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公開番号2025036889
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-17
出願番号2023143515
出願日2023-09-05
発明の名称基板搬送装置、露光装置、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250310BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の駆動部それぞれが正常に移動しているか判断することができる小型な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を保持する複数の駆動部と、複数の駆動部の各々に設けられ、光源から出射される光を減光する複数の減光部と、複数の駆動部の駆動を制御する制御部とを備え、制御部は、複数の減光部のうち少なくとも1つの減光部を通過した光の受光量に基づいて、複数の駆動部が正常に動作しているかを判定することを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
各々が所定の位置に配置されている際に光源から出射する検出光の光路上に配置されることで入射した前記検出光を減光する減光部を有している複数の駆動部と、
前記複数の駆動部それぞれが前記所定の位置に移動した際に、前記光源からの前記検出光を受光する受光部における前記検出光の受光量に基づいて前記複数の駆動部それぞれが前記所定の位置に配置されているか判断する制御部と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記複数の駆動部それぞれが前記所定の位置に移動した際の前記受光量と、前記複数の駆動部それぞれに設けられている前記減光部が前記光路上に配置されている際の前記受光量とを互いに比較することによって、前記複数の駆動部全てが前記所定の位置に配置されているか判断することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記複数の駆動部それぞれに設けられている前記減光部の前記検出光に対する減光率は、互いに等しいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記複数の駆動部それぞれが前記所定の位置に移動した際の前記受光量と、前記複数の駆動部のうち所定の数の前記駆動部それぞれに設けられている前記減光部が前記光路上に配置されている際の前記受光量とを互いに比較することによって、前記複数の駆動部のうち、いくつの前記駆動部が前記所定の位置に配置されているか判断することを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記複数の駆動部のうち少なくとも二つの前記駆動部それぞれに設けられている前記減光部の前記検出光に対する減光率は、互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記複数の駆動部それぞれに設けられている前記減光部において少なくとも一つの前記減光部の合成減光率は、互いに異なることを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記複数の駆動部それぞれが前記所定の位置に移動した際の前記受光量と、前記複数の駆動部のうち所定の組の前記駆動部それぞれに設けられている前記減光部が前記光路上に配置されている際の前記受光量とを互いに比較することによって、前記複数の駆動部のうち、どの前記駆動部が前記所定の位置に配置されているか判断することを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記光源及び前記受光部を備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記複数の駆動部は、前記光路に平行な第１の方向において前記光源と前記受光部との間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記複数の駆動部は、前記第１の方向において互いに離隔していることを特徴とする請求項９に記載の駆動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、物体を搬送する駆動装置としては、当該物体が正常に搬送されているか判断するために当該物体の位置の検出を行うものが知られている。
特許文献１は、光源及び受光部から構成される検出部を備え、当該光源から出射し所定の位置を通過する検出光が基板によって遮光されることで当該基板が当該所定の位置に配置されていることを検出する電子部品実装装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－５４６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、互いに協働して物体を搬送する複数の駆動部が設けられている駆動装置が知られている。
そのような駆動装置では、当該複数の駆動部それぞれの位置を検出することで当該複数の駆動部それぞれが正常に移動しているか判断することができる。
【０００５】
このとき特許文献１に従って、光源及び受光部から構成される検出部を複数の駆動部それぞれに対応するように複数設け、対応する光源からの検出光の遮光によって各駆動部の位置を検出する構成を採ると、装置が大型化してしまう。
そこで本発明は、複数の駆動部それぞれが正常に移動しているか判断することができる小型な駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る駆動装置は、各々が所定の位置に配置されている際に光源から出射する検出光の光路上に配置されることで入射した検出光を減光する減光部を有している複数の駆動部と、複数の駆動部それぞれが所定の位置に移動した際に、光源からの検出光を受光する受光部における検出光の受光量に基づいて複数の駆動部それぞれが所定の位置に配置されているか判断する制御部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、複数の駆動部それぞれが正常に移動しているか判断することができる小型な駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第一実施形態に係る駆動装置の一部上面図及び初期位置における一部側面図。
第一実施形態に係る駆動装置の各位置における一部側面図。
第一実施形態に係る駆動装置の一部上面図。
第二実施形態に係る駆動装置の一部上面図。
本実施形態に係る駆動装置を備える露光装置の模式的断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本実施形態に係る駆動装置を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお以下に示す図面は、本実施形態を容易に理解できるようにするために、実際とは異なる縮尺で描かれている。
また以下では、基板の基板面に垂直な方向をＺ方向、基板ステージからバッファ台への基板の搬送方向をＹ方向、当該Ｚ方向及び当該Ｙ方向に垂直な方向をＸ方向と定義する。
【００１０】
［第一実施形態］
従来、液晶表示素子や半導体素子等の電子デバイスを製造するリソグラフィ工程において露光装置が用いられている。
また露光装置としては、ガラスプレートやウェハ等の基板を基板ステージから搬送する基板搬送装置としての駆動装置を備えるものが知られている。
（【００１１】以降は省略されています）

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