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公開番号2025128514
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025214
出願日2024-02-22
発明の名称研磨用組成物
出願人ニッタ・デュポン株式会社
代理人個人,個人
主分類C09K 3/14 20060101AFI20250827BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】アルミナ砥粒が沈降し堆積した後の再分散性が改善された研磨用組成物を提供する。
【解決手段】研磨用組成物は、アルミナ砥粒と、再分散性向上剤と、を含み、前記再分散性向上剤が親水性基含有シリコーン化合物である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
アルミナ砥粒と、
再分散性向上剤と、を含み、
前記再分散性向上剤が親水性基含有シリコーン化合物である、研磨用組成物。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
請求項１に記載の研磨用組成物であって、
前記親水性基含有シリコーン化合物が、ポリアルキレンオキサイドを含む変性基を有するシリコーン化合物であり、
前記ポリアルキレンオキサイドが、ポリエチレンオキサイドを含む、研磨用組成物。
【請求項３】
請求項２に記載の研磨用組成物であって、
前記親水性基含有シリコーン化合物が、エーテル変性ポリジメチルシロキサンであって、前記変性基が、ポリエチレンオキサイド、又はエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとの共重合体を含む分子鎖である、研磨用組成物。
【請求項４】
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨用組成物であって、
錯化剤をさらに含む、研磨用組成物。
【請求項５】
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨用組成物であって、
界面活性剤をさらに含む、研磨用組成物。
【請求項６】
請求項５に記載の研磨用組成物であって、
前記界面活性剤がアニオン性界面活性剤である、研磨用組成物。
【請求項７】
請求項５に記載の研磨用組成物であって、
前記界面活性剤がノニオン性界面活性剤である、研磨用組成物。
【請求項８】
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨用組成物であって、
リン含有酸をさらに含む、研磨用組成物。
【請求項９】
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨用組成物であって、
ｐＨが２．０～１２．０である、研磨用組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨用組成物に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや半導体パッケージの化学機械研磨において、研磨速度を高めるために高硬度砥粒としてアルミナ砥粒が用いられる場合がある。アルミナ砥粒は比重が大きいため沈降しやすく、沈降した砥粒が堆積するとその再分散が困難である。そのため、分散が不十分なままで使用されやすく、研磨速度やウェーハ品質のバラつきの原因となっている。
【０００３】
特開２０２１－１９５５０１号公報には、砥粒としてアルミナを含む研磨用組成物の濃縮液であって、再分散性を向上させた濃縮液が開示されている。この研磨用組成物の濃縮液は、粒子状アルミナと、アスペクト比が５より大きく８００以下のコロイダルアルミナと、リン含有酸と、水と、を含み、ｐＨが２以上４．５以下である。
【０００４】
特開２０２１－１０４５４７号公報には、窒化アルミニウム多結晶基板の研磨に用いられる研磨スラリーが開示されている。この研磨スラリーは、アルミナ砥粒と、アニオン界面活性剤とを含み、ｐＨが１０以上である。特開２０２１－１０４５４７号公報にはまた、消泡剤としてシリコーンエマルジョンを含有した研磨スラリーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－１９５５０１号公報
特開２０２１－１０４５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特開２０２１－１９５５０１号公報には、コロイダルアルミナとリン含有酸との組合せによりアルミナ砥粒の再分散性を改善する技術が記載されている。この技術ではｐＨを２以上４．５以下にする必要があり、ｐＨが高いと静電反発効果が十分に得られず良好な再分散性を得ることができず、適用可能なｐＨが限定的である。
【０００７】
本発明の課題は、アルミナ砥粒が沈降し堆積した後の再分散性が改善された研磨用組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施形態による研磨用組成物は、アルミナ砥粒と、再分散性向上剤と、を含み、前記再分散性向上剤が親水性基含有シリコーン化合物である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、アルミナ砥粒が沈降し堆積した後の再分散性が改善された研磨用組成物が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、５０℃で３０日間静置した試料（再分散前）の外観写真である。
図２は、再分散後の試料の外観写真である。
図３は、再分散後の試料を上下逆にして置いたときの外観写真である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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