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公開番号2025124541
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2024020670
出願日2024-02-14
発明の名称パルス光測定方法、パルス光測定プログラム、及び光スペクトラムアナライザ
出願人横河電機株式会社,横河計測株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01J 3/18 20060101AFI20250819BHJP(測定;試験)
要約【課題】光スペクトルの測定時間と測定した波形の品質とのバランスを調整できるパルス光測定方法、パルス光測定プログラム、及び光スペクトラムアナライザを提供する。
【解決手段】パルス光の光スペクトルを測定するパルス光測定方法は、光スペクトルの測定波長範囲で実行する複数回の掃引のそれぞれにおいて光強度を測定する波長の重なり幅を設定することと、パルス光に同期するゲート信号のトリガを検出してから、重なり幅に基づいて定まる遅延時間が経過した後に複数回の掃引のそれぞれを開始することと、複数回の掃引を実行して得られた複数の波形から光スペクトルを合成して表示することとを含む。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
パルス光の光スペクトルを測定するパルス光測定方法であって、
前記光スペクトルの測定波長範囲で実行する複数回の掃引のそれぞれにおいて光強度を測定する波長の重なり幅を設定することと、
前記パルス光に同期するゲート信号のトリガを検出してから、前記重なり幅に基づいて定まる遅延時間が経過した後に前記複数回の掃引のそれぞれを開始することと、
前記複数回の掃引を実行して得られた複数の波形から前記光スペクトルを合成して表示することと
を含む、パルス光測定方法。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記複数の波形から前記光スペクトルを合成する際に、前記複数の波形で互いに重なる波長の光強度として、波形のデータが欠損データになっていない期間に検出された強度を採用する、請求項１に記載のパルス光測定方法。
【請求項３】
前記複数回の掃引を実行する順番に前記遅延時間を長くする場合において、前記複数の波形から前記光スペクトルを合成する際に、前記複数の波形で互いに重なる波長の光強度として、後で実行した掃引で検出された強度を採用する、請求項１に記載のパルス光測定方法。
【請求項４】
前記複数回の掃引を実行する順番に前記遅延時間を長くする場合において、前記複数の波形から前記光スペクトルを合成する際に、前記複数の波形で互いに重なる波長の光強度として、波形のデータが欠損データになっていない期間に検出された強度のうち、後で実行した掃引で検出された強度を採用する、請求項１に記載のパルス光測定方法。
【請求項５】
前記複数の波形から前記光スペクトルを合成する際に、前記複数の波形で互いに重なる波長の光強度として、大きい方の値を採用する、請求項１に記載のパルス光測定方法。
【請求項６】
前記複数の波形から前記光スペクトルを合成する際に、前記複数の波形で互いに重なる波長の光強度として、波形のデータが欠損データになっていない期間に検出された強度のうち大きい方の値を採用する、請求項１に記載のパルス光測定方法。
【請求項７】
前記重なり幅を、前記パルス光のパルス幅に対する割合として設定することを更に含む、請求項１から６までのいずれか一項に記載のパルス光測定方法。
【請求項８】
前記パルス幅と前記重なり幅とに基づいて、前記掃引を実行する回数を決定することを更に含む、請求項７に記載のパルス光測定方法。
【請求項９】
前記複数回の掃引のそれぞれで得られた波形を区別可能な態様で表示することを更に含む、請求項１から６までのいずれか一項に記載のパルス光測定方法。
【請求項１０】
前記複数回の掃引を実行している間に、前記重なり幅の設定の入力を受け付けることを更に含む、請求項１から６までのいずれか一項に記載のパルス光測定方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、パルス光測定方法、パルス光測定プログラム、及び光スペクトラムアナライザに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されているように、グレーティングを用いた光スペクトラムアナライザが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５３３９０２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光スペクトラムアナライザは、グレーティングを用いて光スペクトルを測定する際、測定波長範囲の開始波長から終了波長までの各波長に対応する角度でグレーティングを回転させ、各波長に対する光強度である光スペクトルを測定する。各波長に対応する角度でグレーティングを回転させて光スペクトルを測定する動作は、掃引とも称される。
【０００５】
掃引を実行することによってパルス光の光スペクトルを測定する場合、光スペクトルのデータは、図１Ａ及び図１Ｂに示されるように、パルス光が発光しているタイミング、すなわちパルス光に同期するゲート信号がＨＩになっているタイミングにおいて得られるが、パルス光が発光していないタイミング、すなわちゲート信号がＬＯになっているタイミングにおいて得られない。
【０００６】
そのため、測定波長範囲内の全ての波長について光スペクトルのデータの取得を完了するために、パルス信号の位相をずらして複数回の測定を実行することによって、パルス周期分のスペクトルデータが取得される。位相のずれ量を小さくするほど、すなわち測定回数が多いほど、各回の測定で得られる波形の重なり幅が大きくなる。波形の重なり幅が大きいほど測定した光スペクトルの波形の品質が向上する。
【０００７】
一方で、測定回数が多いほど、光スペクトルの測定時間が長くなる。つまり、測定時間の長さと、測定した光スペクトルの波形の品質との間に、トレードオフの関係がある。光スペクトルの波形の品質を確保しつつ測定時間を短縮できるようにしてユーザの利便性を向上させることが求められる。
【０００８】
本開示は、上述の点に鑑みてなされたものであり、ユーザの利便性を向上できるパルス光測定方法、パルス光測定プログラム、及び光スペクトラムアナライザを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
幾つかの実施形態に係る（１）パルス光測定方法は、パルス光の光スペクトルを測定する方法である。前記パルス光測定方法は、前記光スペクトルの測定波長範囲で実行する複数回の掃引のそれぞれにおいて光強度を測定する波長の重なり幅を設定することと、前記パルス光に同期するゲート信号のトリガを検出してから、前記重なり幅に基づいて定まる遅延時間が経過した後に前記複数回の掃引のそれぞれを開始することと、前記複数回の掃引を実行して得られた複数の波形から前記光スペクトルを合成して表示することとを含む。
【００１０】
複数回の掃引を実行する際の波長の重なり幅を設定できることによって、光スペクトルの波形の品質の確保と、測定時間の短縮とが両方とも実現される。その結果、ユーザの利便性が向上する。
（【００１１】以降は省略されています）

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