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公開番号2025128844
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025797
出願日2024-02-22
発明の名称リング共振器、およびその製造方法
出願人日本電気株式会社
代理人個人
主分類G02F 1/01 20060101AFI20250827BHJP(光学)
要約【課題】ヒータによって加熱されるリング導波路の長さを確保しつつ、熱干渉の発生を抑制するリング共振器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】リング共振器は、入力導波路と、第1のリング導波路と、第2のリング導波路と、出力導波路と、ヒータを備える。第1のリング導波路は、入力導波路に光学的に接続される第1の導波路部分、および第2のリング導波路に光学的に接続される第2の導波路部分を接続する2つの導波路部分のうち長い方の第3の導波路部分を備える。第2のリング導波路は、第2の導波路部分に光学的に接続される第4の導波路部分、および出力導波路に光学的に接続される第5の導波路部分を接続する2つの導波路部分のうち長い方の第6の導波路部分を備える。ヒータは、第3の導波路部分および第6の導波路部分に沿う。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
入力導波路と、
第１のリング導波路と、
第２のリング導波路と、
出力導波路と、
ヒータと
を備え、
前記第１のリング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第１の導波路部分と、前記第２のリング導波路に光学的に接続する第２の導波路部分と、それぞれが前記第１の導波路部分および前記第２の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第２のリング導波路は、前記第２の導波路部分に光学的に接続する第４の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第５の導波路部分と、それぞれが前記第４の導波路部分および前記第５の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分は、前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路を通る中心線に関して互いに反対側に配置され、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分に沿う第１の向きと、前記第２の導波路部分および前記第４の導波路部分に沿う第２の向きとは、互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第３の導波路部分および前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第６の導波路部分の各々に沿って配置される
リング共振器。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記第１の向きと前記第２の向きとが互いに垂直である
請求項１に記載のリング共振器。
【請求項３】
前記第３の導波路部分および前記第６の導波路部分に沿って配置された断熱構造をさらに備える
請求項１または２に記載のリング共振器。
【請求項４】
前記断熱構造は、前記第１のリング導波路、前記第２のリング導波路、および前記ヒータを下方から覆う
請求項３に記載のリング共振器。
【請求項５】
前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路は、Ｓｉで形成されるコアを含む
請求項４に記載のリング共振器。
【請求項６】
前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路の各々は、２つの平行線と、前記２つの平行線を接続する２つの曲線とで構成され、
前記２つの平行線は、前記第１の向きまたは前記第２の向きに平行であり
前記２つの平行線の長さは、互いに等しい
請求項２に記載のリング共振器。
【請求項７】
前記第１の導波路部分は、前記第１のリング導波路における前記２つの平行線のうちの一方に含まれ、
前記第２の導波路部分は、前記第１のリング導波路における前記２つの曲線のうちの一方に含まれ、
前記第４の導波路部分は、前記第２のリング導波路における前記２つの曲線のうちの一方に含まれ、
前記第５の導波路部分は、前記第２のリング導波路における前記２つの平行線のうちの一方に含まれる、
請求項６に記載のリング共振器。
【請求項８】
前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路が互いに光学的に接続する領域の中心に関して、前記ヒータは点対称に配置される
請求項２に記載のリング共振器。
【請求項９】
前記ヒータは、前記第３の導波路部分および前記第６の導波路部分の各々の全体に沿って配置される
請求項１または２に記載のリング共振器。
【請求項１０】
入力導波路、第１のリング導波路、第２のリング導波路、および出力導波路を形成することと、
ヒータを形成することと
を含み、
前記第１のリング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第１の導波路部分と、前記第２のリング導波路に光学的に接続する第２の導波路部分と、それぞれが前記第１の導波路部分および前記第２の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第２のリング導波路は、前記第２の導波路部分に光学的に接続する第４の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第５の導波路部分と、それぞれが前記第４の導波路部分および前記第５の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分は、前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路を通る中心線に関して互いに反対側に配置され、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分に沿う第１の向きと、前記第２の導波路部分および前記第４の導波路部分に沿う第２の向きとは、互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第３の導波路部分および前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第６の導波路部分の各々に沿って配置される
リング共振器の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、リング共振器、およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ダブルマイクロリング導波路上にヒータを配置することで光波長可変フィルタを実現する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６４３４８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
２つのリング導波路の結合領域の近傍にヒータを配置した場合、２つのリング導波路が互いに熱干渉する。リング導波路に沿って配置されるヒータの長さを短くすることで熱干渉を抑制できるが、加熱される導波路の長さが短くなってしまうという問題がある。
【０００５】
本開示は、このような課題を解決するためになされたものであり、加熱される導波路の長さを確保しつつ、熱干渉が発生することを抑制するリング共振器およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示にかかるリング共振器は、
入力導波路と、
第１のリング導波路と、
第２のリング導波路と、
出力導波路と、
ヒータと
を備え、
前記第１のリング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第１の導波路部分と、前記第２のリング導波路に光学的に接続する第２の導波路部分と、それぞれが前記第１の導波路部分および前記第２の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第２のリング導波路は、前記第２の導波路部分に光学的に接続する第４の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第５の導波路部分と、それぞれが前記第４の導波路部分および前記第５の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分は、前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路を通る中心線に関して互いに反対側に配置され、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分に沿う第１の向きと、前記第２の導波路部分および前記第４の導波路部分に沿う第２の向きとは、互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第３の導波路部分および前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第６の導波路部分の各々に沿って配置される。
【０００７】
本開示にかかるリング共振器の製造方法は、
入力導波路、第１のリング導波路、第２のリング導波路、および出力導波路を形成することと、
ヒータを形成することと
を含み、
前記第１のリング導波路は、前記入力導波路に光学的に接続する第１の導波路部分と、前記第２のリング導波路に光学的に接続する第２の導波路部分と、それぞれが前記第１の導波路部分および前記第２の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第２のリング導波路は、前記第２の導波路部分に光学的に接続する第４の導波路部分と、前記出力導波路に光学的に接続する第５の導波路部分と、それぞれが前記第４の導波路部分および前記第５の導波路部分を接続する曲線状の２つの導波路部分とを備え、
前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分の長さが互いに異なり、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分は、前記第１のリング導波路および前記第２のリング導波路を通る中心線に関して互いに反対側に配置され、
前記第１の導波路部分および前記第５の導波路部分に沿う第１の向きと、前記第２の導波路部分および前記第４の導波路部分に沿う第２の向きとは、互いに平行でなく、
前記ヒータは、前記第１のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第３の導波路部分および前記第２のリング導波路の前記２つの導波路部分のうち長い方の第６の導波路部分の各々に沿って配置される。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、加熱される導波路の長さを確保しつつ、熱干渉が発生することを抑制するリング共振器およびその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
参考例にかかるリング共振器の模式平面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式平面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式断面図である。
本開示にかかるリング共振器の模式断面図である
本開示にかかるリング共振器の模式平面図である。
本開示にかかるリング共振器の製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施形態に至る検討
以下、図１を用いて、参考例にかかるリング共振器２０の構成について説明する。図１は、リング共振器２０の模式平面図である。リング共振器２０は、入力導波路２、リング導波路３ａ、リング導波路３ｂ、出力導波路４、ヒータ５、および断熱構造６を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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