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公開番号2025030224
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023135332
出願日2023-08-23
発明の名称半導体装置及び半導体装置の製造方法
出願人富士電機株式会社
代理人弁理士法人扶桑国際特許事務所
主分類H01L 21/60 20060101AFI20250228BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】導電部に対する端子の接合寿命の低下を防止する。
【解決手段】半導体装置は、配線板11b3と第2接続端子とを有する。第2接続端子は、配線板11b3に裏面が接合され、おもて面23e1に圧痕28が形成された平板状の第2接合部23eを有する。圧痕28の一端部の圧痕先端辺28a3は、第2接合部23eの一端部の接合先端辺23e3と面一を成し、圧痕28の圧痕先端辺28a3に対向する他端部の圧痕後端辺28a5の長さは、第2接合部23eの接合先端辺23e3に対向する他端部の接合後端辺23e5の長さよりも短い。
【選択図】図18
特許請求の範囲【請求項１】
導電部と端子とを有し、
前記端子は、前記導電部に裏面が接合され、おもて面に圧痕が形成された平板状の接合部を有し、
前記圧痕の一端部の圧痕先端辺は、前記接合部の一端部の接合先端辺と面一を成し、
前記圧痕の前記圧痕先端辺に対向する他端部の圧痕後端辺の長さは、前記接合部の前記接合先端辺に対向する他端部の接合後端辺の長さよりも短い、
半導体装置。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記圧痕は、さらに、前記圧痕先端辺と前記圧痕後端辺とを接続する一対の圧痕側辺を含む、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記圧痕の前記圧痕先端辺の長さは、前記接合部の前記接合先端辺の長さよりも短い、
請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記圧痕は、平面視で矩形状を成し、前記圧痕先端辺の長さと前記圧痕後端辺の長さとが等しい、
請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記接合部は、前記接合先端辺及び前記接合後端辺に直交する一対の接合側辺をさらに含み、
前記一対の接合側辺は、前記圧痕の前記一対の圧痕側辺よりも外側に位置する、
請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記圧痕の前記一対の圧痕側辺から前記接合部の前記一対の接合側辺までのそれぞれの距離は、１ｍｍ以上である、
請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記圧痕の前記圧痕後端辺及び前記一対の圧痕側辺を合わせた長さは、前記接合部の前記接合先端辺の長さよりも長い、
請求項５に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記圧痕の前記圧痕後端辺は、前記圧痕先端辺に対して反対側に突出している、
請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記圧痕の前記圧痕後端辺は、中央部分と、前記中央部分の両側にそれぞれ設けられた一対の接続部分と、を含み、
前記圧痕後端辺の前記中央部分の長さは、前記接合部の前記接合後端辺の長さよりも狭く、
前記圧痕後端辺において前記中央部分が最も突出している、
請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記圧痕後端辺において前記中央部分は前記接合後端辺に平行であって、前記中央部分に対する前記一対の接続部分の接続角度は、９０°未満である、
請求項９に記載の半導体装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置では、被接合材に対して接合材を超音波接合により接合する（例えば、特許文献１，２を参照）。また、被接合材に対してワイヤを超音波接合により接合する（例えば、特許文献３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－２１２６４５号公報
特開２０１３－２２６５８０号公報
特開２０００－２９９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、導電部に対する端子の接合寿命の低下が防止された半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一観点によれば、導電部と端子とを有し、前記端子は、前記導電部に裏面が接合され、おもて面に圧痕が形成された平板状の接合部を有し、前記圧痕の一端部の圧痕先端辺は、前記接合部の一端部の接合先端辺と面一を成し、前記圧痕の前記圧痕先端辺に対向する他端部の圧痕後端辺の長さは、前記接合部の前記接合先端辺に対向する他端部の接合後端辺の長さよりも短い、半導体装置を提供する。
【０００６】
また、前記圧痕は、さらに、前記圧痕先端辺と前記圧痕後端辺とを接続する一対の圧痕側辺を含んでよい。
また、前記圧痕の前記圧痕先端辺の長さは、前記接合部の前記接合先端辺の長さよりも短くてよい。
【０００７】
また、前記圧痕は、平面視で矩形状を成し、前記圧痕先端辺の長さと前記圧痕後端辺の長さとが等しくてよい。
また、前記接合部は、前記接合先端辺及び前記接合後端辺に直交する一対の接合側辺をさらに含み、前記一対の接合側辺は、前記圧痕の前記一対の圧痕側辺よりも外側に位置してよい。
【０００８】
また、前記圧痕の前記一対の圧痕側辺から前記接合部の前記一対の接合側辺までのそれぞれの距離は、１ｍｍ以上であってよい。
また、前記圧痕の前記圧痕後端辺及び前記一対の圧痕側辺を合わせた長さは、前記接合部の前記接合先端辺の長さよりも長くてよい。
【０００９】
また、前記圧痕の前記圧痕後端辺は、前記圧痕先端辺に対して反対側に突出してよい。
また、前記圧痕の前記圧痕後端辺は、中央部分と、前記中央部分の両側にそれぞれ設けられた一対の接続部分と、を含み、前記圧痕後端辺の前記中央部分の長さは、前記接合部の前記接合後端辺の長さよりも狭く、前記圧痕後端辺において前記中央部分が最も突出してよい。
【００１０】
また、前記圧痕後端辺において前記中央部分は前記接合後端辺に平行であって、前記中央部分に対する前記一対の接続部分の接続角度は、９０°未満であってよい。
また、前記接合部の前記圧痕の底面は、平面を成してよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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