特許ウォッチ

公開番号2025117120
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024011814
出願日2024-01-30
発明の名称半導体パッケージ
出願人富士電機株式会社
代理人個人
主分類G01L 19/00 20060101AFI20250804BHJP(測定;試験)
要約【課題】劣化を抑制することができる半導体パッケージを提供すること。
【解決手段】圧力導入部12は、排気管40から流入する排気ガスを圧力媒体として圧力検出室2へ伝達するための配管であり、物理的な外力を受けて可動し開閉するスイッチ13を有する。スイッチ13は、排気ガスの支流による圧力を受けてスライド部32が第1方向へ押し込まれて開状態となり、排気管40と圧力検出室2とを空間的に接続する。第2保持部39の電磁石38は、スライド部32を第1方向へ引き寄せてスイッチ13の開状態を維持する。第1保持部36は、圧縮コイルばねであり、圧力媒体52から圧縮荷重を受けて縮む。スイッチ13は、自然長に戻ろうとする第1保持部36から常に外力61を受けており、圧力媒体52の消失時に外力61によって第1方向に対して反対側の第2方向へスライド部32が押し戻されて閉状態になり、圧力検出室2を排気ガスから遮蔽する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
エンジン配管を流れる気体の圧力を検出する半導体パッケージであって、
第１圧力媒体から受けた圧力を電気信号に変換する圧力センサチップと、
前記圧力センサチップを収納し、前記第１圧力媒体が伝達される圧力検出室と、
前記エンジン配管と前記圧力検出室との間に配置され、前記エンジン配管から前記第１圧力媒体となる前記気体が流入する圧力導入部と、
を備え、
前記圧力導入部は、物理的な外力を受けて可動し開閉するスイッチを有し、
前記スイッチは、
開状態で前記圧力導入部を介して前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に接続し、
閉状態で前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に途絶することを特徴とする半導体パッケージ。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記スイッチは、前記第１圧力媒体の支流である第２圧力媒体による圧力を受けて第１方向へ可動して開状態となることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記スイッチは、
前記スイッチの前記第１方向への可動を抑制する第１保持部を有し、
前記第２圧力媒体の消失時に前記第１保持部によって前記第１方向に対して反対側の第２方向へ押し戻されて閉状態になることを特徴とする請求項２に記載の半導体パッケージ。
【請求項４】
前記第１保持部は、前記スイッチを前記第２方向に押し戻す押し付け荷重を発生させる圧縮コイルばねであり、
前記スイッチは、前記第１保持部による前記押し付け荷重を常時受けていることを特徴とする請求項３に記載の半導体パッケージ。
【請求項５】
前記スイッチは、前記第１保持部による前記押し付け荷重によって閉状態を維持することを特徴とする請求項４に記載の半導体パッケージ。
【請求項６】
前記スイッチは、
前記スイッチを前記第１方向に引き寄せて保持する第２保持部を有し、
前記第１方向へ可動して開状態になったときか、または前記第１方向へ可動して開状態に近づいたときに、前記第２保持部によって保持され開状態を維持することを特徴とする請求項２に記載の半導体パッケージ。
【請求項７】
前記第２保持部は、前記スイッチを前記第１方向に引き寄せる引力を発生させる電磁石を有することを特徴とする請求項６に記載の半導体パッケージ。
【請求項８】
前記第２保持部は、前記第１方向へ可動した前記スイッチが前記電磁石に所定距離以下まで近づいたときに前記引力によって前記スイッチを引き寄せて保持することを特徴とする請求項７に記載の半導体パッケージ。
【請求項９】
前記電磁石のコイルへの給電と前記圧力センサチップへの給電とを同一の電源によって行うことを特徴とする請求項７に記載の半導体パッケージ。
【請求項１０】
前記スイッチは、大気開放口を有し、閉状態で前記大気開放口を介して前記圧力検出室と外部とを空間的に接続することを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、半導体パッケージに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、内燃機関の吸気系統と圧力センサとの間の吸気圧力通路を開閉するように作動制御される圧力切換弁を有し、内燃機関の減速運転時に圧力切換弁によって閉成された吸気圧力通路内に大気を導入して生じさせた吸気圧力（負圧）を利用して吸気圧力通路内の燃料や水分等を清掃する技術が記載されている。特許文献２には、吸気系統内の負圧に応じて可動して圧力検出室と外部（大気）との間の連通路を開閉する開閉バルブを有し、アクセルＯＮ時にバルブ開状態に近い状態となり、外部から圧力検出室へ導入される新気の流れによって圧力検出室内への汚れの侵入を防止する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
実用新案登録第２５２０６０１号公報
特開２００１－１２４６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１，２のように吸気圧測定を目的する場合、圧力媒体が外気（大気）とほぼ等しいため、圧力測定用の半導体パッケージ（圧力センサ回路およびその構成部材）は、圧力媒体に長時間晒されるとしても圧力媒体による劣化を考慮する必要がない。しかしながら、排気圧測定を目的とする場合、エンジン配管が常時密閉されていることから、半導体パッケージ内が腐食性物質を含む圧力媒体に長時間晒される。このため、圧力測定用の半導体パッケージの劣化が強く懸念される。
【０００５】
この開示は、劣化を抑制することができる半導体パッケージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一態様にかかる半導体パッケージは、エンジン配管を流れる気体の圧力を検出する半導体パッケージであって、圧力センサチップと、圧力検出室と、圧力導入部と、を備え、以下の通りである。前記圧力センサチップは、第１圧力媒体から受けた圧力を電気信号に変換する。前記圧力検出室は、前記圧力センサチップを収納する。前記圧力検出室には、前記第１圧力媒体が伝達される。前記圧力導入部は、前記エンジン配管と前記圧力検出室との間に配置されている。前記圧力導入部には、前記エンジン配管から前記第１圧力媒体となる前記気体が流入する。前記圧力導入部は、物理的な外力を受けて可動し開閉するスイッチを有する。前記スイッチは、開状態で前記圧力導入部を介して前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に接続し、閉状態で前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に途絶する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示にかかる半導体パッケージによれば、劣化を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態にかかる半導体パッケージの構造を模式的に示す断面図である。
図１の圧力センサの構造例を模式的に示す断面図である。
図１のスイッチの構造を拡大して示す断面図である。
図３のスライド部（曲面上部側）の構造を模式的に示す斜視図である。
図３のスライド部（曲面下部側）の構造を模式的に示す斜視図である。
図１のスイッチのオフから完全なオン状態への遷移途中の状態を模式的に示す断面図である（その１）。
図１のスイッチのオフから完全なオン状態への遷移途中の状態を模式的に示す断面図である（その２）。
図１のスイッチのオフから完全なオン状態への遷移途中の状態を模式的に示す断面図である（その３）。
図１のスイッチの完全なオン状態時を模式的に示す断面図である。
参考例の半導体パッケージの構造を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜本開示の実施形態の概要＞
（１）この開示の一態様にかかる半導体パッケージは、エンジン配管を流れる気体の圧力を検出する半導体パッケージであって、圧力センサチップと、圧力検出室と、圧力導入部と、を備え、以下の通りである。前記圧力センサチップは、第１圧力媒体から受けた圧力を電気信号に変換する。前記圧力検出室は、前記圧力センサチップを収納する。前記圧力検出室には、前記第１圧力媒体が伝達される。前記圧力導入部は、前記エンジン配管と前記圧力検出室との間に配置されている。前記圧力導入部には、前記エンジン配管から前記第１圧力媒体となる前記気体が流入する。前記圧力導入部は、物理的な外力を受けて可動し開閉するスイッチを有する。前記スイッチは、開状態で前記圧力導入部を介して前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に接続し、閉状態で前記エンジン配管と前記圧力検出室とを空間的に途絶する。
【００１０】
上述した開示によれば、スイッチの閉状態時に圧力検出室内をエンジン管内の高温高湿度の気体から遮蔽することができるため、圧力センサチップおよびその構成部材の錆や腐食、吸湿膨張等による劣化を抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許