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公開番号2025162945
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-28
出願番号2024099294
出願日2024-06-20
発明の名称銅箔複合構造およびその製造方法
出願人南亞塑膠工業股分有限公司,NAN YA PLASTICS CORPORATION
代理人個人
主分類C25D 1/22 20060101AFI20251021BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【目的】剥離強度において優れた性能を有する銅箔複合構造およびその製造方法を提供する。
【解決手段】銅箔複合構造の製造方法は、キャリアを提供することと、銅めっき液と含窒素化合物により共めっき工程を行い、前記キャリア上に銅窒素複合層を形成することと、前記銅窒素複合層上に銅箔層を形成することと、を含む。また、銅箔複合構造も提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
キャリアを提供することと、
銅めっき液と含窒素化合物により共めっき工程を行い、前記キャリア上に銅窒素複合層を形成することと、
前記銅窒素複合層上に銅箔層を形成することと、
を含む銅箔複合構造の製造方法。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記銅めっき液中の銅イオンの濃度範囲が、１０ｇ／Ｌ～６０ｇ／Ｌの間である請求項１に記載の銅箔複合構造の製造方法。
【請求項３】
前記銅めっき液が、ピロリン酸銅または硫酸銅を含む請求項１に記載の銅箔複合構造の製造方法。
【請求項４】
前記含窒素化合物の濃度範囲が、１ｐｐｍ～１００ｐｐｍの間である請求項１に記載の銅箔複合構造の製造方法。
【請求項５】
前記含窒素化合物が、５－メルカプト－１－フェニルテトラゾール、トリアミノトリアゾール、ベンゾトリアゾール、５－アミノテトラゾール、５－トリルトリアゾール、３，５－ジアミノ－１，２，４－トリアゾール、５－クロロベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、またはその組み合わせを含む請求項１に記載の銅箔複合構造の製造方法。
【請求項６】
前記共めっき工程の電流密度が、１．５ＡＳＤ～４．５ＡＳＤの間であり、共めっき温度が、４０℃～５５℃の間であり、および／または共めっき時間が、１０秒～３０秒の間である請求項１に記載の銅箔複合構造の製造方法。
【請求項７】
キャリアと、
銅箔層と、
前記キャリアと前記銅箔層の間に位置する銅窒素複合層と、
を含む銅箔複合構造。
【請求項８】
前記銅窒素複合層の厚さが、５０ｎｍ～２００ｎｍの間であり、前記銅箔層の厚さが、１μｍ～５μｍの間である請求項７に記載の銅箔複合構造。
【請求項９】
前記銅窒素複合層の相対する２つの表面が、それぞれ前記キャリアおよび前記銅箔層と直接接触する請求項７に記載の銅箔複合構造。
【請求項１０】
前記銅箔層上に順番に積み重ねられた粗化層、酸化防止層、防錆層、およびシリサイド層をさらに含む請求項７に記載の銅箔複合構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅箔複合構造およびその製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
現在の銅箔構造では、通常、離型層が使用されているが、離型層の安定性は、後続の製造工程の剥離強度に影響を与える。例えば、現行の離型層中の無機層は、製造過程においてたるみ現象が生じやすいため、離型層の分布および剥離強度が不均一になるなどの問題を引き起こす。また、有機層は、高温下で剥離強度が上がるため、キャリアと銅箔を分離するのが困難になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
現行の離型層中の無機層は、製造過程においてたるみ現象が生じやすいため、離型層の分布および剥離強度が不均一になるなどの問題を引き起こす。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、剥離強度において優れた性能を有する銅箔複合構造およびその製造方法を提供する。
【０００５】
本発明の銅箔複合構造の製造方法は、キャリアを提供することと、銅めっき液と含窒素化合物により共めっき工程を行い、前記キャリア上に銅窒素複合層を形成することと、前記銅窒素複合層上に銅箔層を形成することと、を含む。
【０００６】
本発明の１つの実施形態において、上述した銅めっき液中の銅イオンの濃度範囲は、１０ｇ／Ｌ～６０ｇ／Ｌの間である。
【０００７】
本発明の１つの実施形態において、上述した銅めっき液は、ピロリン酸銅または硫酸銅を含む。
【０００８】
本発明の１つの実施形態において、上述した含窒素化合物の濃度範囲は、１ｐｐｍ～１００ｐｐｍの間である。
【０００９】
本発明の１つの実施形態において、上述した含窒素化合物は、５－メルカプト－１－フェニルテトラゾール、トリアミノトリアゾール、ベンゾトリアゾール、５－アミノテトラゾール、５－トリルトリアゾール、３，５－ジアミノ－１，２，４－トリアゾール、５－クロロベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、またはその組み合わせを含む。
【００１０】
本発明の１つの実施形態において、上述した共めっき工程の電流密度は、１．５ＡＳＤ～４．５ＡＳＤの間であり、共めっき温度は、４０℃～５５℃の間であり、および／または共めっき時間は、１０秒～３０秒の間である。
（【００１１】以降は省略されています）

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