特許ウォッチ

公開番号2025077720
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-19
出願番号2023190133
出願日2023-11-07
発明の名称処理液の評価方法、処理液の管理方法、処理液の評価装置、及び処理装置
出願人オルガノ株式会社
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類G01N 30/50 20060101AFI20250512BHJP(測定;試験)
要約【課題】イオン交換体から排出された処理液中の不揮発性不純物の定量を可能とする処理液の評価方法を提供する。
【解決手段】処理液の評価方法は、被処理液をイオン交換体充填装置10に通液することにより得られたイオン交換処理液中の不揮発性不純物を荷電化粒子検出器16により測定し、前記不揮発性不純物を定量する測定工程を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被処理液をイオン交換体充填装置に通液することにより得られたイオン交換処理液中の不揮発性不純物を荷電化粒子検出器（Charged Aerosol Detector）により測定し、前記不揮発性不純物を定量する測定工程を備えることを特徴とする処理液の評価方法。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記測定工程では、前記イオン交換処理液を液体クロマトカラムに通液し、前記液体クロマトカラムから排出されてくる処理液を前記荷電化粒子検出器に導入することを特徴とする請求項１に記載の処理液の評価方法。
【請求項３】
前記測定工程では、前記イオン交換処理液を液体クロマトカラムに通水せずに直接前記荷電化粒子検出器に導入することを特徴とする請求項１に記載の処理液の評価方法。
【請求項４】
前記処理液中の不揮発性不純物の定量を検量線法により行うことを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の処理液の評価方法。
【請求項５】
請求項１に記載の処理液の評価方法により得られた前記不揮発性不純物の量に基づいて、前記イオン交換体充填装置の運転条件を管理することを特徴とする処理液の管理方法。
【請求項６】
請求項１に記載の処理液の評価方法により得られた前記不揮発性不純物の量に基づいて、前記イオン交換体充填装置の後段における前記イオン交換処理液の処理条件を管理する処理液の管理方法。
【請求項７】
被処理液をイオン交換体充填装置に通液することにより得られたイオン交換処理液中の不揮発性不純物を測定する荷電化粒子検出器を備えることを特徴とする処理液の評価装置。
【請求項８】
被処理液が通液されるイオン交換体充填装置と、
前記被処理液を前記イオン交換体充填装置に通液することにより得られたイオン交換処理液中の不揮発性不純物を測定する荷電化粒子検出器と、を備えることを特徴とする処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、処理液の評価方法、処理液の管理方法、処理液の評価装置、及び処理装置の技術に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
イオン交換樹脂を始めとするイオン交換体は、イオン性不純物を水から除去することによる水の精製に利用されている。また、近年では、電子材料を製造するために使用される有機溶媒の精製にもイオン交換体が利用されている。
【０００３】
水や有機溶媒等の被処理液の精製を行う上で、イオン交換体から排出された処理液中の不純物の管理は必須である。液中の不純物分析において、金属の分析にはＩＣＰ－ＭＳ（誘導結合プラズマ質量分析）が用いられ、有機物の分析にはＧＣ（ガスクロマトグラフィー）が用いられるのが一般的である。しかし、イオン交換体から排出される処理液中の不純物には、イオン交換体の母体である不揮発性有機物が含まれる場合があり、不揮発性有機物の分析には、ＧＣは不適切である。また、ＬＣ（液体クロマトグラフィー）は、不揮発性有機物の分析に用いられるが、不揮発性有機物の種類によって感度が異なるため、不揮発性有機物を定量することは困難である。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
クロマトグラフ科学会学術誌ＣＨＲＯＭＡＴＯＧＲＡＰＨＹ，Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．３１６１－１７０頁、２０１１年
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本開示の目的は、イオン交換体から排出された処理液中の不揮発性不純物の定量を可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様である処理液の評価方法は、被処理液をイオン交換体充填装置に通液することにより得られたイオン交換処理液中の不揮発性不純物を荷電化粒子検出器により測定し、前記不揮発性不純物を定量する測定工程を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、上記処理液の評価方法において、前記測定工程では、前記イオン交換処理液を液体クロマトカラムに通液し、前記液体クロマトカラムから排出されてくる処理液を前記荷電化粒子検出器に導入ることが好ましい。
【０００８】
また、上記処理液の評価方法において、前記イオン交換処理液を液体クロマトカラムに通液せずに直接前記荷電化粒子検出器に導入することが好ましい。
【０００９】
また、上記処理液の評価方法において、前記処理液中の不揮発性不純物の定量を検量線法により行うことが好ましい。
【００１０】
また、本開示の一態様である処理液の管理方法は、前記処理液の評価方法により得られた前記不揮発性不純物の量に基づいて、前記イオン交換体充填装置の運転条件を管理することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許