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公開番号2023162643
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-11-09
出願番号2022073118
出願日2022-04-27
発明の名称軸材及び電鋳管の製造方法
出願人株式会社ヨコオ
代理人個人,個人
主分類C25D 1/02 20060101AFI20231101BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】電鋳層から線材を除去しやすくする。
【解決手段】線材と、前記線材の周囲に位置する電鋳層と、前記線材と前記電鋳層との間に位置する犠牲層と、を備える軸材。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
線材と、
前記線材の周囲に位置する電鋳層と、
前記線材と前記電鋳層との間に位置する犠牲層と、
を備える軸材。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記犠牲層のエッチングレートが前記電鋳層のエッチングレートより高い、請求項１に記載の軸材。
【請求項３】
前記犠牲層と前記電鋳層との間に位置する導電層をさらに備える、請求項１又は２に記載の軸材。
【請求項４】
線材と、前記線材の周囲に位置する電鋳層と、の間に位置する犠牲層の少なくとも一部分を除去した後、前記線材を除去する工程を備える、電鋳管の製造方法。
【請求項５】
前記線材を除去した後、前記電鋳層を複数の片に切断する工程をさらに備える、請求項４に記載の電鋳管の製造方法。
【請求項６】
前記線材、前記犠牲層及び前記電鋳層を一体的に複数の片に切断する工程をさらに備え、
前記線材を除去する工程において、各片の前記犠牲層の少なくとも一部分を除去した後、各片の前記線材を除去する、請求項４に記載の電鋳管の製造方法。
【請求項７】
前記犠牲層と前記電鋳層との間に導電層が配置されている、請求項４～６のいずれか一項に記載の電鋳管の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸材及び電鋳管の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、電鋳管を製造するための様々な方法が開発されている。電鋳管は、例えば、集積回路（ＩＣ）等の検査対象物を検査するためのプローブに用いられている。例えば、特許文献１に記載の方法では、金めっきによって被膜されたステンレス製の線材の周囲に電鋳によってニッケル層を形成する。次いで、線材の少なくとも一端を引っ張ることで、線材の断面積を低減させて、線材の外周面とニッケル層の内周面との間に隙間を形成する。次いで、当該隙間が形成された状態で線材を引っ張ることで線材を除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－１１５８３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特許文献１に記載の方法では、線材の引っ張りによる線材の破断を抑制する観点から、線材を一定の長さ以上に引っ張ることが難しいことがある。このため、線材の少なくとも一端を引っ張っても、線材の外周面と電鋳層の内周面との間に十分な隙間を形成することが難しいことがある。この場合、電鋳層から線材が除去しにくいことがある。
【０００５】
本発明の目的の一例は、電鋳層から線材を除去しやすくすることにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、
線材と、
前記線材の周囲に位置する電鋳層と、
前記線材と前記電鋳層との間に位置する犠牲層と、
を備える軸材である。
【０００７】
本発明の一態様は、
線材と、前記線材の周囲に位置する電鋳層と、の間に位置する犠牲層の少なくとも一部分を除去した後、前記線材を除去する工程を備える、電鋳管の製造方法である。
【０００８】
本発明の上記態様によれば、電鋳層から線材を除去しやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態１に係る電鋳装置を示す図である。
実施形態２に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
実施形態２に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。
変形例に係る軸材の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態及び変形例について、図面を用いて説明する。すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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