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公開番号2025165461
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069494
出願日2024-04-23
発明の名称基板処理方法および基板処理装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類B24B 21/00 20060101AFI20251028BHJP(研削;研磨)
要約【課題】テープ送りローラーの直径が変化しても、処理テープの使用量を正確に算出することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理方法は、テープ送り装置15のテープ送りローラー17を回転させて、処理テープ2を所定の方向に送りながら、処理ヘッド10で処理テープ2を基板Wに押し付けて、基板Wを処理し、テープ送りローラー17の直径の減少量を決定し、減少量が第1しきい値以下のときは、テープ送りローラー17の直径から減少量を減算することで、テープ送りローラー17の直径を更新し、直径の更新後に、テープ送りローラー17の回転回数と、テープ送りローラー17の直径に基づいて、処理テープ2の補正送り量を算出する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
テープ送り装置のテープ送りローラーを回転させて、処理テープを所定の方向に送りながら、処理ヘッドで前記処理テープを基板に押し付けて、前記基板を処理し、
前記テープ送りローラーの直径の減少量を決定し、
前記減少量が第１しきい値以下のときは、前記テープ送りローラーの直径から前記減少量を減算することで、前記テープ送りローラーの前記直径を更新し、
前記直径の更新後に、前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの前記直径に基づいて、前記処理テープの補正送り量を算出する、基板処理方法。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、
前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの直径に基づいて、前記処理テープの送り量を算出し、
前記処理テープを前記処理ヘッドに供給するテープ巻き出しリールの回転回数と、前記テープ巻き出しリール上の前記処理テープの巻体の外径に基づいて、前記処理テープの巻き出し量を算出し、
前記処理テープの送り量と、前記処理テープの巻き出し量との差に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を算出することを含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項３】
前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、
前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの直径に基づいて前記処理テープの送り量を算出し、
前記処理テープに等間隔に付された複数のテープマークをテープマーク検出センサにより検出し、
前記検出されたテープマークの数をカウントして、前記処理テープの巻き出し量を算出し、
前記処理テープの送り量と前記処理テープの巻き出し量との差に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を算出することを含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項４】
前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、
撮像装置により前記テープ送りローラーの画像を生成し、
前記画像に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を測定することを含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項５】
前記減少量が前記第１しきい値よりも大きく、かつ第２しきい値以下のときは、予め定められた補正量を前記テープ送りローラーの直径から減算することで、前記テープ送りローラーの直径を更新することをさらに含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項６】
前記第１しきい値よりも大きく、かつ前記第２しきい値以下である前記減少量が決定された回数をカウントし、
前記回数が所定の許容回数よりも大きいときに、異常警報を発することをさらに含む、請求項５に記載の基板処理方法。
【請求項７】
前記減少量が前記第２しきい値よりも大きいときに、異常警報を発することをさらに含む、請求項５に記載の基板処理方法。
【請求項８】
前記処理テープの使用開始からの前記処理テープの累積使用量を算出し、
前記累積使用量が所定のテープ交換使用量に達したときに、テープ交換警報を発することをさらに含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項９】
更新された前記テープ送りローラーの前記直径に基づいて、前記テープ送り装置が前記処理テープを所定のテープ送り速度で送るための回転速度指令値を算出し、
前記回転速度指令値で前記テープ送りローラーを回転させることをさらに含む、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項１０】
前記処理テープの使用開始からの前記処理テープの累積使用量の増加分が所定の長さ以上であるときに、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定する、請求項１に記載の基板処理方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハなどの基板を処理する基板処理装置および基板処理方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造における歩留まり向上の観点から、基板の表面状態の管理が近年注目されている。半導体デバイスの製造工程では、種々の材料がシリコンウェーハ上に成膜される。このため、基板の周縁部には不要な膜や表面荒れが形成される。近年では、基板の周縁部のみをアームで保持して基板を搬送する方法が一般的になってきている。このような背景のもとでは、周縁部に残存した不要な膜が種々の工程を経ていく間に剥離して基板に形成されたデバイスに付着し、歩留まりを低下させてしまう。そこで、基板の周縁部に形成された不要な膜を除去するために、研磨装置を用いて基板の周縁部の研磨が行われている。
【０００３】
この種の研磨装置は、研磨テープを基板の周縁部に摺接させることで基板の周縁部を研磨する。より具体的には、基板を基板保持部により保持し、回転させながら、研磨ヘッドによって研磨テープを基板の周縁部に押し付けることによって基板の周縁部を研磨する。基板の研磨中、研磨テープは、テープ巻き出しリールから研磨ヘッドを経由してテープ巻き取りリールに送られる。
【０００４】
研磨ヘッドに供給された研磨テープは、研磨ヘッドに設けられたテープ送り装置によって所定の方向に送られる。テープ送り装置は、テープ送りモータの回転軸に連結されたテープ送りローラーと、研磨テープをテープ送りローラーに押し付けるニップローラーを備えている。テープ送りモータによりテープ送りローラーを回転させることにより、研磨テープを送ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００８－８７１３６号公報
特開２０１８－４６１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
研磨装置では、テープ巻き出しリール上の研磨テープがなくなる前に新たな研磨テープに交換するために、研磨テープの使用量を監視して、所定の使用量に達したときに研磨テープの交換を促す警報を発するように構成されている。研磨テープの使用量は、テープ送り装置のテープ送りローラーの回転回数と、テープ送りローラーの直径に基づいて算出される。しかしながら、テープ送りローラーは、研磨テープとの摩擦によって摩耗し、その直径が徐々に減少する。テープ送りローラーの直径が減少すると、算出された研磨テープの使用量と実際の使用量との間に誤差が生じ、研磨テープがテープ巻き出しリール上にまだ多く残っている状態で交換されることがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、テープ送りローラーの直径が変化しても、処理テープの使用量を正確に算出することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一態様では、テープ送り装置のテープ送りローラーを回転させて、処理テープを所定の方向に送りながら、処理ヘッドで前記処理テープを基板に押し付けて、前記基板を処理し、前記テープ送りローラーの直径の減少量を決定し、前記減少量が第１しきい値以下のときは、前記テープ送りローラーの直径から前記減少量を減算することで、前記テープ送りローラーの前記直径を更新し、前記直径の更新後に、前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの前記直径に基づいて、前記処理テープの補正送り量を算出する、基板処理方法が提供される。
【０００９】
一態様では、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの直径に基づいて、前記処理テープの送り量を算出し、前記処理テープを前記処理ヘッドに供給するテープ巻き出しリールの回転回数と、前記テープ巻き出しリール上の前記処理テープの巻体の外径に基づいて、前記処理テープの巻き出し量を算出し、前記処理テープの送り量と、前記処理テープの巻き出し量との差に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を算出することを含む。
一態様では、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、前記テープ送りローラーの回転回数と、前記テープ送りローラーの直径に基づいて前記処理テープの送り量を算出し、前記処理テープに等間隔に付された複数のテープマークをテープマーク検出センサにより検出し、前記検出されたテープマークの数をカウントして、前記処理テープの巻き出し量を算出し、前記処理テープの送り量と前記処理テープの巻き出し量との差に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を算出することを含む。
一態様では、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定することは、撮像装置により前記テープ送りローラーの画像を生成し、前記画像に基づいて、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を測定することを含む。
【００１０】
一態様では、上記基板処理方法は、前記減少量が前記第１しきい値よりも大きく、かつ第２しきい値以下のときは、予め定められた補正量を前記テープ送りローラーの直径から減算することで、前記テープ送りローラーの直径を更新することをさらに含む。
一態様では、上記基板処理方法は、前記第１しきい値よりも大きく、かつ前記第２しきい値以下である前記減少量が決定された回数をカウントし、前記回数が所定の許容回数よりも大きいときに、異常警報を発することをさらに含む。
一態様では、上記基板処理方法は、前記減少量が前記第２しきい値よりも大きいときに、異常警報を発することをさらに含む。
一態様では、上記基板処理方法は、前記処理テープの使用開始からの前記処理テープの累積使用量を算出し、前記累積使用量が所定のテープ交換使用量に達したときに、テープ交換警報を発することをさらに含む。
一態様では、上記基板処理方法は、更新された前記テープ送りローラーの前記直径に基づいて、前記テープ送り装置が前記処理テープを所定のテープ送り速度で送るための回転速度指令値を算出し、前記回転速度指令値で前記テープ送りローラーを回転させることをさらに含む。
一態様では、前記処理テープの使用開始からの前記処理テープの累積使用量の増加分が所定の長さ以上であるときに、前記テープ送りローラーの直径の前記減少量を決定する。
（【００１１】以降は省略されています）

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