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公開番号2025087567
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2024091965
出願日2024-06-06
発明の名称レチクルプレス装置及びそれを適用するレチクルボックス
出願人家登精密工業股ふん有限公司,GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
代理人弁理士法人永井国際特許事務所
主分類H01L 21/673 20060101AFI20250603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】レチクルプレス装置を提供する。
【解決手段】
レチクルを収容するためのレチクルボックスに用いられるレチクルプレス装置であって、レチクルプレス板と、レチクルプレス板に配置され、押し当て部を含むプレス手段であって、押し当て部は、プレス手段のレチクルプレス板に対する移動幅に応じてレチクルプレス板を押し当て、レチクルプレス板をプレス手段に対して横方向に移動させるプレス手段と、プレス手段を介してレチクルプレス板内に設けられるものであり、プレス手段の移動幅を調整することにより、押し当て部をレチクルプレス板へレチクルを固定するまで押し当て、又はプレス手段の押し当て部をレチクルから離させ且つ押し当て力を解放するように調整するための調整素子と、を含む。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
レチクルを収容するためのレチクルボックスに用いられるレチクルプレス装置であって、
レチクルプレス板と、
前記レチクルプレス板に配置され、押し当て部を含むプレス手段であって、前記押し当て部は、前記プレス手段の前記レチクルプレス板に対する移動幅に応じて前記レチクルプレス板を押し当て、前記レチクルプレス板を前記プレス手段に対して横方向に移動させるプレス手段と、
前記プレス手段を介して前記レチクルプレス板内に設けられるものであり、前記プレス手段の移動幅を調整することにより、前記押し当て部を前記レチクルプレス板へ前記レチクルを固定するまで押し当て、又は前記プレス手段の前記押し当て部を前記レチクルから離させ且つ押し当て力を解放するように調整するための調整素子と、を含む、レチクルプレス装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記押し当て部は、弾性部及び前記弾性部に結合される傾斜面を含み、前記プレス手段は、前記調整素子の調整に応じて、前記傾斜面の傾斜角度に沿って前記レチクルに近接する又は前記レチクルから離れるように前記レチクルプレス板を押し当て、同時に前記弾性部は、前記傾斜面の押し当て力に応じて弾性変形する、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項３】
前記プレス手段は、第１軸方向に沿って前記レチクルプレス板に向かって移動することにより、前記押し当て部は、第２軸方向に沿って前記プレス手段に対して横方向に移動するように前記レチクルプレス板を押し当て、前記第１軸方向と前記第２軸方向に対して傾斜する、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項４】
前記プレス手段は、本体部をさらに含み、前記本体部は、前記押し当て部に結合され、前記調整素子の設置を提供し、前記押し当て部は、前記本体部の横方向移動に応じて弾性変形する弾性部を含む、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項５】
前記調整素子は、前記プレス手段に回転可能に結合される、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項６】
前記プレス手段は、貫通穴を有し、前記貫通穴は、連通する拡孔部及び縮孔部を有し、前記拡孔部の孔径は、前記縮孔部の孔径よりも大きく、前記調整素子は、前記拡孔部に入れられ、前記縮孔部に向かって結合して位置決めされる、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項７】
前記縮孔部内は、前記調整素子における１つの環状係合溝に結合して位置決めするためのフランジを有する、請求項６に記載のレチクルプレス装置。
【請求項８】
前記調整素子は、
前記プレス手段に当接し、前記レチクルプレス板の一側から離れるように構成されているヘッド部と、
前記レチクルボックスをロックし、ロックの度合いに応じて前記プレス手段の前記レチクルプレス板に対する移動幅を調整するためのロック部と、
一端が前記ヘッド部に結合され、他端が前記ロック部に結合され、前記プレス手段を介して前記レチクルプレス板内に設けられる柱体と、
を含む、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項９】
前記レチクルプレス板と前記プレス手段と前記調整素子とは、結合され、前記調整素子は、前記レチクルボックスをロックするためのロック部を含み、前記ロック部を前記レチクルボックスからアンロックする時、前記レチクルプレス板、前記プレス手段と前記調整素子を一緒に前記レチクルボックスから取り外すことができる、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
【請求項１０】
前記レチクルプレス板は、取り付け孔を有し、前記取り付け孔の両側に第１制限部を有し、及び
前記プレス手段は、取り付け部を含み、前記取り付け部の両側に第２制限部を有し、前記第２制限部は、前記第１制限部に対応して、互いに制限するように配置される、請求項１に記載のレチクルプレス装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、レチクルプレス装置及びそれを適用するレチクルボックスに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体産業では、レチクルは、プロセス上で非常に重要な役割を果たす。従来の黄色光フォトリソグラフィ又はエッチングなどの技術でも、近年の極端紫外線リソグラフィー（Ｅｘｔｒｅｍｅｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ、ＥＵＶＬ）プロセスでも、レチクルの使用から切り離すことはできない。
【０００３】
多くの半導体の直接又は間接関連産業の中で、光電関連産業もかなり重要なものである。大きなサイズのパネルを製作する際に、そのプロセスで使用されるレチクルのサイズは、パネルのサイズによって変化する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、レチクルボックスに大きなサイズのレチクルが載せられる場合には、それに伴う慣性運動もより深刻になる。大きなサイズのレチクルは、搬送又は輸送中に、搬送精度が不足である課題により、揺れ、衝突、さらには、レチクル容器全体の傾倒を引き起こしやすく、それによって、大きなサイズのレチクルの損傷を招く。それだけでなく、現在市場にある大きなサイズのレチクルボックスによるレチクルの挟持方式には、緩みの課題があるため、大きなサイズのレチクルが搬送中にレチクルボックス内を飛び回し、さらにレチクルに汚染を与える微粒子を発生させてしまう。また、レチクルボックスに使用されている従来のレチクルプレス装置に含まれる素子が互いに独立したため、組み立てと取り外しの際に使用者が両手を用いる必要があり（例えば一方の手で装置を握り、もう一方の手でねじを装置によりレチクルボックスにロックする）、操作が困難で不安定である。
【０００５】
そのため、上記課題を解決できるレチクルプレス装置及びレチクルボックスをどのように提案するかは、現在業界が研究開発資源を投入して解決しようとする課題の１つである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
これに鑑み、本開示における１つの目的は、上記課題を解決できるレチクルプレス装置及びそれを適用するレチクルボックスを提案することである。
【０００７】
上記目的を達成するために、本開示の一実施形態によれば、レチクルを収容するためのレチクルボックスに用いられるレチクルプレス装置であって、レチクルプレス板と、レチクルプレス板に配置され、押し当て部を含むプレス手段であって、プレス手段のレチクルプレス板に対する移動幅に応じてレチクルプレス板を押し当て、レチクルプレス板をプレス手段に対して横方向に移動させるプレス手段と、プレス手段を介してレチクルプレス板内に設けられるものであり、プレス手段の移動幅を調整することにより、押し当て部をレチクルプレス板へレチクルを固定するまで押し当て、又はプレス手段の押し当て部をレチクルから離させ且つ押し当て力を除去するように調整するための調整素子と、を含む。
【０００８】
本開示の１つ又は複数の実施形態において、押し当て部は、弾性部及び弾性部に結合される傾斜面を含み、プレス手段は、調整素子の調整に応じて、傾斜面の傾斜角度に沿ってレチクルに近接する又はレチクルから離れるようにレチクルプレス板を押し当て、同時に弾性部は、傾斜面の押し当て力に応じて弾性変形する。
【０００９】
本開示の１つ又は複数の実施形態において、プレス手段は、第１軸方向に沿ってレチクルプレス板に向かって移動することにより、押し当て部は、第２軸方向に沿ってプレス手段に対して横方向に移動するようにレチクルプレス板を押し当て、第１軸方向と第２軸方向に対して傾斜する。
【００１０】
本開示の１つ又は複数の実施形態において、プレス手段は、本体部をさらに含み、本体部は、押し当て部に結合され、調整素子の設置を提供し、押し当て部は、本体部の横方向移動に応じて弾性変形する弾性部を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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