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公開番号2025106776
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-16
出願番号2024047449
出願日2024-03-25
発明の名称感光性樹脂フィルム及びその適用
出願人長春人造樹脂廠股分有限公司,CHANG CHUN PLASTICS CO., LTD.
代理人弁理士法人朝日奈特許事務所
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250709BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】感光性樹脂フィルム及びその適用を提供すること。
【解決手段】感光性樹脂フィルムを、5℃/分の速度で40℃から200℃に加熱し、10分間、200℃の温度を保持する条件で熱重量分析に付した際、0～40分の範囲内の時間に対する重量百分率の第1の導関数(first derivative)の絶対値が0.1%/分より高く、1.0%/分より高くない、感光性樹脂フィルム。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
感光性樹脂フィルムを、５℃／分の速度で４０℃から２００℃に加熱し、１０分間、２００℃の温度を保持する条件で熱重量分析に付した際、０～４０分の範囲内の時間に対する重量百分率の第１の導関数（first derivative）の絶対値が０．１％／分より高く、１．０％／分より高くない、感光性樹脂フィルム。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
感光性樹脂フィルムを前記熱重量分析に付した際、０～２０分の範囲内の前記感光性樹脂の重量損失百分率が０重量％より高く、１０重量％より高くない、請求項１に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項３】
０～２０分の範囲内の前記感光性樹脂フィルムの重量損失百分率が２重量％～１０重量％の範囲にある、請求項２に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項４】
６０μｍ～６００μｍの厚さを有する、請求項１に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項５】
ドライフィルムである、請求項１に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項６】
（Ａ）アルカリ可溶性ポリマー、
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物の成分、及び
（Ｃ）光重合開始剤を含む、請求項１に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項７】
エチレン性不飽和化合物の成分（Ｂ）が１以上の二官能性アクリレート系化合物を含む、請求項６に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項８】
エチレン性不飽和化合物の成分（Ｂ）の重量に基づく二官能性アクリレート系化合物の量が６０重量％以上である、請求項７に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項９】
請求項１～８のいずれかに記載の感光性樹脂フィルム、及び
感光性樹脂フィルムの少なくとも１つの表面上の保護フィルムを含む、複合体フィルム。
【請求項１０】
保護フィルムが、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリオレフィンフィルム及びこれらの複合体からなる群から選択される、請求項９に記載の複合体フィルム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
優先権主張
本出願は、２０２４年１月４日に出願された台湾特許出願１１３１００４２８号、及び２０２４年１月４日に出願された中国特許出願２０２４１００１０５１７．２号の優先権を主張する。これらの特許出願の主題は、参照としてその全体が本明細書中に組み入れられる。
続きを表示（約 1,300 文字）【０００２】
発明の分野
本出願は、感光性樹脂フィルム、特に厚い感光性樹脂フィルム、及びその感光性樹脂フィルムの適用を提供する。
【背景技術】
【０００３】
感光性樹脂フィルムは、露光後の化学的変化を受けるフィルムであり、電子工学分野でフォトレジストフィルムとしての利用される。露光後の変化に応じて、フォトレジストフィルムはポジティブフォトレジストフィルム及びネガティブフォトレジストフィルムに分類することができる。ポジティブフォトレジストフィルムでは、露光されたフォトレジストフィルムの部分が現像中に溶解し、露光されていないフォトレジストフィルムの部分が残る。ネガティブフォトレジストフィルムでは、露光されていないフォトレジストフィルムの部分が現像中に溶解し、露光されたフォトレジストフィルムの部分が残る。
【０００４】
プリント回路基板（ＰＣＢ）の産業では、回路パターンを形成させるためにエッチング手順又は電気めっき手順でフォトレジストフィルムが用いられる。電子部品の増加する複雑さと大きさのために、プリント回路基板産業では、幅に対する深さの比が高い厚いフォトレジストフィルムが求められている。しかし、従来のフォトレジストフィルムは、しばしば低い保存特性、接着性及び／又は操作性を示し、そのためその後のエッチング手順又は電気めっき手順で欠陥をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の技術的課題の観点で、本願発明は、優れた保存特性、接着性及び操作性を有する感光性樹脂フィルムを提供することを目的とする。この感光性樹脂フィルムは、高精度のエッチング又は電気めっき加工を必要とする様々な電子工学分野で用いることができる。
【０００６】
従って、本願発明の課題は、感光性樹脂フィルムを、５℃／分の速度で４０℃から２００℃に加熱し、１０分間、２００℃の温度を保持する条件で熱重量分析に付した際、０～４０分の範囲内の時間に対する重量百分率の第１の導関数（first derivative）の絶対値が０．１％／分より高く、１．０％／分より高くない、感光性樹脂フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明のいくつかの実施態様において、感光性樹脂フィルムを前記熱重量分析に付した際、０～２０分の範囲内の前記感光性樹脂フィルムの重量損失百分率は、０重量％より高く、１０重量％より高くなく、好ましくは２重量％～１０重量％の範囲にある。
【０００８】
本願発明のいくつかの実施態様において、感光性樹脂フィルムは６０μｍ～６００μｍの厚さを有する。
【０００９】
本願発明のいくつかの実施態様において、感光性樹脂フィルムはドライフィルムである。
【００１０】
本願発明のいくつかの実施態様において、感光性樹脂フィルムは、（Ａ）アルカリ可溶性ポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物の成分、及び（Ｃ）光重合開始剤を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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