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公開番号2025022446
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023127026
出願日2023-08-03
発明の名称駆動装置、位置決め装置
出願人住友重機械工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G12B 5/00 20060101AFI20250206BHJP(器械の細部)
要約【課題】直線駆動と回転駆動を適切に両立させられる駆動装置等を提供する。
【解決手段】アクチュエータ1は、軸方向Tに直線駆動され、当該軸方向Tの周りに回転駆動される被駆動部材2であって、当該軸方向T視の断面が多角形状の角軸部21を備える被駆動部材2と、被駆動部材2における少なくとも角軸部21を直線駆動可能に支持しながら回転駆動される軸受部材3であって、当該角軸部21が貫通する軸方向T視の断面が多角形状の角孔部31を備える軸受部材3と、を備える。角軸部21の外周面と角孔部31の内周面の間には流体軸受が形成され、角孔部31の内周面には、流体軸受を形成する流体が供給される流体軸受溝が形成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
軸方向に直線駆動され、当該軸方向の周りに回転駆動される被駆動部材であって、当該軸方向視の断面が多角形状の角軸部を備える被駆動部材と、
前記被駆動部材における少なくとも前記角軸部を直線駆動可能に支持しながら回転駆動される軸受部材であって、当該角軸部が貫通する前記軸方向視の断面が多角形状の角孔部を備える軸受部材と、
を備え、
前記角軸部の外周面と前記角孔部の内周面の間には流体軸受が形成され、
前記角孔部の内周面には、前記流体軸受を形成する流体が供給される流体軸受溝が形成される、
駆動装置。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
シリンダ部材を備え、
前記被駆動部材は、前記シリンダ部材の内部における流体の圧力によって直線駆動されるピストン部を備える、
請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記軸受部材は、前記シリンダ部材に対して、前記軸方向の周りに回転可能に設けられる、請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記軸受部材を回転駆動するモータを備える、請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記流体軸受溝は、前記軸方向における前記ピストン部側の一端部が前記シリンダ部材の内部に開放されており、他端部が閉塞されている、請求項２から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記一端部と前記他端部の間で前記軸方向に沿って延びる複数の前記流体軸受溝が並行的に設けられる、請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記シリンダ部材および前記ピストン部の前記軸方向視の断面は、いずれも円状である、請求項２から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項８】
前記角軸部の多角形状および前記角孔部の多角形状は、いずれも矩形状である、請求項１から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項９】
前記流体軸受溝は、前記軸方向に沿って延びる、請求項１から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１０】
対象物を回転方向に位置決めする位置決め装置であって、
前記対象物が取り付けられ、軸方向に直線駆動され、当該軸方向の周りの前記回転方向に回転駆動される被駆動部材であって、当該軸方向視の断面が多角形状の角軸部を備える被駆動部材と、
前記被駆動部材における少なくとも前記角軸部を直線駆動可能に支持しながら回転駆動される軸受部材であって、当該角軸部が貫通する前記軸方向視の断面が多角形状の角孔部を備える軸受部材と、
を備え、
前記角軸部の外周面と前記角孔部の内周面の間には流体軸受が形成され、
前記角孔部の内周面には、前記流体軸受を形成する流体が供給される流体軸受溝が形成される、
位置決め装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、駆動装置等に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体チップを基板上に実装する技術が開示されている。具体的には、半導体チップが下端部に取り付けられたＺ方向（鉛直方向）に長尺のツールまたはツールホルダを、当該Ｚ方向に下降させることで下方のステージに支持されている基板上に半導体チップを実装する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２００２／４９０９４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、軸状のツールホルダ（１７）を支持する静圧空気軸受（１８）が、ツールのＺ方向の昇降（上下動）のみを許容し、Ｚ軸の周りの回転を禁止するように設けられている。このため、ツールに半導体チップを取り付ける際に生じうる回転位置または回転角度の誤差を適切に補正できない。Ｚ軸の周りの回転も許容するように静圧空気軸受を設けることも可能であるが、このような非接触軸受を採用する構成では、ツールの直線駆動と回転駆動を適切に両立させることが難しい。
【０００５】
本開示はこうした状況に鑑みてなされたものであり、直線駆動と回転駆動を適切に両立させられる駆動装置等を提供することを一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本開示のある態様の駆動装置は、軸方向に直線駆動され、当該軸方向の周りに回転駆動される被駆動部材であって、当該軸方向視の断面が多角形状の角軸部を備える被駆動部材と、被駆動部材における少なくとも角軸部を直線駆動可能に支持しながら回転駆動される軸受部材であって、当該角軸部が貫通する軸方向視の断面が多角形状の角孔部を備える軸受部材と、を備える。角軸部の外周面と角孔部の内周面の間には流体軸受が形成され、角孔部の内周面には、流体軸受を形成する流体が供給される流体軸受溝が形成される。
【０００７】
本態様では、被駆動部材における角軸部および軸受部材における角孔部の軸方向視の断面が、いずれも多角形状（例えば、略相似）になっている。このような軸受部材が回転駆動されると、その角孔部内の角軸部（すなわち、被駆動部材）も空回りすることなく実質的に一体的に回転駆動される。そして、角孔部を含む軸受部材は、角軸部を含む被駆動部材を直線駆動可能に支持する。ここで、角孔部の内周面に形成される流体軸受溝によって、角軸部の外周面と角孔部の内周面の間に、直線駆動および回転駆動を適切に支持する流体軸受が形成される。
【０００８】
本開示の別の態様は、位置決め装置である。この位置決め装置は、対象物を回転方向に位置決めする位置決め装置であって、対象物が取り付けられ、軸方向に直線駆動され、当該軸方向の周りの回転方向に回転駆動される被駆動部材であって、当該軸方向視の断面が多角形状の角軸部を備える被駆動部材と、被駆動部材における少なくとも角軸部を直線駆動可能に支持しながら回転駆動される軸受部材であって、当該角軸部が貫通する軸方向視の断面が多角形状の角孔部を備える軸受部材と、を備える。角軸部の外周面と角孔部の内周面の間には流体軸受が形成され、角孔部の内周面には、流体軸受を形成する流体が供給される流体軸受溝が形成される。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せや、これらの表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等に変換したものも、本開示に包含される。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、直線駆動と回転駆動を適切に両立させられる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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