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公開番号2025108006
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-23
出願番号2024001570
出願日2024-01-10
発明の名称測定装置、測定方法、およびプログラム
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01M 11/00 20060101AFI20250715BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定誤差の小さい測定装置を提供する。
【解決手段】光軸方向に配列された複数の被検レンズを有する被検光学系(6)の少なくとも一つの被検面の偏心量を測定する測定装置(100)であって、光を照射する光源(1)と、光源からの光を被検光学系に導くとともに、被検光学系で反射した反射光を結像させる光学系(4、5、8)と、反射光の輝度値を取得する光検出部(9)と、光が照射されてから反射光の輝度値を取得するまでの時間に関する情報に基づいて、被検光学系の複数のレンズ面のうち被検面からの反射光の輝度値を算出する算出部(12)とを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
光軸方向に配列された複数の被検レンズを有する被検光学系の少なくとも一つの被検面の偏心量を測定する測定装置であって、
光を照射する光源と、
前記光源からの前記光を前記被検光学系に導くとともに、該被検光学系で反射した反射光を結像させる光学系と、
前記反射光の輝度値を取得する光検出部と、
前記光が照射されてから前記反射光の輝度値を取得するまでの時間に関する情報に基づいて、前記被検光学系の複数のレンズ面のうち前記被検面からの反射光の輝度値を算出する算出部とを有することを特徴とする測定装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記光は、パルス光であることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記光検出部は、アバランシェダイオードを有することを特徴とする請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項４】
制御部をさらに有し、
前記制御部は、前記光源による前記光の照射タイミングおよび前記光検出部による前記反射光の検出タイミングを制御することを特徴とする請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項５】
前記反射光の輝度値は、前記光源が前記光を照射してから前記光検出部が前記反射光を検出するまでに要する時間と、前記光検出部により検出される前記反射光の光量との関係を示す情報であることを特徴とする請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項６】
前記算出部は、前記反射光の輝度値に基づいて、前記被検面の距離情報を取得することを特徴とする請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
光軸方向に配列された複数の被検レンズを有する被検光学系の二つの被検面の面間隔を測定する測定装置であって、
光を照射する光源と、
前記光源からの前記光を前記被検光学系に導くとともに、該被検光学系で反射した反射光を結像させる光学系と、
前記反射光の輝度値を取得する光検出部と、
前記反射光の輝度値に基づいて前記二つの被検面の距離情報を取得し、前記距離情報に基づいて前記二つの被検面の面間隔を算出する算出部とを有することを特徴とする測定装置。
【請求項８】
前記光は、パルス光であることを特徴とする請求項７に記載の測定装置。
【請求項９】
前記光検出部は、アバランシェダイオードを有することを特徴とする請求項７または８に記載の測定装置。
【請求項１０】
制御部をさらに有し、
前記制御部は、前記光源による前記光の照射タイミングおよび前記光検出部による前記反射光の検出タイミングを制御することを特徴とする請求項７または８に記載の測定装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置、測定方法、およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数の被検レンズを含む光学系の偏心量を測定する方法として、オートコリメーション法が知られている。この方法では、光学系の一部を光軸方向に駆動して指標を被検レンズ面の見かけの曲率中心位置に投影し、基準軸に対する被検レンズ面の反射像位置を測定して被検レンズ面の偏心量を算出する。特許文献１には、ＣＭＯＳカメラまたはＣＣＤカメラなどのイメージセンサを用いて、被検光学系の複数のレンズ面に対応する反射像を撮像することで、各レンズ面の偏心量を測定する測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－０６０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された測定装置では、被検光学系の複数のレンズ面からの反射像を分離することができない場合がある。その結果、レンズ面の偏心量の測定誤差が大きくなる可能性がある。
【０００５】
そこで本発明は、測定誤差の小さい測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面としての測定装置は、光軸方向に配列された複数の被検レンズを有する被検光学系の少なくとも一つの被検面の偏心量を測定する測定装置であって、光を照射する光源と、前記光源からの前記光を前記被検光学系に導くとともに、該被検光学系で反射した反射光を結像させる光学系と、前記反射光の輝度値を取得する光検出部と、前記光が照射されてから前記反射光の輝度値を取得するまでの時間に関する情報に基づいて、前記被検光学系の複数のレンズ面のうち前記被検面からの反射光の輝度値を算出する算出部とを有する。
【０００７】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施形態において説明される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、測定誤差の小さい測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態における測定装置の構成図である。
第１実施形態における測定方法を示すフローチャートである。
第１実施形態における光量分布情報の一例である。
第２実施形態における測定方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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