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公開番号2025115828
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010499
出願日2024-01-26
発明の名称監視方法、監視プログラム、及び監視装置
出願人横河電機株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G06F 11/36 20060101AFI20250731BHJP(計算;計数)
要約【課題】解析装置の状態を簡便に維持できる監視方法、監視プログラム、及び監視装置を提供する。
【解決手段】対象物を観察する解析装置を監視する監視方法は、解析装置の自己診断データを解析装置による対象物の観察期間外に取得することと、自己診断データに基づいて解析装置の状態を診断することと、解析装置の状態の診断結果を出力することとを含む。
【選択図】図2A
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を観察する解析装置を監視する監視方法であって、
前記解析装置の自己診断データを、前記解析装置が前記対象物の観察を実行していない状態になっている期間である自己診断可能期間に取得することと、
前記自己診断データに基づいて前記解析装置の状態を診断することと、
前記解析装置の状態の診断結果を出力することと
を含む、監視方法。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記自己診断可能期間は、前記解析装置に観察モードが設定されていない期間を含む、請求項１に記載の監視方法。
【請求項３】
前記解析装置が前記対象物の観察を連続的に実行するモードである連続観察モードで動作している場合、前記自己診断可能期間は、前記解析装置が前記連続観察モードの動作を開始する前の期間、又は、前記連続観察モードの動作を終了した後の期間を含む、請求項１に記載の監視方法。
【請求項４】
前記解析装置が前記対象物の観察を間欠的に実行するモードであるタイムラプスモードで動作している場合、前記自己診断可能期間は、前記解析装置が前記タイムラプスモードで動作している期間の中の一区間において実行する一連の動作を開始する前の少なくとも一部の期間、又は、前記解析装置が前記一連の動作を終了した後の少なくとも一部の期間を含む、請求項１に記載の監視方法。
【請求項５】
前記自己診断データは、前記自己診断可能期間が開始した直後、又は、前記自己診断可能期間が終了する直前に取得される、請求項１から４までのいずれか一項に記載の監視方法。
【請求項６】
前記自己診断データを取得する時期を前記解析装置のユーザが設定する入力を受け付けることを更に含み、
前記自己診断データは、前記解析装置のユーザが設定した時期以降、かつ、前記自己診断可能期間内に取得される、請求項１から４までのいずれか一項に記載の監視方法。
【請求項７】
前記自己診断データとして、前記解析装置に治具を設置することによって測定できるデータを取得することを更に含む、請求項１から４までのいずれか一項に記載の監視方法。
【請求項８】
前記治具は、開口を備え、
前記開口は、前記解析装置がカメラを備える場合に、前記カメラで前記開口を撮影することによって、前記カメラが生成する画像に含まれるノイズ、又は、前記カメラに付着しているゴミ若しくは汚れを解析できるように構成される、請求項７に記載の監視方法。
【請求項９】
前記治具は、特定の模様を表示する模様部を備え、
前記模様部は、前記解析装置がカメラと前記対象物を配置可能に構成されるステージとを備える場合に、前記ステージの移動精度を確認する画像を、前記治具を前記ステージに配置して前記ステージを複数の位置に移動させ、前記ステージが各位置に移動したときの前記模様部の特定の模様を前記カメラで撮影することによって生成できるように構成される、請求項７に記載の監視方法。
【請求項１０】
前記治具は、ホルダを備え、
前記ホルダは、前記解析装置がオートフォーカスの機能を実現する場合に、前記解析装置がオートフォーカスの光学的信号を取得するためのサンプルを配置可能に構成される、請求項７に記載の監視方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、解析装置の監視方法、監視プログラム、及び監視装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されているように、解析装置の情報をアップロードして共有データとして保存するシステムが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－３４４４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解析装置の情報を共有するだけでなく、解析装置の状態の維持のために活用することが求められる。
【０００５】
本開示は、上述の点に鑑みてなされたものであり、解析装置の状態を簡便に維持できる監視方法、監視プログラム、及び監視装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
幾つかの実施形態に係る（１）監視方法は、対象物を観察する解析装置を監視する方法である。前記監視方法は、前記解析装置の自己診断データを、前記解析装置が前記対象物の観察を実行していない状態になっている期間である自己診断可能期間に取得することと、前記自己診断データに基づいて前記解析装置の状態を診断することと、前記解析装置の状態の診断結果を出力することとを含む。
【０００７】
解析装置が対象物の観察を実行していない状態になっている期間に自己診断データが取得されることによって、対象物の観察結果に対する影響が低減される。また、解析装置の状態の診断結果が出力されることによって、自己診断データだけで解析装置の状態を把握する場合よりも、解析装置の状態が簡便に把握される。その結果、解析装置の状態が簡便に維持される。
【０００８】
（２）上記（１）に記載の監視方法において、前記自己診断可能期間は、前記解析装置に観察モードが設定されていない期間を含んでよい。
【０００９】
（３）上記（１）又は（２）に記載の監視方法において、前記解析装置が前記対象物の観察を連続的に実行するモードである連続観察モードで動作している場合、前記自己診断可能期間は、前記解析装置が前記連続観察モードの動作を開始する前の期間、又は、前記連続観察モードの動作を終了した後の期間を含んでよい。
【００１０】
（４）上記（１）又は（２）に記載の監視方法において、前記解析装置が前記対象物の観察を間欠的に実行するモードであるタイムラプスモードで動作している場合、前記自己診断可能期間は、前記解析装置が前記タイムラプスモードで動作している期間の中の一区間において実行する一連の動作を開始する前の少なくとも一部の期間、又は、前記解析装置が前記一連の動作を終了した後の少なくとも一部の期間を含んでよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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