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公開番号2025117309
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024012073
出願日2024-01-30
発明の名称厚さ測定装置
出願人横河電機株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01B 21/08 20060101AFI20250804BHJP(測定;試験)
要約【課題】簡素な構成で高精度な厚さ測定が可能な厚さ測定装置を得ること。
【解決手段】厚さ測定装置1は、第1の方向に延びる長孔43が形成されたプレート4と、長孔43の一方側においてプレート4の第1面41に設けられて第1の方向に沿って延びる第1の案内部5と、第1の案内部5に支持されて、第1の方向に沿って移動可能とされた第1の測定部7と、長孔43の他方側において第1面41に設けられて第1の方向に沿って延びる第2の案内部6と、第2の案内部6に支持されて、第1の方向に沿って移動可能とされた第2の測定部8と、を備え、長孔43および第1の測定部7と第2の測定部8との間の隙間を通る被測定物の厚さを測定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１の方向に延びる長孔が形成されたプレートと、
前記長孔の一方側において前記プレートの第１面に設けられて前記第１の方向に沿って延びる第１の案内部と、
前記第１の案内部に支持されて、前記第１の方向に沿って移動可能とされた第１の測定部と、
前記長孔の他方側において前記第１面に設けられて前記第１の方向に沿って延びる第２の案内部と、
前記第２の案内部に支持されて、前記第１の方向に沿って移動可能とされた第２の測定部と、を備え、
前記長孔および前記第１の測定部と前記第２の測定部との間の隙間を通る被測定物の厚さを測定する厚さ測定装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記第１面に設けられて前記第１の案内部の位置決めと前記第２の案内部の位置決めをする位置決め部をさらに備える請求項１に記載の厚さ測定装置。
【請求項３】
前記位置決め部は、前記第１面に形成された位置決め用の穴に差し込まれたピンを含む請求項２に記載の厚さ測定装置。
【請求項４】
前記第１の案内部および前記第２の案内部はレールであり、前記ピンに当接して設けられている請求項３に記載の厚さ測定装置。
【請求項５】
前記第１の測定部と前記第２の測定部とを移動させる駆動装置をさらに備える請求項１から４のいずれか１つに記載の厚さ測定装置。
【請求項６】
前記長孔の一方側に設けられて前記第１の方向に沿って延びる第１のベルトと、
前記第１のベルトを移動させる第１の駆動プーリおよび第１の従動プーリと、
前記長孔の他方側に設けられて前記第１の方向に沿って延びる第２のベルトと、
前記第２のベルトを移動させる第２の駆動プーリおよび第２の従動プーリと、をさらに備え、
前記駆動装置はモータを含み、
前記モータの出力軸が前記第１の駆動プーリと前記第２の駆動プーリと連結されている請求項５に記載の厚さ測定装置。
【請求項７】
前記プレートから独立して設けられたコントロールボックスと、
前記コントロールボックスに収容されて前記第１の測定部および前記第２の測定部の移動を制御する制御部と、をさらに備える請求項１から４のいずれか１つに記載の厚さ測定装置。
【請求項８】
前記駆動装置がリニアモータを含み、
前記リニアモータの固定子が前記第１面に固定され、
前記第１の測定部と前記第２の測定部とが前記リニアモータの可動子に固定されている請求項５に記載の厚さ測定装置。
【請求項９】
前記第１の測定部および前記第２の測定部の一方が放射線を出射する放射線出射部であり、他方が放射線を検出する検出部である請求項１から４のいずれか１つに記載の厚さ測定装置。
【請求項１０】
前記プレートが複数に分割されている請求項１から４のいずれか１つに記載の厚さ測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚さ測定装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
対向して設けられた２つの測定部を備え、測定部同士の間を通過する被測定物の厚さを測定する厚さ測定装置が知られている。特許文献１に開示されているように、厚さ測定装置は、一方の測定部を上方から支持するビームと、他方の測定部を下方から支持するビームとを備える。２つの測定部はビームに沿って同期して移動する。２つの測定部を同期して移動させながら２つの測定部の間に被測定物を通過させることで、被測定物の広い範囲で厚さの測定が行われる。
【０００３】
厚さを測定する手法には、一方の測定部から放射された放射線を他方の測定部で検出し、被測定物を貫通する際の放射線の減衰量を算出し、その減衰量に基づいて厚さを測定する手法が例示される。
【０００４】
このような厚さ測定装置では、上下に設けられた２本のビームは、その両端に連結されたスタンドによって支持されている。スタンドは床面に固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００８－１２８７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
被測定物の厚さを高精度に測定するためには、測定部の位置を高精度に制御する必要がある。特許文献１に開示されているように、上下に設けられたビームで測定部が支持され、スタンドによってビームが連結された構成では、ビームおよびスタンドに高い剛性、形状精度、組み立て精度が要求され、装置の大型化および高コスト化を招いてしまう。
【０００７】
本発明は、簡素な構成で高精度な厚さ測定が可能な厚さ測定装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る厚さ測定装置は、第１の方向に延びる長孔が第１面に形成されたプレートと、長孔を挟んだ一方側となる第１面に設けられて第１の方向に沿って延びる第１の案内部と、第１の案内部に支持されて、第１の方向に沿って移動可能とされた第１の測定部と、長孔を挟んだ他方側となる第１面に設けられて第１の方向に沿って延びる第２の案内部と、第２の案内部に支持されて、第１の方向に沿って移動可能とされた第２の測定部と、を備え、長孔および第１の測定部と第２の測定部との間の隙間を通る被測定物の厚さを測定する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、簡素な構成で高精度な厚さ測定が可能な厚さ測定装置を得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態１に係る厚さ測定装置の概略構成を示す斜視図である。
実施形態１におけるプレートの正面図である。
図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断した断面図である。
図１に示したＡ部分を拡大した部分拡大斜視図である。
実施形態１にかかる厚さ測定装置の設置例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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