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公開番号2025141636
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041655
出願日2024-03-15
発明の名称測定装置及び移動体の制御方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01B 21/00 20060101AFI20250919BHJP(測定;試験)
要約【課題】移動体の移動に伴う不具合の発生を抑制可能な測定装置及び移動体の制御方法を提供する。
【解決手段】移動体(10、10C、200、500)の制御方法は、測定装置(1、1A、1B、1C)に含まれる移動体に取り付けられた衝突検出センサー(80、80A、82、82A、82B、90、202、512)であって、可撓性を有する支持体(204、204A、204B)と、支持体の表面に積層された感度部材と、支持体の長手方向の一部領域に形成された低剛性部(206)(206、206A、206B)であって、一部領域以外の領域よりも剛性が低い低剛性部とを備える衝突検出センサーの曲がり量を検出するステップと、曲がり量に応じて移動体の移動制御を行うステップとを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
測定装置内において相対移動する移動体と、
前記移動体に取り付けられ、前記移動体よりも剛性が低い衝突検出センサーと、
前記衝突検出センサーの曲がり量を検出し、前記曲がり量に応じて前記移動体の移動制御を行う装置制御部とを備え、
前記衝突検出センサーは、
可撓性を有する支持体と、
前記支持体の表面に積層された感度部材と、
前記支持体の長手方向の一部領域に形成された低剛性部であって、前記一部領域以外の領域よりも剛性が低い低剛性部と、
を備える測定装置。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記衝突検出センサーは、前記移動体の運動方向にある障害物又は測定対象物よりも剛性が低い、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記低剛性部は、前記一部領域の厚みを薄くするか、切り欠くか、又は前記支持体の裏面のうち前記一部領域以外の領域に補強部材を貼付することにより形成される、請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記衝突検出センサーを複数備え、
前記装置制御部において、前記複数の衝突検出センサーの曲がり量の読み出し回路が共通である、請求項１に記載の測定装置。
【請求項５】
前記衝突検出センサーは、前記移動体の移動軸ごとに取り付けられており、
前記装置制御部は、前記移動軸ごとに、前記衝突検出センサーの曲がり量の読み出し回路を備える、請求項１に記載の測定装置。
【請求項６】
前記感度部材は、引っ張り応力による抵抗値の変化割合が圧縮応力による抵抗値の変化割合よりも大きく、
前記低剛性部は、前記衝突検出センサーが屈曲されたときに前記感度部材に引っ張り応力が作用するように形成される、請求項１に記載の測定装置。
【請求項７】
前記移動体の曲がり量の検出結果を通知する出力部を備える、請求項１に記載の測定装置。
【請求項８】
曲がったときに抵抗値が増加する前記衝突検出センサーを複数備え、
前記装置制御部は、複数の前記衝突検出センサーからの検出信号を直列に接続して読み出す読み出し回路を備える、請求項１に記載の測定装置。
【請求項９】
曲がったときに抵抗値が減少する前記衝突検出センサーを複数備え、
前記装置制御部は、複数の前記衝突検出センサーからの検出信号を並列に接続して読み出す読み出し回路を備える、請求項１に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記衝突検出センサーの先端部に取り付けられた接触部を備える、請求項１に記載の測定装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は測定装置及び移動体の制御方法に係り、特に他の物体に対する移動体の衝突を防止するための技術に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
移動体を備える装置において移動体を移動させると、移動体が移動する範囲に存在する障害物に接触（衝突）する場合がある。例えば、粗さ測定機、輪郭測定機、真円度測定機、座標測定機又は光学式形状測定機等の測定機は、移動体として検出器（プローブヘッド）、キャリッジ又はコラム等を備えている。このような移動体の移動に伴い、本来意図しない部分が障害物（例えば、測定対象物も含む）に衝突し、測定機の故障又は精度低下の原因となる場合がある。また、移動体が測定対象物に衝突すると、測定対象物に損傷を与える場合がある。
【０００３】
特許文献１には、移動対象装置を覆う筐体に生じた歪みを歪み検出センサーにより検出し、歪み検出センサーが検出した歪みが所定以上になった場合に移動手段を停止させる衝突防止装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－１２２２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の衝突防止装置は、移動対象装置を覆う筐体が障害物に衝突して、筐体に歪みが生じることを前提としたものであり、上記のような測定機の故障又は精度低下の原因となりうる衝突を回避するものではなかった。また、筐体との衝突により測定対象物に損傷を与える場合があった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、移動体の移動に伴う不具合の発生を抑制可能な測定装置及び移動体の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に係る測定装置は、測定装置内において相対移動する移動体と、移動体に取り付けられ、移動体よりも剛性が低い衝突検出センサーと、衝突検出センサーの曲がり量を検出し、曲がり量に応じて移動体の移動制御を行う装置制御部とを備え、衝突検出センサーは、可撓性を有する支持体と、支持体の表面に積層された感度部材と、支持体の長手方向の一部領域に形成された低剛性部であって、一部領域以外の領域よりも剛性が低い低剛性部とを備える。
【０００８】
本発明の第２の態様に係る測定装置は、第１の態様において、衝突検出センサーは、移動体の運動方向にある障害物又は測定対象物よりも剛性が低い。
【０００９】
本発明の第３の態様に係る測定装置は、第１又は第２の態様において、低剛性部は、一部領域の厚みを薄くするか、切り欠くか、又は支持体の裏面のうち一部領域以外の領域に補強部材を貼付することにより形成される。
【００１０】
本発明の第４の態様に係る測定装置は、第１から第３の態様のいずれかにおいて、衝突
検出センサーを複数備え、装置制御部において、複数の衝突検出センサーの曲がり量の読み出し回路が共通である。
（【００１１】以降は省略されています）

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