電気拡散性又は導電性を有する配置部、を有する第一の電極と、前記配置部と対向し、絶縁性を有する吸着部、を有する第二の電極との間に電界を形成することにより、前記配置部に配置された導電粒子を前記吸着部に静電吸着させる工程、を備え、
前記配置部が前記吸着部側に開口する凹部を有し、
前記凹部は、前記吸着部側に向かって開口幅が増大するようにテーパがつけられている内壁面を有し、
前記導電粒子の平均粒子径が８μｍ以上である、導電粒子の分散方法。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
前記吸着部が、前記配置部側に開口する開口パターンを有している、請求項１に記載の導電粒子の分散方法。
【請求項３】
静電気拡散性又は導電性を有する配置部、を有する第一の電極と、
絶縁性を有する吸着部、を有する第二の電極と、を備え、
前記配置部と前記吸着部とが対向することができ、
前記配置部が前記吸着部側に開口する凹部を有し、
前記凹部は、前記吸着部側に向かって開口幅が増大するようにテーパがつけられている内壁面を有する、静電吸着装置。
【請求項４】
前記吸着部が、前記配置部側に開口する開口パターンを有している、請求項３に記載の静電吸着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電粒子の分散方法及び静電吸着装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
基材上に粒子を二次元的に配列する方法として、球状粒子を分散した分散液に基板を浸漬させ、その基板を引き上げた後、分散媒を乾燥して除去するディップコート法や、移流集積法などが知られている（例えば、下記特許文献１を参照）。これらの方法は、粒子の自己集積現象を利用しており、粒子を最密充填配置するときや粒子膜を形成するときに好適な技術である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２２３１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
他方、粒子が分散していることが望ましい場合もあり、粒子を離して二次元的に配置する技術にも需要がある。
【０００５】
そこで、本発明は、基材上に導電粒子を離間させて二次元的に配置することができる導電粒子の分散方法及び当該方法に用いることができる静電吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面は、静電気拡散性又は導電性を有する配置部、を有する第一の電極と、配置部と対向し、絶縁性を有する吸着部、を有する第二の電極との間に電界を形成することにより、配置部に配置された導電粒子を吸着部に静電吸着させる工程、を備え、配置部が吸着部側に開口する凹部を有し、凹部は、吸着部側に向かって開口幅が増大するようにテーパがつけられている内壁面を有し、導電粒子の平均粒子径が８μｍ以上である、導電粒子の分散方法を提供する。
【０００７】
上記の方法によれば、吸着部に導電粒子を離間させて二次元的に配置することができる。
【０００８】
また、上記の方法によれば、配置部が上記の凹部を有することにより、吸着部に吸着させた導電粒子の付着密度を高くすることができ、導電粒子の分散配置の効率を高めることができる。
【０００９】
吸着部は、配置部側に開口する開口パターンを有してもよい。
【００１０】
本発明の他の一側面は、静電気拡散性又は導電性を有する配置部、を有する第一の電極と、絶縁性を有する吸着部、を有する第二の電極と、を備え、配置部と吸着部とが対向することができ、配置部が吸着部側に開口する凹部を有し、凹部は、吸着部側に向かって開口幅が増大するようにテーパがつけられている内壁面を有する、静電吸着装置を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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