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公開番号2025129077
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-04
出願番号2024025796
出願日2024-02-22
発明の名称リング共振器、およびその製造方法
出願人日本電気株式会社
代理人個人
主分類G02F 1/01 20060101AFI20250827BHJP(光学)
要約【課題】非線形効果が顕在化することを抑制するリング共振器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】リング共振器は、入力導波路と、出力導波路と、入力導波路に光学的に接続する第1の導波路部分と、出力導波路に光学的に接続する第2の導波路部分と、それぞれが第1の導波路部分および第2の導波路部分を接続する曲線状の2つの導波路部分とを備えるリング導波路と、2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分に沿って配置されたヒータとを備える。2つの導波路部分の長さが互いに異なる。第1の導波路部分に沿う第1の向きと第2の導波路部分に沿う第2の向きとは、互いに平行でない。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
入力導波路と、
出力導波路と、
前記入力導波路に光学的に接続する第1の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第2の導波路部分と、それぞれが前記第1の導波路部分および前記第2の導波路部分を接続する曲線状の2つの導波路部分とを備えるリング導波路と、
を備え、
前記2つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分に沿って配置されたヒータを備え、
前記第1の導波路部分に沿う第1の向きと前記第2の導波路部分に沿う第2の向きとは、互いに平行でない
リング共振器。
続きを表示(約 1,000 文字)【請求項2】
前記第1の向きと前記第2の向きとが互いに垂直である
請求項1に記載のリング共振器。
【請求項3】
前記第3の導波路部分に沿って配置された断熱構造をさらに備える
請求項1または2に記載のリング共振器。
【請求項4】
前記断熱構造は、前記リング導波路および前記ヒータを下方から覆う
請求項3に記載のリング共振器。
【請求項5】
前記リング導波路は、Siで形成されるコアを含む
請求項1または2に記載のリング共振器。
【請求項6】
前記リング導波路は、2つの平行線と、前記2つの平行線を接続する2つの曲線とで構成され、
前記2つの平行線は、前記第1の向きまたは前記第2の向きに平行であり、
前記2つの平行線の長さが互いに等しい
請求項2に記載のリング共振器。
【請求項7】
前記第1の導波路部分は、前記2つの平行線のいずれか一方の少なくとも一部であり、
前記第2の導波路部分は、前記2つの曲線のいずれか一方の少なくとも一部である
請求項6に記載のリング共振器。
【請求項8】
前記第3の導波路部分は、前記2つの平行線のいずれか一方及び前記2つの曲線のいずれか一方を含む
請求項6に記載のリング共振器。
【請求項9】
前記ヒータは、前記第3の導波路部分の全体に沿って配置される
請求項1または2に記載のリング共振器。
【請求項10】
入力導波路、リング導波路、および出力導波路を形成することと、
ヒータを形成することと
を含み、
前記リング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第1の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第2の導波路部分と、それぞれが前記第1の導波路部分および前記第2の導波路部分を接続する曲線状の2つの導波路部分とを備え、
前記2つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第1の導波路部分に沿う第1の向きと前記第2の導波路部分に沿う第2の向きとが互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分に沿って形成される
リング共振器の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、リング共振器、およびその製造方法に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1は、リング共振器と加熱器とを用いて光学フィルタを実現する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特表2022-522796号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1には、リング共振器内における非線形現象の発生を抑制することは記載されておらず、非線形効果が顕在化する恐れがある。
【0005】
本開示は、このような課題を解決するためになされたものであり、非線形効果が顕在化することを抑制するリング共振器およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示にかかるリング共振器は、
入力導波路と、
出力導波路と、
前記入力導波路に光学的に接続する第1の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第2の導波路部分と、それぞれが前記第1の導波路部分および前記第2の導波路部分を接続する曲線状の2つの導波路部分とを備えるリング導波路と、
を備え、
前記2つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分に沿って配置されたヒータを備え、
前記第1の導波路部分に沿う第1の向きと前記第2の導波路部分に沿う第2の向きとは、互いに平行でない。
【0007】
本開示にかかるリング共振器の製造方法は、
入力導波路、リング導波路、および出力導波路を形成することと、
ヒータを形成することと
を含み、
前記リング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第1の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第2の導波路部分と、それぞれが前記第1の導波路部分および前記第2の導波路部分を接続する曲線状の2つの導波路部分とを備え、
前記2つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第1の導波路部分に沿う第1の向きと前記第2の導波路部分に沿う第2の向きとが互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分に沿って形成される。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、非線形効果が顕在化することを抑制するリング共振器およびその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
本開示にかかるリング共振器の模式平面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式断面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式断面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式平面図である。
本開示にかかるリング共振器の製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0010】
実施形態1
以下、図1を用いて、リング共振器10の構成について説明する。図1は、リング共振器10の模式平面図である。リング共振器10は、入力導波路2、リング導波路3、出力導波路4、ヒータ5、および断熱構造6を含む。
(【0011】以降は省略されています)

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