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公開番号2025021075
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-13
出願番号2023124791
出願日2023-07-31
発明の名称感光性ガラスおよびその製造方法
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類C03C 4/04 20060101AFI20250205BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】露光及び熱処理した際に、精度良くパターン加工が可能な感光性ガラス、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】β-OH値が0.20/mm以下である、感光性ガラス。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
β－ＯＨ値が０．２０／ｍｍ以下である、感光性ガラス。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
波長２８０～３６０ｎｍの積算光量が２Ｊ／ｃｍ
２
以上となるように露光した後の結晶析出温度と、前記露光前の結晶析出温度との差が１０℃以上である、請求項１に記載の感光性ガラス。
【請求項３】
質量百分率表示で、
Ａｇ
２
Ｏ：０．００１～５％
ＣｅＯ
２
：０．００１～５％
を含有する、請求項１または２に記載の感光性ガラス。
【請求項４】
質量百分率表示で、
ＳｉＯ
２
：２０～８０％
Ａｌ
２
Ｏ
３
：１～２０％
Ｂ
２
Ｏ
３
：０～２０％
Ｌｉ
２
Ｏ：０～２０％
Ｎａ
２
Ｏ：０～２０％
Ｋ
２
Ｏ：０～２０％
ＺｎＯ：１～２０％
Ｆ：０～５％
Ｂｒ：０～５％
Ａｇ
２
Ｏ：０．００１～０．５％
ＣｅＯ
２
：０．００１～０．５％
Ｓｂ
２
Ｏ
３
：０～１．０％
ＳｎＯ
２
：０～１．０％
を含有する請求項１または２に記載の感光性ガラス。
【請求項５】
Ｃｒ、Ｎｉ、Ｖ、Ｍｎ及びＣｏを実質的に含有しない、請求項１または２に記載の感光性ガラス。
【請求項６】
感光剤成分を含むガラス原料を加熱して溶融ガラスを得ることと、
前記溶融ガラスを所望の形状に成型することと、
成型したガラスを徐冷することと、を含む、感光性ガラスの製造方法であって、
前記感光性ガラスのβ－ＯＨ値を下げることを含む、感光性ガラスの製造方法。
【請求項７】
前記徐冷は、温度Ｔ１から温度Ｔ２までの冷却速度が１℃／ｍｉｎ以下となるように行う（前記温度Ｔ１は徐冷点温度、前記温度Ｔ２は歪点温度を意味する）、
請求項６に記載の感光性ガラスの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ガラスおよびその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
感光性ガラスは、光照射と熱処理とを組み合わせることで、光露光された部分のガラス構造が変化するガラスである。具体的には、紫外線などの短波長の輻射線に露光されたガラスに熱を加えることで、露光部にＡｇコロイドが形成され、更にＡｇコロイドが核となり微細結晶が析出し、露光部分の色、屈折率、化学耐久性、ガラス強度を変えることができる（例えば、特許文献１）。
【０００３】
感光性ガラスには、微細結晶としてＮａＦ（フッ化ナトリウム）の結晶を析出するものや、Ｌｉ
２
ＳｉＯ
３
／Ｌｉ
２
Ｓｉ
２
Ｏ
５
（リチウムシリケート系）の結晶を析出するものがある。ＮａＦ結晶析出系の感光性ガラスは、体積ホログラフィック回折格子（ＶｏｌｕｍｅＨｏｌｏｇｒａｐｈｉｃＧｒａｔｉｎｇ）などに用いられ、また、リチウムシリケート結晶析出系の感光性ガラスは、高周波アプリケーション用の回路基板などに用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－３６２００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
感光性ガラスは、その用途に応じて、微細なパターン形状に結晶を析出させる必要があるため、パターン形状を精度良く形成できること、かつ、結晶析出による特性を十分に付与することが求められる。
【０００６】
そこで本発明は、露光及び熱処理した際に、精度良くパターン加工が可能な感光性ガラスの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
露光及び熱処理した際に、精度良くパターン加工が可能な感光性ガラスを得るためには、露光部と未露光部における結晶析出温度に明確な差を設けることが重要である。かかる結晶析出温度の差はガラス組成の影響を受けることが一般的に知られているが、本発明者らは、結晶析出温度の差を調整するには感光性ガラス中のβ－ＯＨ値を制御することも有効であることを新たに見出し、本発明を完成させた。
【０００８】
すなわち、本発明の一態様は、β－ＯＨ値が０．２０／ｍｍ以下である、感光性ガラスに関する。
また、本発明の一態様は、感光剤成分を含むガラス原料を加熱して溶融ガラスを得ることと、前記溶融ガラスを所望の形状に成型することと、成型したガラスを徐冷することと、を含む、感光性ガラスの製造方法であって、前記感光性ガラスのβ－ＯＨ値を下げることを含む、感光性ガラスの製造方法に関する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様によれば、感光性ガラスにおいて露光部と未露光部における結晶析出温度に明確な差を設けることができる。例えば同一組成の感光性ガラスであっても上記結晶析出温度差を広げることができる。あるいは、結晶析出温度差が狭くなるようなガラス組成であっても、実用上許容される範囲にまで上記結晶析出温度差を広げることができる。そのため、露光及び熱処理した際に、精度良くパターン加工が可能な感光性ガラス、及びその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１の（ａ）、（ｂ）は、実施例における微細加工型ガラスの微細加工後の顕微鏡写真図である。図１の（ａ）が例１４の微細加工型ガラスの微細加工後の顕微鏡写真図であり、図１の（ｂ）が例１５の微細加工型ガラスの微細加工後の顕微鏡写真図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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