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公開番号2025117043
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024011689
出願日2024-01-30
発明の名称プローブおよび電気的接続装置
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20250804BHJP(測定;試験)
要約【課題】許容電流値を減少させることなく湾曲し易い構造を有するプローブおよび電気的接続装置を提供する。
【解決手段】プローブ10は、先端部11、湾曲部12、および基端部13が軸方向に順に接続された構造を含む柱形状である。軸方向に垂直な断面において、第1の部材110および第1の部材110よりも硬度が低い第2の部材120が混在する。湾曲部12は、断面における第1の部材110に対する第2の部材120の面積比が他の領域よりも相対的に高い低硬度部分を含む。先端部11から基端部13まで断面の面積が一定である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
前記検査対象物に接触させる先端部、湾曲部、および基端部が軸方向に順に接続された構造を含む柱形状であり、
前記軸方向に垂直な断面において、第１の部材および前記第１の部材よりも硬度が低い第２の部材が混在し、
前記湾曲部が、前記断面における前記第１の部材に対する前記第２の部材の面積比が他の領域よりも相対的に高い低硬度部分を含み、
前記先端部から前記基端部まで前記断面の面積が一定である、
プローブ。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記第２の部材は、前記第１の部材よりも導電性が高い、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記先端部および前記基端部が、前記他の領域に含まれる、請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】
前記湾曲部の全体が前記低硬度部分である、請求項１に記載のプローブ。
【請求項５】
前記断面が矩形状であって、
前記軸方向と垂直な厚さ方向について互いに反対方向を向いて前記軸方向に延伸する第１側面と第２側面と、
前記軸方向および前記厚さ方向と垂直な幅方向について互いに反対方向を向いて前記軸方向に延伸し、前記第１側面と前記第２側面とを連結する第３側面と第４側面と、
を有する、請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
前記低硬度部分の前記断面において、中心部分から前記厚さ方向に延伸する前記第２の部材の延伸部分によって、前記第１の部材が複数の領域に分断されている、請求項５に記載のプローブ。
【請求項７】
前記低硬度部分の前記断面において、前記第２の部材の前記延伸部分と前記第１の部材とが垂直に交差している、請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記延伸部分が、前記第１側面および前記第２側面の少なくともいずれかに達している、請求項６に記載のプローブ。
【請求項９】
前記延伸部分が前記第１側面と前記第２側面にそれぞれ達し、かつ、前記第２の部材が前記第３側面と前記第４側面の少なくともいずれか露出している、請求項６に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記第１側面に達する第１の前記延伸部分と前記第２側面に達する第２の前記延伸部分が、前記厚さ方向から見て重複していない、請求項６に記載のプローブ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブおよび電気的接続装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を検査対象物の電極パッドに接触させ、プローブの他方の端部を、プリント基板などに配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【０００３】
検査対象物の検査において、プローブを電極パッドに接触させた後に、更に電気的接続装置と検査対象物を近づけてプローブを弾性変形により湾曲させる処理（以下、「オーバードライブ」とも称する。）が行われている。オーバードライブによりプローブを湾曲させることにより、プローブの弾性力によって電極パッドおよびランドにプローブを安定して接触させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－９１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プローブを湾曲させるために、他の部分よりも径を細くした細径部（以下、「括れ」とも称する。）が一部に形成されたプローブが使用されている。しかし、プローブの括れた部分は断面積が小さくなる。このため、プローブに括れを形成すると、プローブに流せる電流の大きさ（以下、「許容電流値」とも称する。）が小さくなる。本発明は、許容電流値を減少させることなく湾曲し易い構造を有するプローブおよび電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るプローブは、検査対象物に接触させる先端部、湾曲部、および基端部が軸方向に順に接続された構造を含む柱形状である。軸方向に垂直な断面において、第１の部材および第１の部材よりも硬度が低い第２の部材が混在する。湾曲部が、断面における第１の部材に対する第２の部材の面積比が他の領域よりも相対的に高い低硬度部分を含む。先端部から基端部まで断面の面積が一定である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、許容電流値を減少させることなく湾曲し易い構造を有するプローブおよび電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図２Ａは、図１のＩＩＡ－ＩＩＡ方向に沿った模式的な断面図である。
図２Ｂは、図１のＩＩＢ－ＩＩＢ方向に沿った模式的な断面図である。
図２Ｃは、図１のＩＩＣ－ＩＩＣ方向に沿った模式的な断面図である。
図３は、図１のプローブを分解した模式図である。
図４は、本発明の実施形態に係るプローブを有する電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図５Ａは、本発明の実施形態の変形例に係るプローブの断面の例を示す模式図である。
図５Ｂは、本発明の実施形態の変形例に係るプローブの断面の他の例を示す模式図である。
図６Ａは、本発明の実施形態の他の変形例に係るプローブの断面の例を示す模式図である。
図６Ｂは、本発明の実施形態の他の変形例に係るプローブの断面の他の例を示す模式図である。
図７は、本発明の実施形態の更に他の変形例に係るプローブの断面の例を示す模式図である。
図８は、本発明の実施形態の更に他の変形例に係るプローブの断面の例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置および製造方法などを下記のものに特定するものでない。
【００１０】
図１に示す実施形態に係るプローブ１０は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１０は、先端部１１、湾曲部１２、および基端部１３が軸方向に順に接続された構造を含む柱形状である。先端部１１は、検査対象物の検査時に検査対象物に接触される。図２Ａは、プローブ１０のＩＩＡ－ＩＩＡ方向に沿った先端部１１の断面図を示す。図２Ｂは、プローブ１０のＩＩＢ－ＩＩＢ方向に沿った湾曲部１２の断面図を示す。図２Ｃは、プローブ１０のＩＩＣ－ＩＩＣ方向に沿った基端部１３の断面図を示す。
（【００１１】以降は省略されています）

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