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公開番号2025163074
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-28
出願番号2025123979,2021174806
出願日2025-07-24,2021-10-26
発明の名称化合物及び樹脂
出願人住友化学株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類C07C 69/54 20060101AFI20251021BHJP(有機化学)
要約【課題】良好なラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを製造することができる化合物及び樹脂を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物及び樹脂。
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[R⁰は、ハロゲン原子を有していてもよいアルキル基、H等を表す。X¹は、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から選択される結合種又は単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から選択される結合種と置換基を有してもよいアリーレン基とが組み合わされた連結基を表す。L¹は、単結合又は置換/非置換の炭化水素基等を表す。Arは、置換/非置換の芳香族炭化水素基を表す。X²はO又はSを表す。R¹はF、Br、I又はハロアルキル基を表す。R²は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ハロアルキル基等を表す。m1は1～6の整数を表す。m2は0～4の整数を表す。]
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
式（Ｉ）で表される化合物。
JPEG
2025163074000172.jpg
40
91
［式（Ｉ）中、
Ｒ
０
は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｘ
１
は、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される結合種又は単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される少なくとも１つもしくは２つの結合種と置換基を有していてもよいアリーレン基とが組み合わされた連結基を表す。
Ｌ
１
は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～２８の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ａｒは、置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｘ
２
は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
Ｒ
１
は、フッ素原子、臭素原子、ヨウ素原子又は炭素数１～１２のハロアルキル基を表す。
Ｒ
２
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基を表し、該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～６のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数のＲ
２
は互いに同一であっても異なってもよい。］
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
Ｘ
１
が、式（Ｘ
１
－１）～式（Ｘ
１
－７）のいずれかで表される基である請求項１に記載の化合物。
JPEG
2025163074000173.jpg
45
141
［式（Ｘ
１
－１）～式（Ｘ
１
－７）中、
＊、＊＊は結合部位を表し、＊＊はＬ
1
との結合部位を表す。］
【請求項３】
Ｘ
１
が、式（Ｘ
１
－１）、式（Ｘ
１
－３）又は式（Ｘ
１
－４）で表される基である請求項２に記載の化合物。
【請求項４】
Ｌ
１
が、単結合又は＊－Ｌ
２
－ＣＯ－Ｏ－（Ｌ
２
は、炭素数３～１８の環状炭化水素基又は炭素数３～１８の環状炭化水素基と炭素数１～４のアルカンジイル基とを組み合わせた基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有していてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ
２
－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。＊は、Ｘ
１
との結合部位を表す。）である請求項１～３のいずれかに記載の化合物。
【請求項５】
Ａｒが、置換基を有してもよい炭素数６～１０の芳香族炭化水素基である請求項１～４のいずれかに記載の化合物。
【請求項６】
Ｘ
２
が、酸素原子である請求項１～５のいずれかに記載の化合物。
【請求項７】
Ｒ
１
が、ヨウ素原子、フッ素原子又は炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である請求項１～６のいずれかに記載の化合物。
【請求項８】
Ｒ
２
が、ヨウ素原子、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～３のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～３のアルコキシ基である請求項１～７のいずれかに記載の化合物。
【請求項９】
請求項１～８のいずれかに記載の化合物に由来する構造単位を含む樹脂。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物及び該化合物に由来する構造単位を含む樹脂等に関する。
続きを表示（約 3,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、下記化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物
が記載されている。
TIFF
2025163074000001.tif
28
19
【０００３】
特許文献２には、下記化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物
が記載されている。
TIFF
2025163074000002.tif
28
19
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－０９５８５１号公報
特開２０１５－１６１８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物によ
って形成されたレジストパターンよりも、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が良好なレジ
ストパターンを形成する化合物を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の発明を含む。
〔１〕式（Ｉ）で表される化合物に由来する構造単位を含む樹脂と、酸発生剤とを含有
するレジスト組成物。
TIFF
2025163074000003.tif
40
91
［式（Ｉ）中、
Ｒ
０
は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハ
ロゲン原子を表す。
Ｘ
１
は、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択
される結合種又は単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成さ
れる群から選択される少なくとも１つもしくは２つの結合種と置換基を有していてもよい
アリーレン基とが組み合わされた連結基を表す。
Ｌ
１
は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～２８の炭化水素基を表し、該炭化
水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっ
ていてもよい。
Ａｒは、置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｘ
２
は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
Ｒ
１
は、ハロゲン原子又は炭素数１～１２のハロアルキル基を表す。
Ｒ
２
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１
～１２のアルキル基を表し、該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は
、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～６のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互
いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数のＲ
２
は互いに同
一であっても異なってもよい。］
〔２〕Ｘ
１
が、式（Ｘ
１
－１）～式（Ｘ
１
－７）のいずれかで表される基である〔１〕
に記載のレジスト組成物。
TIFF
2025163074000004.tif
45
141
［式（Ｘ
１
－１）～式（Ｘ
１
－７）中、
＊、＊＊は結合部位を表し、＊＊はＬ
1
との結合部位を表す。］
〔３〕Ｘ
１
が、式（Ｘ
１
－１）、式（Ｘ
１
－３）又は式（Ｘ
１
－４）で表される基であ
る〔２〕に記載のレジスト組成物。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物を用いること
により、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が良好なレジストパターンを作製することがで
きる。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及び
メタクリル系モノマーの少なくとも一種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「
（メタ）アクリル酸」等の表記も、同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において
、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素
基等に含まれる－ＣＨ
2
－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ
２
－で置き換わる場合
、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を
２種以上結合させた基を意味し、それら基の価数は結合形態によって適宜変更してもよい
。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合
により単結合（－Ｃ－Ｃ－基）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての
立体異性体を含む。
【０００９】
〔式（Ｉ）で表される化合物〕
本発明の化合物は、式（Ｉ）で表される化合物（以下「化合物（Ｉ）」という場合があ
る）に関する。
TIFF
2025163074000007.tif
40
91
［式（Ｉ）中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
【００１０】
式（Ｉ）において、Ｒ
０
のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基
、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチ
ル基及びｎ－ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは、炭素数１～４のアルキル基であり、
より好ましくは、メチル基又はエチル基である。
Ｒ
０
のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げ
られる。
Ｒ
０
のハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオ
ロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチ
ル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロ
ペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルクロロメチル基、ペルブロモメチル基及びペ
ルヨードメチル基等が挙げられる。
Ｒ
０
は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又は
エチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基であることがさらに好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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