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公開番号2025084143
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023197786
出願日2023-11-22
発明の名称光源装置、露光装置、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250527BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】所望の光量を得るうえで有利な光源装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、複数のLEDがそれぞれ直列に接続された第1LED群及び第2LED群と、前記複数のLEDに電流を供給するコネクタと、を有し、前記第1LED群は、該第1LED群のうち最も電位が高い第1LEDと、該第1LED群のうち最も電位が低い第2LEDと、を含み、前記第2LED群は、該第2LED群のうち最も電位が低い第3LEDと、該第2LED群のうち最も電位が高い第4LEDと、を含み、前記第1LED群及び前記第2LED群は、前記コネクタとは反対側で折り返すように、直列の回路が折り返されるように配置され、前記第2LEDと前記第3LEDが隣接するように配置、又は、前記第1LEDと前記第4LEDが隣接するように配置され、前記第1LED群と前記第2LED群との間の距離は、前記第1LEDと前記第2LEDとの間の距離よりも短い。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に、複数のＬＥＤがそれぞれ直列に接続された第１ＬＥＤ群及び第２ＬＥＤ群と、前記複数のＬＥＤに電流を供給するコネクタと、を有する光源装置であって、
前記第１ＬＥＤ群は、該第１ＬＥＤ群のうち最も電位が高い第１ＬＥＤと、該第１ＬＥＤ群のうち最も電位が低い第２ＬＥＤと、を含み、
前記第２ＬＥＤ群は、該第２ＬＥＤ群のうち最も電位が低い第３ＬＥＤと、該第２ＬＥＤ群のうち最も電位が高い第４ＬＥＤと、を含み、
前記第１ＬＥＤ群及び前記第２ＬＥＤ群は、前記コネクタとは反対側で折り返すように、直列の回路が折り返されるように配置され、
前記第２ＬＥＤと前記第３ＬＥＤが隣接するように配置、又は、前記第１ＬＥＤと前記第４ＬＥＤが隣接するように配置され、
前記第１ＬＥＤ群と前記第２ＬＥＤ群との間の距離は、前記第１ＬＥＤと前記第２ＬＥＤとの間の距離よりも短い、
ことを特徴とする光源装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記第１ＬＥＤ、前記第２ＬＥＤ、前記第３ＬＥＤ、及び前記第４ＬＥＤは、前記コネクタに接続されることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記第１ＬＥＤ群と前記第２ＬＥＤ群との間の距離は、前記第１ＬＥＤと前記第２ＬＥＤとの間の距離の半分以下であることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記第１ＬＥＤ群及び前記第２ＬＥＤ群の配線のパターン幅は、前記複数のＬＥＤのチップの直径以上の長さであることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項５】
前記パターン幅は、前記複数のＬＥＤのチップの直径の１．５倍以下の長さであることを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記基板を冷却するヒートシンクを更に有することを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項７】
前記第１ＬＥＤ群と前記第２ＬＥＤ群とに流れる電流量を制御する制御部を更に有することを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光源装置を有する照明光学系であり、前記光源装置からの光を前記照明光学系の瞳面に重畳させ、前記瞳面に所望の光強度分布を形成する照明光学系であって、
前記光源装置からの光を集光するリレーレンズと、
前記リレーレンズを通過した光を均一化するインテグレータと、
を有することを特徴とする照明光学系。
【請求項９】
請求項８に記載の照明光学系からの光で原版を照明し、前記原版のパターンを基板に形成する露光装置であって、
前記原版を通過した光を、前記基板に投影する投影光学系を有する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置を用いて基板を露光し、露光基板を得る露光工程と、
前記露光基板を現像し、現像基板を得る現像工程と、を含み、
前記現像基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
露光装置は、半導体デバイスや液晶表示装置等の製造工程であるリソグラフィ工程において、原版（レチクル又はマスク）のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板（表面にレジスト層が形成されたウエハやガラスプレート等）に転写する装置である。例えば、液晶表示装置にパターンを転写する投影露光装置では、近年、マスク上のより大きな面積パターンを基板上に一括露光することが求められている。この要求に対応するために、高解像力が得られ、かつ、大画面を露光することができるステップ・アンド・スキャン方式の走査型投影露光装置が提案されている。この走査型露光装置は、スリット光束により照明されたパターンを、投影光学系を介してスキャン動作により基板上に転写する。
【０００３】
露光装置の光源として、例えば、水銀ランプが用いられているが、近年、水銀ランプの代わりに、固体発光素子である発光ダイオード（ＬＥＤ：ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）へ置換することが期待されている。ＬＥＤは発光を制御する基板回路に電流を流してから、光の出力が安定するまでの時間が短く、水銀ランプのように常時発光させる必要がないため、省エネルギー且つ長寿命であるというメリットがある。
【０００４】
ＬＥＤを露光装置用の光源として用いるためには、例えば数千個のＬＥＤを基板上に配置し、それぞれのＬＥＤからの光を重畳させる必要がある。しかしながら、隣り合うＬＥＤの電位差がある場合には、電位差に応じてＬＥＤを離間させる必要があり、基板が大型化してしまう。特許文献１には、電気素子（抵抗素子）の配列を工夫することで、基板サイズが大型化しないように、抵抗素子を配置させることができる内容が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－２０７３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＬＥＤの直列回路を複数形成する際に、直列回路を折り曲げるように（例えばコの字型に）配列させることで基板の一端に電源と接続するＬＥＤをまとめることができる。しかしながら、コの字型の回路同士の距離を、隣り合うＬＥＤの電位差に応じて間隔を空ける必要がある。また、ＬＥＤの回路のパターン幅を広くすることでＬＥＤに流れる電流量を増加させることができるものの、上記の事情により、パターン幅を広く設計することが困難になりうる。
【０００７】
そこで、本発明は、所望の光量を得るうえで有利な光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての光源装置は、基板上に、複数のＬＥＤがそれぞれ直列に接続された第１ＬＥＤ群及び第２ＬＥＤ群と、前記複数のＬＥＤに電流を供給するコネクタと、を有する光源装置であって、前記第１ＬＥＤ群は、該第１ＬＥＤ群のうち最も電位が高い第１ＬＥＤと、該第１ＬＥＤ群のうち最も電位が低い第２ＬＥＤと、を含み、前記第２ＬＥＤ群は、該第２ＬＥＤ群のうち最も電位が低い第３ＬＥＤと、該第２ＬＥＤ群のうち最も電位が高い第４ＬＥＤと、を含み、前記第１ＬＥＤ群及び前記第２ＬＥＤ群は、前記コネクタとは反対側で折り返すように、直列の回路が折り返されるように配置され、前記第２ＬＥＤと前記第３ＬＥＤが隣接するように配置、又は、前記第１ＬＥＤと前記第４ＬＥＤが隣接するように配置され、前記第１ＬＥＤ群と前記第２ＬＥＤ群との間の距離は、前記第１ＬＥＤと前記第２ＬＥＤとの間の距離よりも短い、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、所望の光量を得るうえで有利な光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
露光装置の構成を示す概略図である。
照明光学系の構成を示す概略図である。
第１実施形態における光源装置の構成を示す図である。
光源装置の変形例を示す図である。
光源装置の変形例を示す図である。
第２実施形態における光源装置の構成を示す図である。
第３実施形態における光源装置の構成を示す図である。
物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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